MDXN-25D Mask aligner , China MDXN-25D Mask aligner Pengilang, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Peralatan ini ialah mesin litografi ketepatan yang dibangunkan oleh syarikat kami khusus untuk ciri penggunaan mesin litografi di pelbagai kolej dan institusi penyelidikan. Ia digunakan terutamanya untuk pembangunan dan pengeluaran litar bersepadu kecil dan sederhana, komponen semikonduktor, peranti optoelektronik, dan peranti gelombang akustik permukaan.
Di atas premis untuk mengekalkan penunjuk teknikal utama peralatan yang asal, kami telah mengoptimumkan beberapa struktur dan komponen peralatan, mengurangkan beberapa tindakan mekanikal yang tidak perlu, dan memastikan bahawa titik kegagalan peralatan diminimumkan sebanyak mungkin, dan operasi peralatan juga sangat stabil dan boleh dipercayai.

spesifikasi

Parameter utama teknikal

1. Jenis pendedahan: satu sisi.
2. Kawasan pendedahan: 110 × 110mm.
3. Pencahayaan pendedahan tidak sekata: ≤±3%.
4. keamatan pendedahan: 0-30mw/cm2 boleh laras.
5. Sudut pancaran UV: ≤3°.
6. Panjang gelombang pusat cahaya ultraungu: 365nm.
7. Jangka hayat sumber cahaya UV: ≥500 jam.
8.Mengguna pakai pengatup elektronik.
9. Resolusi pendedahan: 1 μm;
10. Julat pengimbasan mikroskopik:X:±15mm Y:±15mm;
11. Julat penjajaran: X, Y pelarasan±4mm;Q-pelarasan arah±3°;
12. Ketepatan ukiran:1 μ Ketepatan "versi" dan "cip" pengguna mesti mematuhi peraturan negara,
dan persekitaran, suhu, kelembapan dan habuk boleh dikawal dengan ketat. Photoresist positif yang diimport digunakan, dan ketebalan photoresist seragam boleh be dikawal ketat.Selain itu, proses hadapan dan belakang lebih maju;
13. Jumlah pemisahan; 0~50 μm boleh laras;
14. Kaedah pendedahan: pendedahan dekat, yang boleh mencapai sentuhan keras, sentuhan lembut, dan pendedahan sentuhan daya mikro; 15.Formula mencari kuasa dua:udara

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh menyediakan penyelesaian profesional peralatan Talian Pakej Bahagian Hadapan dan Bahagian Belakang Semikonduktor Sehenti Sehenti dari China.