|
projek
|
spesifikasi
|
ucapan
|
||
|
1 |
Gambaran Keseluruhan Peralatan |
Nama peralatan: Mesin membangunkan gam seragam auto sepenuhnya
|
||
|
Model peralatan: MD-2C2D6
|
||||
|
Memproses spesifikasi wafer: serasi dengan wafer standard 4/6 inci
|
||||
|
Aliran proses gam seragam: Menghiris bakul bunga → memusatkan → gam seragam (menitis → gam seragam → membuang tepi, belakang
basuh) → pinggan panas → pinggan sejuk → letak bakul Aliran proses pembangunan: Menghiris bakul bunga → memusatkan → pembangunan (penyelesaian pembangunan → air ternyahion, mencuci belakang → pengeringan nitrogen) → plat panas → plat sejuk → meletakkan bakul |
||||
|
Saiz keseluruhan (anggaran): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
|
||||
|
Saiz kabinet kimia (anggaran): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
|
Jumlah berat (anggaran):1000kg
|
||||
|
Ketinggian meja kerja: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Unit kaset
|
Kuantiti: 2
|
||
|
Saiz serasi: 4/6 inci
|
||||
|
Pengesanan kaset: pengesanan suis mikro
|
||||
|
Pengesanan slaid keluar: Ya, penderia reflektif
|
||||
|
3 |
robot |
Kuantiti: 1
|
||
|
Jenis: Robot penjerapan vakum lengan dua
|
||||
|
Darjah kebebasan: 4 paksi (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Bahan jari: seramik
|
||||
|
Kaedah penetapan substrat: kaedah penjerapan vakum
|
||||
|
Fungsi pemetaan: Ya
|
||||
|
Ketepatan kedudukan: ± 0.1mm
|
||||
|
4 |
Unit pemusatan
|
Kuantiti: set 1
|
Penjajaran optik pilihan
|
|
|
Kaedah penjajaran: penjajaran mekanikal
|
||||
|
Ketepatan pemusatan: ± 0.2mm
|
||||
|
5 |
Unit gam seragam |
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
|
||
|
Kelajuan putaran gelendong: -5000rpm~5000rpm
|
membawa pemalas
|
|||
|
Ketepatan putaran gelendong: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Pelarasan minimum kelajuan putaran gelendong: 1rpm
|
||||
|
Pecutan maksimum putaran gelendong: 20000rpm/s
|
membawa pemalas
|
|||
|
Lengan menitis: 1 set
|
||||
|
Laluan tiub Photoresist: 2 laluan
|
||||
|
Diameter muncung fotoresist: 2.5mm
|
||||
|
Penebat photoresist: 23 ± 0.5 ℃
|
pilihan
|
|||
|
Muncung pelembap: Ya
|
||||
|
RRC: Ya
|
||||
|
Penampan: Ya, 200ml
|
||||
|
Kaedah menjatuhkan gam: menjatuhkan pusat dan menjatuhkan imbasan adalah pilihan
|
||||
|
Lengan penyingkiran tepi: 1 set
|
||||
|
Diameter muncung penyingkiran tepi: 0.2mm
|
||||
|
Pemantauan aliran cecair penyingkiran tepi: meter aliran apungan
|
||||
|
Julat aliran cecair penyingkiran tepi: 5-50ml/min
|
||||
|
Saluran paip cuci belakang: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)
|
||||
|
Pemantauan aliran cucian belakang: meter alir terapung
|
||||
|
Julat aliran cecair basuh belakang: 20-200ml/min
|
||||
|
Kaedah penetapan cip: Chuck penjerapan vakum kawasan kecil
|
||||
|
Penggera tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan cawan: PP
|
||||
|
Pemantauan ekzos cawan: sensor tekanan digital
|
||||
|
6 |
Membangunkan unit |
Pengatup: ya
|
||
|
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
|
||||
|
Kelajuan putaran gelendong: -5000rpm~5000rpm
|
membawa pemalas
|
|||
|
Ketepatan putaran gelendong: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Pelarasan minimum kelajuan putaran gelendong: 1rpm
|
||||
|
Pecutan maksimum putaran gelendong: 20000rpm/s
|
membawa pemalas
|
|||
|
Membangunkan lengan: 1 set
|
||||
|
Membangunkan saluran paip: 2 hala (berbentuk kipas/muncung lajur)
|
||||
|
Penapisan pemaju: 0.2um
|
||||
|
Kawalan suhu pembangun: 23 ± 0.5 ℃
|
pilihan
|
|||
|
Membangunkan julat aliran penyelesaian: 100~1000ml/min
|
||||
|
Mod gerakan lengan yang sedang berkembang: titik tetap atau imbasan
|
||||
|
Lengan peleburan: 1 set
|
||||
|
Saluran paip air ternyahion: 1 litar
|
||||
|
Diameter muncung air ternyahion: 4mm (diameter dalam)
|
||||
|
Julat aliran air ternyahion: 100~1000ml/min
|
||||
|
