Peralatan Semikonduktor Sistem Etsa Plasma Gandingan Induktif ( ICP ) , Peralatan Semikonduktor Sistem Gandingan Plasma Induktif China ( ICP ) Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Sistem etsa plasma (icp) gandingan induktif

Perincian peralatan Semikonduktor Sistem Gandingan Plasma Induktif ( ICP).

Pembekal peralatan Semikonduktor Sistem Gandingan Plasma Induktif ( ICP )

Induktif Gandingan Plasma Etching System ( ICP ) Kilang peralatan semikonduktor

Hasil Proses

Goresan kuarza / silikon / parut

Menggunakan topeng BR untuk mengetsa bahan kuarza atau silikon, corak tatasusunan parut mempunyai garisan paling nipis sehingga 300nm dan kecuraman dinding sisi corak adalah hampir dengan > 89° , yang boleh digunakan pada paparan 3D, peranti optik mikro, komunikasi optoelektronik, dan lain-lain

Goresan kompaun / semikonduktor

Kawalan tepat suhu permukaan sampel boleh mengawal dengan baik morfologi goresan bahan berasaskan GaN, GaAs, InP dan logam. Ia sesuai untuk peranti LED biru, laser, komunikasi optik dan aplikasi lain.

Induktif Gandingan Plasma Etching System ( ICP ) Pembuatan peralatan semikonduktor

Goresan bahan berasaskan silikon

ia sesuai untuk mengetsa bahan berasaskan silikon seperti Si, SiO2, dan SiNx. Ia boleh merealisasikan goresan talian silikon melebihi 50nm dan goresan lubang dalam silikon di bawah 100um

spesifikasi

Konfigurasi projek dan gambar rajah struktur mesin

Perkara	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Saiz produk	≤6 inci	≤8 inci	≤6 inci	≤8 inci	Tersuai≥12inci
Sumber kuasa SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Sumber kuasa BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Pam molekul	Tidak menghakis : 600 /1300 (L/s)/Tersuai			Anti-karat:600 /1300 (L./s)/Tersuai		600/1300(L/s) /Tersuai
Pam garis depan	Pam mekanikal / pam kering			Pam kering anti kakisan		Pam mekanikal / pam kering
Pam pra pam	Pam mekanikal / pam kering			Pam mekanikal / pam kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkawal/0-0.1/1/10Tekanan terkawal torr
Jenis gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Sehingga 12 saluran, tiada gas menghakis & toksik)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Tersuai (Sehingga 12 saluran)
Julat gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Ya tidak			Ya
Kawalan tem sampel	10°C~Bilik/ -30°C~150°C /Tersuai			-30°C~200°C/Tersuai
Penyejukan helium belakang	Ya tidak			Ya
Proses lapisan rongga	Ya tidak			Ya
Kawalan tem dinding rongga	No/Bilik suhu-60/120°C			Suhu bilik~60/120°C
Sistem kawalan	Auto/tersuai
Bahan goresan	Asas silikon: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Bahan organik:PR/Organik filem......			Asas silikon: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Bahan magnet / bahan aloi Bahan logam: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Bahan organik: PR/Filem organik...... Goresan dalam silikon

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh menyediakan penyelesaian profesional peralatan Talian Pakej Bahagian Hadapan dan Bahagian Belakang Semikonduktor Sehenti Sehenti dari China.