Sistem litografi tanpa topeng MCXJ-MLS8 , China Sistem litografi tanpa topeng MCXJ-MLS8 Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Contoh:

Pembuatan Sistem litografi tanpa topeng MCXJ-MLS8

Gambar rajah struktur peralatan

Pembekal Sistem litografi tanpa topeng MCXJ-MLS8

spesifikasi

Gambar rajah struktur perumah pendedahan

struktur	ilustrasikan
Mendedahkan bahagian atas meja	Kawasan pendedahan: bahagian atas meja, kawasan peletakan substrat
Sistem optik	Kawasan pengacuan pelepasan laser
Sistem kawalan alam sekitar	Kawal suhu dalaman dan tekanan positif peranti
Sistem platform	Mengawal pergerakan jadual pendedahan untuk menyelesaikan operasi laluan pendedahan
Sistem kawalan	Sistem kawalan keseluruhan peralatan

Nota: Kerana peningkatan mesin mungkin mengubah penampilan sebenar, subjek khusus kepada produk sebenar.

Tiada.	alam Sekitar	Memerlukan
1	Persekitaran sumber cahaya	Cahaya kuning
2	suhu	22 ℃ ± 2 ℃
3	Kelembapan	50% ± 10%
4	Kebersihan	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, udara kering dan bersih
6	Bekalan kuasa	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Wayar tanah mesti dibumikan,
7	air penyejukan	Suhu: 10 ℃~ 20 ℃ Tekanan：0.3MPa ~ 0.5MPa Kadar aliran：20L/min Perbezaan tekanan：0.3MPa以上 Ambil alih berkaliber：Rc3/8
8	Tempat	aras：±3mm/3000mm goncang：VC-B Bearing：750kg/㎡
10	Internet	Satu port rangkaian
11	saiz mesin	1300 * 1100 * 2100mm
12	Berat peranti	1500kg

Tiada.	Projek	Spec.	Catatan
1	Resolusi	0.6um/atau keperluan lain	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Ketebalan substrat	0.2mm～4mm
4	Ketepatan grid tarikh	60nm
5	Overlay	± 500nm	130mmx130mm
6	Ketepatan jahitan	± 200nm	AZ703
7	Saiz pendedahan MAX	190X190mm
8	Pemprosesan	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	sumber cahaya	LD 375nm
10	kuasa cahaya	6W
11	Keseragaman tenaga	≥ 95%
12	kehidupan yang ringan	10000hr

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh menyediakan penyelesaian profesional peralatan Talian Pakej Bahagian Hadapan dan Bahagian Belakang Semikonduktor Sehenti Sehenti dari China.