Saluran paip pengeringan nitrogen: 1 litar
|
||||
|
Diameter muncung nitrogen: 4mm (diameter dalam)
|
||||
|
Julat aliran nitrogen: 5-50L/min
|
||||
|
Pembangun, air ternyahion, pemantauan aliran nitrogen: meter alir terapung
|
||||
|
Saluran paip cuci belakang: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)
|
||||
|
Pemantauan aliran cucian belakang: meter alir terapung
|
||||
|
Julat aliran cecair basuh belakang: 20-200ml/min
|
||||
|
Kaedah penetapan cip: Chuck penjerapan vakum kawasan kecil
|
||||
|
Penggera tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan Chuck: PPS
|
||||
|
Bahan cawan: PP
|
||||
|
Pemantauan ekzos cawan: sensor tekanan digital
|
||||
|
7 |
Unit pengikat |
Kuantiti: 2
|
pilihan
|
|
|
Julat suhu: suhu bilik ~ 180 ℃
|
||||
|
Keseragaman suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Keluarkan 10mm dari tepi, kecuali lubang pin ejektor) |
||||
|
Jumlah pelarasan minimum: 0.1 ° C
|
||||
|
Kaedah kawalan suhu: Pelarasan PID
|
||||
|
Julat ketinggian PIN: 0-20mm
|
||||
|
Bahan PIN: badan SUS304, penutup pin PIN PI
|
||||
|
Jurang penaik: 0.2mm
|
||||
|
Penggera lebih suhu: penggera sisihan positif dan negatif
|
||||
|
Kaedah bekalan: Berbuih, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Vakum operasi ruang: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Unit plat panas |
Kuantiti: 10
|
||
|
Julat suhu: suhu bilik ~ 250 ℃
|
||||
|
Keseragaman suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Keluarkan 10mm dari tepi, kecuali lubang pin ejektor) |
||||
|
Jumlah pelarasan minimum: 0.1 ℃
|
||||
|
Kaedah kawalan suhu: Pelarasan PID
|
||||
|
Julat ketinggian PIN: 0-20mm
|
||||
|
Bahan PIN: badan SUS304, penutup pin PIN PI
|
||||
|
Jurang penaik: 0.2mm
|
||||
|
Penggera lebih suhu: penggera sisihan positif dan negatif
|
||||
|
9 |
Unit plat sejuk
|
Kuantiti: 2
|
||
|
Julat suhu: 15-25 ℃
|
||||
|
Kaedah penyejukan: suhu malar beredar penyejukan pam
|
||||
|
10 |
Bekalan Kimia |
Penyimpanan photoresist: pam gam pneumatik * 4 set (Tanki pilihan atau pam gam elektrik)
|
||
|
Isipadu pendispensan gam: maksimum 12ml setiap sesi, ketepatan ± 0.2ml
|
||||
|
Penyingkiran tepi/basuh belakang/Bekalan RRC: Tangki tekanan 18L * 2 (tambahan automatik)
|
||||
|
Pembuangan tepi/basuh belakang/Pemantauan paras cecair RRC: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pemantauan paras cecair Photoresist: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pelepasan cecair sisa pelekat seragam: tangki cecair sisa 10L
|
||||
|
Bekalan pemaju: tangki tekanan 18L * 4 (Disimpan dalam kabinet kimia di luar mesin)
|
||||
|
Bekalan air ternyahion: bekalan terus kilang
|
||||
|
Membangunkan pemantauan paras cecair: sensor fotoelektrik
|
||||
|
Pelepasan sisa pemaju: pelepasan sisa kilang
|
||||
|
Bekalan tackifier: tangki tekanan 10L * 1, tangki tekanan 2L * 1
|
||||
|
Pemantauan tahap tackifier: sensor fotoelektrik
|
||||
|
11 |
sistem kawalan |
Kaedah kawalan: PLC
|
||
|
Antara muka operasi mesin manusia: skrin sentuh 17 inci
|
||||
|
Bekalan Kuasa Tidak Terganggu (UPS): Ya
|
||||
|
Tetapkan kebenaran penyulitan untuk pengendali peranti, juruteknik, pentadbir
|
||||
|
Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna
|
||||
|
12 |
Penunjuk kebolehpercayaan sistem
|
Masa aktif: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500j
|
||||
|
MTTR: ≤ 4j
|
||||
|
MTBA： ≥24j
|
||||
|
Kadar pemecahan: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Fungsi lain
|
Lampu kuning: 4 set (kedudukan: di atas unit pencampuran dan pembangunan gam)
|
||
|
THC: Ya, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
pilihan
|
|||
|
FFU: Kelas 100, 5 set (unit proses dan kawasan ROBOT)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Hak Cipta Terpelihara
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
TIDAK
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
