1. Menggunakan laser UV 355nm, yang merupakan produk dengan hak milik intelek sendiri dan memegang paten penemuan Amerika Syarikat, ia mempunyai prestasi stabil, mod spot baik, dan boleh beroperasi secara stabil untuk tempoh yang lama.
2. Konfigurasi CCD atas bawah, sesuai untuk penentuan kedudukan wafer yang transparent dan separuh transparent.
3. Sinaran laser difokuskan kepada satu titik halus, dengan maksimum 4 μm dan kedalaman ≥ 25 μ
4. Teguh dan presisi tinggi X-Y - θ 5. Sistem operasi perisian yang cekap dan fleksibel, antaramuka yang intuitif, dan mudah
operasi.