Mesin Litografi Tunggal Sisi Ketepatan Tinggi MDXN-25X , China Mesin Litografi Tunggal Sisi Ketepatan Tinggi MDXN-25X Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Peralatan ini adalah mesin litografi ketepatan tinggi yang dikembangkan oleh perusahaan kami secara khusus untuk ciri-ciri penggunaan mesin litografi di berbagai kolej dan institusi penyelidikan. Ia terutamanya digunakan untuk pembangunan dan pengeluaran litar terpadu kecil dan sederhana, komponen semiconductor, peranti optoelektronik, dan peranti gelombang permukaan.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Spesifikasi

Parameter teknikal utama

1. Peranti itu boleh menyedot topeng segi empat sama saiz 5 "X5" tanpa sebarang keperluan khas terhadap ketebalan papan (dari 1 hingga 3mm).
2. Peranti itu boleh digunakan untuk substrat bulat berdiameter ф 100mm;
3. Ketebalan substrat ≤ 5mm;
4. Penyinaran:
Sumber cahaya: Lampu merkuri tekanan ultra-tinggi GCQ350Z arus langsung digunakan.
Julat penyinaran: ≤ ф 117mm Kawasan paparan: ф 100mm
dalam julat ф 100mm, ketakseragaman paparan adalah ≤ ± 3%, dan kekuatan paparan adalah> 6mw/cm2 (indikator ini diukur menggunakan sumber cahaya UV garis I-line 365nm).
5. Peranti ini menggunakan relai masa importan untuk mengawal kenderaan pneumatik, memastikan operasi yang tepat dan dapat dipercayai.
6. Mesin ini adalah mesin paparan sentuh yang boleh mencapai:
7. Paparan sentuh keras: Gunakan vakum paip untuk mendapatkan kontak vakum tinggi, vakum ≤ -0.05MPa
8. Pendedahan konsesi lembut: Tekanan konsesi boleh meningkatkan vakum kepada antara -0.02MPa hingga -0.05MPa.
9. Pendedahan konsesi mikro: kurang daripada konsesi lembut, vakum ≥ -0.02MPa.
10. Resolusi pendedahan: Resolusi pendedahan konsesi keras alatan ini boleh mencapai 1 μ di atas m (kejituan 'plat' dan 'cip' pengguna mestilah mematuhi peraturan negara, dan persekitaran, suhu, kelembapan, serta debu boleh dikawal dengan ketat. Fotoresisten positif import digunakan, dan ketebalan fotoresisten yang seragam boleh dikawal dengan ketat. Selain itu, proses awal dan akhir adalah canggih).
11. Penyelaras: Sistem pemerhatian terdiri daripada dua kamera CCD yang dipasang pada dua mikroskop tiub tunggal dan disambungkan ke skrin paparan melalui kabel video.

Pembungkusan & Penghantaran

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh memberi anda penyelesaian profesional garis pakej Semikonduktor hadapan dan belakang satu henti dari China.