Model |
MDTS-WT2200 |
Bilangan paksi pemipilan |
2 |
Bilangan meja kerja |
3, Kaedah indeks |
Penggal as roda giling |
Bilangan spindle udara: 2 Motor spindle: motor frekuensi pemboleh ubah 7.5kW Kelajuan: 0~6000rpm, dapat disesuaikan tanpa peringkat Spesifikasi roda gergaji: Φ203mm Jenis roda gergaji: roda gergaji berlian |
Sistem penyusunan roda gergaji |
Kuantiti: 2 set Kaedah kawalan sistem pemberian: panduan rel LM dan skru bola gabungan Motor pendorong: motor servo Kelajuan pemberian minimum: 0.1um/sec Kelajuan pemberian maksimum: 50mm/sec |
Meja Kerja |
Kuantiti: 3, mod indeks Motor poros: Motor servo Kelajuan: 0~300rpm, boleh disesuaikan tanpa peringkat Kaedah penyerapan: penyerapan vakum |
Meja kerja berputar |
Mod pemanduan: motor servo Julat putaran: 0~240° Bentuk penempatan: penempatan berasisten sensor |
Ketebalan automatik Sistem pengukuran |
Kaedah pengukuran: pengukuran IPG berhubung dalam talian secara real-time Bilangan kepala pengukur: 2 Sensor pengukuran: sensor tahap 0.1um |
Pemuatan automatik/ sistem peluaran automatik |
Jenis kotak: Cassette 6-8inc, 25 lapis Kaedah memuatkan/membongkarkan automatik: penggunaan manipulator wafer untuk memastikan wafer tipis diangkut tanpa kerosakan Ketebalan wafer: 150um-1000um |
Fungsi pembersihan meja kerja |
Kaedah pembersihan: Pemolesan Oilstone & pelacapan dua fluid iaitu air DI + udara |
Pembersihan automatik/ Sistem Penyusunan |
Pembersihan: pembersihan nozzle DIW Kaedah mengeringkan: Meniup + mengeringkan Kelajuan: maksimum 1000rpm dapat disesuaikan secara selari |
Sistem Penghapusan Statik |
Bar ion atau kipas orion |
Penyejuk poros |
Suhu: 18-22°C Kadar aliran: 4~8L/minit |
Sistem Kawalan |
Sistem kawalan: Sistem kawalan PC, skrin sentuh dengan lampu alarm 3 warna Antara muka manusia-mesin dalam Bahasa Cina/Inggeris |
Saiz wafer maksimum |
Maksimum sesuai dengan 8 inci |
Julat kelajuan |
0~6000 RPM |
Perjalanan paksi-Z |
160mm |
Kelajuan pemakanan dalam paksi Z |
0.1~100um/sekon |
Kelajuan tarik pantas paksi-Z |
50mm/sekon |
Resolusi paksi-Z |
0.1um |
Julat pengukuran ketebalan dalam talian |
0~1800um |
Resolusi pengukuran ketebalan dalam talian |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved