|
projek
|
Spesifikasi
|
komen
|
||
|
1 |
Gambaran Peralatan |
Nama peralatan: Mesin pembangunan lem seragam penuh automatik
|
||
|
Model peralatan: MD-2C2D6
|
||||
|
Spesifikasi wafer pengilangan: sesuai dengan wafer piawai 4/6 inci
|
||||
|
Aliran proses lem seragam: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → lem seragam (menetes → lem seragam → pengeluaran tepi, belakang
pencucian) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul Aliran proses pembangunan: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → pembangunan (cairan pembangunan → air terion, pencucian belakang → penyusakan nitrogen) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul |
||||
|
Saiz keseluruhan (kira-kira): 2100mm (L) * 1800mm (D) * 2100mm (T)
|
||||
|
Saiz kabinet kimia (kira-kira): 1700(L) * 800(D) * 1600mm (T)
|
||||
|
Jumlah berat (kira-kira): 1000kg
|
||||
|
Ketinggian meja kerja: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Unit kaset
|
Kuantiti: 2
|
||
|
Saiz yang sesuai: 4/6 inci
|
||||
|
Pengesanan kaset: pengesan mikro
|
||||
|
Pengesanan keluaran: Ya, pengesan pantulan
|
||||
|
3 |
robot |
Kuantiti: 1
|
||
|
Jenis: Robot hisapan vakum dua lengan
|
||||
|
Darjah kebebasan: 4-paksi (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Bahan jari: seramik
|
||||
|
Kaedah pemelekatan substrat: kaedah penyerapan vakum
|
||||
|
Fungsi pemetaan: Ya
|
||||
|
Ketepatan penempatan: ± 0.1mm
|
||||
|
4 |
Unit penengahan
|
Jumlah: 1 set
|
Penjajaran optik pilihan
|
|
|
Kaedah penjajaran: penjajaran mekanikal
|
||||
|
Ketepatan penengahan: ± 0.2mm
|
||||
|
5 |
Unit lem seragam |
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
|
||
|
Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm
|
pemegang pemalas
|
|||
|
Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm
|
||||
|
Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s
|
pemegang pemalas
|
|||
|
Lengan penyedot: 1 set
|
||||
|
Laluan paip fotoresisten: 2 laluan
|
||||
|
Diameter penyumbat fotoresisten: 2.5mm
|
||||
|
Insulasi fotoresisten: 23 ± 0.5 ℃
|
pilihan
|
|||
|
Penyumbat pelembap: Ya
|
||||
|
RRC: Ya
|
||||
|
Buffer: Ya, 200ml
|
||||
|
Kaedah pemeletakan lem: pemeletakan pusat dan pemeletakan pemindaian adalah pilihan
|
||||
|
Lengan pengalihan tepi: 1 set
|
||||
|
Diameter penyemprot pengalihan tepi: 0.2mm
|
||||
|
Pemantauan aliran cecair pengalihan tepi: pemeter apung
|
||||
|
Julat aliran cecair pengalihan tepi: 5-50ml/minit
|
||||
|
Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)
|
||||
|
Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung
|
||||
|
Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit
|
||||
|
Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck
|
||||
|
Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan cawan: PP
|
||||
|
Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital
|
||||
|
6 |
Unit membangun |
Ketupat: ada
|
||
|
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
|
||||
|
Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm
|
pemegang pemalas
|
|||
|
Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm
|
||||
|
Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s
|
pemegang pemalas
|
|||
|
Lengan membangun: 1 set
|
||||
|
Paip membangun: 2-arat (penyemprot berbentuk kipas/pillar)
|
||||
|
Penapisan pembangun: 0.2um
|
||||
|
Kawalan suhu pembangun: 23 ± 0.5 ℃
|
pilihan
|
|||
|
Julat aliran penyelesaian pembangunan: 100~1000ml/minit
|
||||
|
Mod gerakan lengan pembangunan: titik tetap atau skenning
|
||||
|
Lengan pemanasan: 1 set
|
||||
|
Paip air terdeion: 1 litar
|
||||
|
Diameter penyemprot air terdeion: 4mm (diameter dalaman)
|
||||
|
Julat aliran air terdeion: 100~1000ml/minit
