Peralatan ini adalah mesin litografi presisi yang dikembangkan oleh syarikat kami secara khas untuk ciri-ciri penggunaan mesin litografi di pelbagai kolej dan institusi penyelidikan. Ia主要用于 pembangunan dan pengeluaran litar terpadu kecil dan sederhana, komponen semikonduktor, peranti optoelektronik, dan peranti gelombang permukaan. Dengan tetap mempertahankan indeks teknikal utama asal alatan, kami telah mengoptima beberapa struktur dan komponen alatan, mengurangkan beberapa tindakan mekanikal yang tidak perlu, dan memastikan titik kegagalan alatan dipinilkan sebanyak mungkin, serta operasi alatan juga sangat stabil dan boleh dipercayai.
Spesifikasi
Parameter teknikal utama
1.Jenis pendedahan: satu pihak sahaja. 2.Kawasan pendedahan: 110×110mm. 3.Ketidaksamaan pendedahan: ≤±3%. 4.Intensiti pendedahan: 0-30mw/cm2 boleh disesuaikan. 5.Sudut sinaran UV: ≤3°. 6.Gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm. 7.Jangka hayat sumber cahaya UV: ≥500 jam. 8.Menggunakan kamera elektronik. 9.Resolusi pendedahan: 1 μm; 10.Jangkauan pemeriksaan mikroskopik:X:±15mm Y:±15mm; 11.Jangkauan penyelarasan:Penyesuaian X,Y ±4mm; Penyesuaian arah Q ±3°; 12.Ketepatan pahatan:1 μ Ketepatan "versi" dan "cip" pengguna mestilah mematuhi peraturan kebangsaan, dan alam sekeliling,suhu,kedap air,dan kerosakan boleh dikawal dengan ketat.Fotoresisten positif yang dieksport digunakan,dan ketebalan fotoresisten yang seragam boleh d ikawal dengan ketat. Selain itu,proses awal dan akhir adalah canggih; 13.Kuantiti pemisahan;0~50 μm boleh disesuaikan; 14.Kaedah paparan:paparan rapat, yang boleh mencapai paparan kontak keras,kontak lembut,dan kontak daya mikro; 15.Rumus pencarian segi empat sama:udara
Pembungkusan & Penghantaran
Profil Syarikat
Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh memberi anda penyelesaian profesional garis pakej Semikonduktor hadapan dan belakang satu henti dari China.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
