sumber PLASMA
|
RF+BIAS
|
||
Kuasa
|
1000W
|
1000W
|
|
600W
|
600W
|
||
Skop berkenaan
|
inci 4-8
|
||
Kiraan kepingan pemprosesan tunggal
|
1
|
||
Dimensi penampilan
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Kawalan sistem
|
Sistem kawalan industri
|
||
Tahap automasi
|
manual
|
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Hak Cipta Terpelihara