struktur |
menunjukkan |
Meja pendedahan |
Kawasan pendedahan: meja, kawasan penempatan substrat |
Sistem optik |
Kawasan pembezaan pancaran laser |
Sistem kawalan alam sekeliling |
Kawal suhu dalaman dan tekanan positif peranti |
Sistem platform |
Kawal pergerakan jadual pendedahan untuk menyelesaikan operasi laluan pendedahan |
Sistem Kawalan |
Sistem kawalan keseluruhan perlengkapan |
No. |
Persekitaran |
Memerlukan |
1 |
Sumber cahaya persekitaran |
Cahaya kuning |
2 |
Suhu |
22℃±2℃ |
3 |
Kelembapan |
50%±10% |
4 |
Kebersihan |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, udara kering dan bersih |
6 |
Pasukan kuasa |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Dawai tanah mesti disambungkan kepada tanah, |
7 |
Air Penyejuk |
Suhu: 10℃~ 20℃ Tekanan: 0.3MPa ~ 0.5MPa Kadar aliran: 20L/minit Beza tekanan: 0.3MPa atau lebih tinggi Ambil ukuran diameter: Rc3/8 |
8 |
Tempat |
aras: ±3mm/3000mm goncangan: VC-B Bearing: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Satu port rangkaian |
11 |
Saiz Mesin |
1300*1100*2100mm |
12 |
Berat peranti |
1500kg |
No. |
Projek |
Spesifikasi. |
Catatan |
1 |
Resolusi |
0.6um/atau keperluan lain |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Ketebalan substrat |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Ketepatan grid tarikh |
60nm |
|
5 |
Penyelarian |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Ketepatan jahitan |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Saiz paparan maksimum |
190X190mm |
|
8 |
Throughput |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
sumber Cahaya |
LD 375nm |
|
10 |
kuasa Penyinaran |
6W |
|
11 |
Kebajikan tenaga |
≥95% |
|
12 |
hidupan cahaya |
10000jam |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
