MDHS-AL8 8" Mesin litografi satu sisi automatik sepenuhnya, China MDHS-AL8 8" Mesin litografi satu sisi automatik sepenuhnya Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

MDHS-AL8 8" Mesin litografi satu sisi automatik sepenuhnya

1. Mod kerja: Robot pemuatan secara automatik memuatkan wafer dari kotak wafer AB (boleh dikitar semula) ke pra kedudukan

meja kerja, dan melalui pelarasan wafer kedudukan kamera dan sistem putaran automatik, kedudukan pra wafer dicapai; Robot pemuatan kemudiannya memuatkan wafer yang diposisikan sebelumnya ke meja kerja penjajaran. Melalui pengecaman imej komputer dan pelarasan sistem penjajaran automatik, penjajaran automatik grafik pada topeng dan wafer boleh dicapai. Ia juga mungkin untuk menyelesaikan satu pendedahan tanpa menjajarkan grafik. Selepas pendedahan automatik oleh sistem pendedahan berlebihan, robot pemunggahan secara automatik meletakkan wafer ke dalam kotak wafer CD (boleh dikitar semula).
2. Kawasan pendedahan: 160 × 160mm;
3. Pencahayaan pendedahan tidak sekata: ≤ 3%;
4. Keamatan pendedahan: 0~≥ 40mw/cm2 boleh laras (sudut rasuk 2 °);
5. Sudut pancaran UV: ≤ 3 °;
6. Pusat panjang gelombang cahaya ultraungu: 365nm;
7. Jangka hayat sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Kapasiti pemisahan: 0~≥ 1000um boleh laras;
9. Ketepatan penjajaran: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Ketepatan pendedahan: Pendedahan sentuhan ± 1 μ m. Pemisahan pendedahan hampir 20 μ M sudut pancaran 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Kaedah pendedahan: sentuhan keras, sentuhan lembut dan pendedahan kedekatan;
12. Mod pendedahan: Anda boleh memilih antara pendedahan sekali atau pendedahan mengimbangi
13. Pengecaman imej pra kedudukan dan sistem putaran automatik (termasuk meja kerja pra kedudukan): sudut putaran Q ≥ ± 180 °, ketepatan putaran Q ≤ 0.01 °;
14. Sistem pengecaman imej dan penjajaran automatik (termasuk meja kerja penjajaran UVW): julat penjajaran XY ≥ ± 5mm, sudut putaran Q ≥ ± 3 °, dan dua kanta mikroskop dikawal oleh dua platform elektrik XYZ.
15. Saiz topeng: 5 " × 5 "dan 7" × 7 ";
16. Saiz wafer: 4 "dan 6";
17. Stesen kerja kotak filem atas dan bawah: stesen kerja dua;
18. Beg udara kusyen kaki
19. Memuat dan memunggah lengan robot dua lengan: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Bilangan wafer dalam kotak wafer: ditentukan berdasarkan bilangan wafer dalam kotak wafer pelanggan;
21. Mengangkat meja kedudukan: Z ≥ ± 25mm;
22. Masa pendedahan: boleh laras dari 0 hingga 999.9 saat;
23. Irama pengeluaran:> 120 keping sejam;
24. Bekalan kuasa: fasa tunggal AC220V 50Hz, penggunaan kuasa ≤ 3KW;
25. Tekanan udara bersih: ≥ 0.4MPa;
26. Ijazah vakum: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Saiz: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Berat: Kira-kira 400kg

Mesin ini terdiri daripada kepala pendedahan ultraungu LED, pengecaman imej dan sistem putaran automatik, meja kerja pra kedudukan, dan sistem pengecaman Seperti dan penjajaran automatik, bangku kerja penjajaran, robot pemuatan, robot pemunggah, rak, dan kawalan elektrik Terdiri daripada peralatan. , aksesori ganti, dsb.

spesifikasi

1. Kepala pendedahan: Satu kepala pendedahan ultraviolet LED (365nm);
2. Meja kerja pengecaman imej dan pra penjajaran:
1) 1 kamera (1.3 juta piksel)
2) Lekapan kedudukan tengah
3) 1 set platform berputar (menggunakan motor servo)
4) 1 set sistem kedudukan
3. Pengecaman imej dan sistem penjajaran automatik:
1) 2 kamera (5 juta piksel kadar bingkai tinggi)
2) 2 kanta (4x kanta definisi tinggi)
3) Satu komputer industri
4) Satu pengawal (dikawal oleh PLC)
5) Satu set platform penjajaran (menggunakan motor stepper 5 fasa)
6) Satu set sistem sukan
7) Peranti plat atas menggunakan motor untuk mengangkat dan menurunkan
7) Perisian ini menggunakan versi terkini LabVIEW Edisi Profesional
4. Memuat dan memunggah lengan mekanikal:
1) X Y. Satu set mekanisme pergerakan automatik Z
2) Lengan robot dua lengan (memuat dan memunggah lengan)
5. Mekanisme penetapan kotak wafer:
1) AB ialah kedudukan tetap kotak filem suapan
2) CD ialah kedudukan tetap kotak filem pemotongan
3) G ialah kedudukan tetap kotak filem kedudukan NG
6. Platform tetap kamera:
7. Dua set mekanisme pelarasan elektrik YZ (dikawal oleh motor servo)
8. Rak dan konsol kawalan elektrik:
1) 1 komputer industri
2) Satu set PLC;
3) Satu set injap solenoid dan sistem kawalan
4) Satu set alat pneumatik digital
5) Satu set konsol kawalan
8. Lampiran ganti:
1) Trakea: 15 meter
2) 2 injap solenoid
3) Pam vakum: 1 unit
9. Data teknikal:
1) Satu manual pengguna
2) Satu sijil pematuhan
10. Tambahan
Perisian peralatan perlu dilengkapi dengan protokol komunikasi SECS, dan pembeli menyediakan perpustakaan dinamik dengan fungsi dok dengan sistem MES pembeli, secara automatik merekodkan nombor kelompok produk, nombor kerja dan status operasi serta memuat naiknya. Pada masa yang sama, ia mempunyai fungsi untuk mengenal pasti kod QR plat topeng, membandingkannya dengan kod QR plat topeng sistem MES, dan menghalang plat topeng yang salah daripada diambil.

Pembungkusan & Penghantaran