MDHS-AL8 8" Mesin litografi penuh automatik satu pihak , China MDHS-AL8 8" Mesin litografi penuh automatik satu pihak Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

MDHS-AL8 8" Mesin litografi penuh automatik satu pihak

1. Mod kerja: Robot pemuat secara automatik memuat papan dari kotak papan A-B (boleh didaur ulang) ke meja penempatan awal

meja kerja, dan melalui penyesuaian wafer pemosisian kamera serta sistem pusingan automatik, pemosisian pra-wafer dicapai; robot pemuatan kemudian memuatkan wafer yang telah diposisikan kepada meja penyelarasan. Melalui pengenalan imej komputer dan penyesuaian sistem penyelarasan automatik, penyelarasan automatik grafik pada topeng dan wafer boleh dicapai. Ia juga boleh menyelesaikan satu pendedahan tanpa menyelaraskan grafik. Selepas pendedahan automatik oleh sistem pendedahan berlebihan, robot pembongkaran secara automatik meletakkan wafer ke dalam kotak wafer C-D (dapat didaur semula).
2. Kawasan pendedahan: 160 × 160mm;
3. Ketidaksamaan terang pendedahan: ≤ 3%;
4. Kekuatan pendedahan: 0~≥ 40mw/cm2 dapat disesuaikan (sudut sinar 2 °);
5. Sudut sinar UV: ≤ 3 °;
6. Gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm;
7. Tempoh hidup sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Kapasiti pemisahan: 0~≥ 1000um dapat disesuaikan;
9. Kejituan penyelarasan: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Keakuratan paparan: Paparan kawasan ± 1 μ m. Pemisahan paparan hampir 20 μ M sudut sinar 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Kaedah paparan: paparan kawasan keras, kawasan lembut, dan paparan hampir;
12. Mod paparan: Anda boleh memilih antara paparan satu kali atau paparan offset
13. Sistem pengenalan imej pra-penempatan dan pusingan automatik (termasuk meja pra-penempatan): sudut pusingan Q ≥ ± 180 °, kejituan pusingan Q ≤ 0.01 °;
14. Sistem pengenalan imej dan penjajaran automatik (termasuk meja kerja UVW): julat penjajaran X Y ≥ ± 5mm, sudut pusingan Q ≥ ± 3 °, dan dua kanta mikroskop dikawal oleh dua platform elektrik XYZ.
15. Saiz topeng: 5 "× 5" dan 7" × 7 ";
16. Saiz wafer: 4 "dan 6";
17. Stesen kotak filem atas dan bawah: dua stesen;
18. Ikat pinggang udara bantalan kaki
19. Lengan robot dua tangan untuk memuatkan dan membongkar: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Bilangan wafer dalam kotak wafer: ditentukan berdasarkan bilangan wafer dalam kotak wafer pelanggan;
21. Penyusunan meja angkat: Z ≥ ± 25mm;
22. Masa pendedahan: boleh disesuaikan dari 0 hingga 999.9 saat;
23. Ritm pengeluaran: >120 keping setiap jam;
24. Bekalan kuasa: fasa tunggal AC220V 50Hz, penggunaan kuasa ≤ 3KW;
25. Tekanan udara bersih: ≥ 0.4MPa;
26. Darjah vakum: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Saiz: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Berat: Kira-kira 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Mesin ini terdiri daripada kepaparan ultraviolet LED, sistem pengenalan imej dan putaran automatik, meja kerja pra-letakkan, dan sistem pengenalan gambar seperti pengenalan dan penjajaran automatik, meja kerja penjajaran, robot muat masuk, robot muat keluar, rak, dan peralatan kawalan elektrik yang terdiri daripada alatan ganti, dll.

Spesifikasi

1. Kepala pendedahan: Satu kepala pendedahan LED ultraviolet (365nm);
2. Meja kerja pengenalan imej dan penyelaras pra-pendedahan:
1) 1 kamera (1.3 juta piksel)
2) Peranti penempatan pusat
3) 1 set platform putaran (menggunakan motor servo)
4) 1 set sistem penempatan
3. Sistem pengenalan imej dan penyelarasan automatik:
1) 2 kamera (5 juta piksel kadar bingkai tinggi)
2) 2 lensa (lensa 4x definisi tinggi)
3) Satu komputer perindustrian
4) Satu pengawal (dikawal oleh PLC)
5) Satu set platform penjajaran (menggunakan motor langkah 5-fasa)
6) Satu set sistem sukan
7) Peranti papan atas menggunakan motor untuk mengangkat dan menurunkan
7) Perisian itu menggunakan versi terkini LabVIEW Professional Edition
4. Lengan mekanikal memuatkan dan membongkar:
1) X Y. Satu set Z mekanisme pergerakan automatik
2) Lengan robot dua lengan (lengan memuatkan dan membongkar)
5. Mekanisme tetap kotak wafer:
1) AB adalah tetap penentuan kotak filem penyediaan
2) CD adalah penempatan tetap kotak filem potongan
3) G adalah penempatan tetap kotak filem kedudukan NG
6. Platform tetap kamera:
7. Dua set mekanisme penyesuaian Y.Z elektrik (dikawal oleh motor servo)
8. Rak dan konsol kawalan elektrik:
1) 1 komputer industri
2) Satu set PLC;
3) Satu set katup elektromagnet dan sistem kawalan
4) Satu set alat pneumatik digital
5) Satu set konsol kawalan
8. Lampiran cadangan:
1) Traheal: 15 meter
2) 2 nilai solenoid
3) Pompa vakum: 1 unit
9. Data teknikal:
1) Satu buku panduan pengguna
2) Satu sijil kelayakan
10. Tambahan
Perisian peralatan mestilah dilengkapi dengan protokol komunikasi SECS, dan pembeli menyediakan pustaka dinamik dengan fungsi untuk menyambungkan kepada sistem MES pembeli, secara automatik mencatat nombor batang produk, nombor kerja, dan status operasi serta mengunggahnya. Pada masa yang sama, ia mempunyai fungsi untuk mengenal pasti kod QR pelat topeng, membandingkannya dengan kod QR pelat topeng dalam sistem MES, dan mencegah pelat topeng yang salah diambil.

Pembungkusan & Penghantaran

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine manufacture

Profil Syarikat

Laman Utama

Mengenai Kami

MH Equipment

Penyelesaian

Pengguna Luar Negara

Video

Hubungi kami

MDHS-AL8 8" Mesin litografi penuh automatik satu pihak