|
||||
|
Paip pengeringan nitrogen: 1 litar
|
||||
|
Diameter penyemprot nitrogen: 4mm (diameter dalaman)
|
||||
|
Julat aliran nitrogen: 5-50L/minit
|
||||
|
Pemantauan aliran pembangun, air terdeion, nitrogen: pemeter aliran float
|
||||
|
Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)
|
||||
|
Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung
|
||||
|
Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit
|
||||
|
Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck
|
||||
|
Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan cawan: PP
|
||||
|
Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital
|
||||
|
7 |
Unit Tackifying |
Kuantiti: 2
|
pilihan
|
|
|
Julat suhu: suhu bilik~180 ℃
|
||||
|
Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) |
||||
|
Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ° C
|
||||
|
Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID
|
||||
|
Julat ketinggian PIN: 0-20mm
|
||||
|
Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI
|
||||
|
Jarakan panggang: 0.2mm
|
||||
|
Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif
|
||||
|
Kaedah pembekalan: Berbuih, 10 ± 2ml/minit
|
||||
|
Vakum operasi bilik: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Unit papan panas |
Kuantiti: 10
|
||
|
Julat suhu: suhu bilik~250 ℃
|
||||
|
Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) |
||||
|
Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ℃
|
||||
|
Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID
|
||||
|
Julat ketinggian PIN: 0-20mm
|
||||
|
Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI
|
||||
|
Jarakan panggang: 0.2mm
|
||||
|
Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif
|
||||
|
9 |
Unit papan sejuk
|
Kuantiti: 2
|
||
|
Julat suhu: 15-25 ℃
|
||||
|
Kaedah penyejukan: pom sirkulasi suhu malar
|
||||
|
10 |
Pasokan Kimia |
Penyimpanan Photoresist: pom lem pneumatik * 4 set (Tangki pilihan atau pom lem elektrik)
|
||
|
Isipadu penyusunan lem: maksimum 12ml setiap sesi, kejituan ± 0.2ml
|
||||
|
Pembuang tepi/bilasan belakang/pasokan RRC: tangki tekanan 18L * 2 (penambahbaikan automatik)
|
||||
|
Pemantauan paras cecair pembuang tepi/bilasan belakang/RRC: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pemantauan paras cecair photoresist: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pengeluaran cecair terbuang adhesif seragam: tangki terbuang 10L
|
||||
|
Pasokan pengembang: tangki tekanan 18L * 4 (Disimpan di luar mesin dalam kabinet kimia)
|
||||
|
Pasokan air air terion: pasokan terus dari kilang
|
||||
|
Pembangunan pemantauan tahap cecair: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pengeluaran sisa pembangunan: pengeluaran sisa kilang
|
||||
|
Pasokan tackifier: tangki tekanan 10L * 1, tangki tekanan 2L * 1
|
||||
|
Pemantauan tahap tackifier: sensor fotoelektrik
|
||||
|
11 |
sistem Kawalan |
Kaedah kawalan: PLC
|
||
|
Antara muka operasi manusia mesin: skrin sentuh 17 inci
|
||||
|
Sistem Penyediaan Kuasa Tanpa Putus (UPS): Ya
|
||||
|
Tetapkan keizinan enkripsi untuk pengendali peranti, teknikawan, pentadbir
|
||||
|
Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna
|
||||
|
12 |
Indikator kebolehpercayaan sistem
|
Masa aktif: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500jam
|
||||
|
MTTR: ≤ 4jam
|
||||
|
MTBA： ≥24jam
|
||||
|
Kadar pecahan: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Fungsi lain
|
Lampu kuning: 4 set (kedudukan: di atas unit pencampuran lem dan pembangunan)
|
||
|
THC: Ya, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
pilihan
|
|||
|
FFU: Kelas 100, 5 set (kawasan unit proses dan ROBOT)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
