Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dapatkan Sebut Harga

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Laman Utama
Mengenai Kami
MH Equipment
Penyelesaian
Pengguna Luar Negara
Video
Hubungi kami
Rumah> Penggiling Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer
  • Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer

Penyelaras Mekanikal Kimia Automatik Tunggal Platen untuk Polishing Wafer

Dapatkan Penawaran Percuma
Penerangan Produk
ATOM Single Platen CMP

Ciri-ciri Mesin

Peranti ini fleksibel dan boleh menyokong pelbagai kepala.
Kemampuan proses peralatan ini hampir sama dengan paras model mainstream produk yang sama saiz.
Konsistensi proses antara peranti yang baik.

Medan aplikasi

pemolesan 4-8 inci STI, ILD/IMD, TSV, TGV dan pemolesan permukaan bagi senyawa seperti SiC, LT, LN, GaAs, dll

Parameter Teknikal

kepala 4 inci, 6 inci, 8 inci, kawalan multi zon
Jenis Plat Φ20 inci 508MM
Ketepatan kawalan tekanan kepala <0.05PSI
Ketepatan kawalan laju putaran kepala dan plat <2RPM

1. Unit LoadPort

Pelabuhan boleh ditukar untuk merendam Cassette dalam Qtank, mengelakkan terbentuknya kristal Slurry pada
permukaan yang dipolish Wafer. Dilengkapi dengan fungsi Cassette Mapping.

2. Unit pengambilan bahan Robot

Dilengkapi dengan robot 4-paksi, ia boleh memindahkan wafer secara automatik dari Cassette ke unit pemolesan.

3. Unit Polisher

Unit ini dilengkapi dengan Platen * 1, Kepala * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, dan EPD titik akhir
pendeteksian. Ia boleh mencapai pemuatan dan pembongkaran wafer secara automatik, kawalan kepala multi zon, titik jatuh Slurry
berubah mengikut tetapan Resipi, pendeteksian titik akhir dan fungsi lainnya.
Kepala Polisher CMP
Kepala Polisher yang dikonfigurasikan pada peranti ini semuanya telah dibangunkan, direka bentuk, dan dihasilkan secara bebas oleh syarikat kami.
Antara itu, Kepala 3-gua 4-inci adalah produk unik yang dicipta oleh syarikat kami, mengisi jurang tidak adanya kepala 4-inci multi gua di China. Syarikat kami boleh dengan pantas mengubah atau menyesuaikan Kepala mengikut ciri-ciri produk pelanggan. Dalam pembangunan produk filem tipis TGV (200um), struktur dalaman Kepala telah diubah suai untuk memenuhi keperluan penyeludupan filem tipis. Semasa proses pembangunan teknologi penyeludupan OX permukaan LN, syarikat kami meningkatkan Kepala 6-inci secara mendalam dan berjaya memenuhi keperluan produk pelanggan.
Aplikasi
Proses penyelihan permukaan IC tradisional;
Proses TGV/TSV;
Smart Cut dan Pre bonding CMP;
Penyelihan substrat SIC/penyelihan arsenida galium.
Spesifikasi
Pelabuhan
Kuantiti * 1, dengan tangki Q
Robot
Kuantiti * 1, untuk pemindahan wafer
HCLU
Kuantiti * 1, untuk pemuatan dan peluaran automatik wafer
Kepala penyelihan
Kuantiti * 13 kawalan gua, kejituan kawalan 0.1PSI, boleh menyokong operasi wafer 400-1200 UM.
Kelajuan kepala penyelarasan
5-150RPM
Cakera Menggilap
Kuantiti * 1 Saiz Disc Penyelarasan 508mm, Kelajuan Pad Penyelarasan 10-150rpm.
Lengan penyesuaian
Kuantiti * 1 pad penyelarasan. Pad penyelarasan boleh digunakan dalam talian (serentak) atau luar talian (setelah penyelarasan). Penyesuaian
lengan dilengkapi dengan paksi penyesuaian, yang boleh diputarkan danbergerak naik turun, dan kelajuan serta tekanan dapat dikawal. Alat
penyesuaian dipasang pada paksi penyesuaian dan boleh dikeluarkan dengan cepat
dikeluarkan. Mengikut jenis-jenis pad penyelarasan, alat-alat berpakaian yang berbeza dikonfigurasikan, termasuk
sikat berpakaian, cincin berlian, dan disc berlian.
Unit kawalan tekanan udara kepala penyelarasan UPA
Kuantiti * 13. Zone boleh disesuaikan untuk kesan pemukus permukaan yang lebih baik
Pump pembekal cecair penyelarasan
Kuantiti * 2. Pom peristaltik digunakan untuk bekalan cecair, dengan 2 pom peristaltik dikonfigurasikan untuk membawa cecair penyelarasan berbeza
kepada cakera penyelarasan. Setiap pom boleh digunakan pada mana-mana langkah proses.
Lengan Slurry
Kuantiti * 1 boleh mengawal titik tulin slurry dan boleh membersihkan pad penyelarasan.
Sistem kawalan operasi boleh mencapai kawalan tahap pengguna, seperti mod pengendali, mod pemeliharaan, dan mod teknikal, dan pelbagai mod dikawal oleh kata laluan. Perisian sistem boleh menyunting parameter proses setiap langkah proses dan memukus serta
menyelaraskan filem nipis di atas permukaan cip mengikut program. Ia boleh memantau status operasi peralatan, memantau parameter proses secara real-time, dan perisian boleh menyimpan automatik pelbagai data proses. Dilengkapi dengan henti darurat
mengilap filem tipis pada permukaan cip mengikut program. Ia boleh memantau status operasi peralatan, memantau
parameter proses secara real-time, dan perisian boleh secara automatik menyimpan pelbagai data proses. Dilengkapi dengan butang henti darurat
tombol, digunakan untuk menghentikan operasi peralatan dengan serta merta dan memutuskan bekalan kuasa kawalan.
Pembungkusan & Penghantaran
Profil Syarikat
S&A
1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran：
Selepas rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Selepas
peralatan disediakan dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:
Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

Produk Lain

Penyiasatan

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Dasar Privasi

Penyiasatan Email Whatsapp Top
×

Hubungi Kami