Mesin Litografi Satu Sebelah Ketepatan Tinggi MDXN-25X , China Mesin Litografi Satu Sebelah Ketepatan Tinggi MDXN-25X Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Peralatan ini ialah mesin litografi ketepatan yang dibangunkan oleh syarikat kami khusus untuk ciri penggunaan mesin litografi di pelbagai kolej dan institusi penyelidikan. Ia digunakan terutamanya untuk pembangunan dan pengeluaran litar bersepadu bersaiz kecil dan sederhana, komponen semikonduktor, peranti optoelektronik, dan peranti gelombang akustik permukaan.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine kilang

spesifikasi

Parameter utama teknikal

1. Peranti boleh vakum menyerap topeng persegi 5 "X5", tanpa keperluan khas untuk ketebalan plat (antara 1 hingga 3mm).
2. Peranti boleh digunakan pada substrat bulat ф 100mm;
3. Ketebalan substrat ≤ 5mm;
4. Lampu:
Sumber cahaya: Lampu merkuri arus terus merkuri tekanan ultra tinggi GCQ350Z digunakan.
Julat pencahayaan: ≤ ф 117mm Kawasan pendedahan: ф 100mm
kekal ф Dalam julat 100mm, ketaksamaan pendedahan ialah ≤ ± 3%, dan keamatan pendedahan ialah>6mw/cm2 (penunjuk ini diukur menggunakan sumber cahaya UV I-line 365nm).
5. Peranti ini menggunakan geganti masa yang diimport untuk mengawal pengatup pneumatik, memastikan operasi yang tepat dan boleh dipercayai.
6. Mesin ini ialah mesin pendedahan sentuhan yang boleh mencapai:
7. Pendedahan sentuhan keras: Gunakan vakum saluran paip untuk mendapatkan sentuhan vakum tinggi, vakum ≤ -0.05MPa
8. Pendedahan sentuhan lembut: Tekanan sentuhan boleh menaikkan vakum antara -0.02MPa dan -0.05MPa.
9. Pendedahan sentuhan mikro: kurang daripada sentuhan lembut, vakum ≥ -0.02MPa.
10. Resolusi pendedahan: Resolusi pendedahan sentuhan keras peranti ini boleh mencapai 1 μ Di atas m (ketepatan "plat" dan "cip" pengguna mesti mematuhi peraturan negara, dan persekitaran, suhu, kelembapan dan habuk boleh dikawal ketat. Photoresist positif yang diimport digunakan, dan ketebalan photoresist seragam boleh dikawal dengan ketat.
11. Penjajaran: Sistem pemerhatian terdiri daripada dua kamera CCD yang dipasang pada dua mikroskop tiub tunggal dan disambungkan ke skrin paparan melalui kabel video.

Pembungkusan & Penghantaran

Pembekal Mesin Litografi Satu Sisi Ketepatan Tinggi MDXN-25X

Butiran Mesin Litografi Satu Sisi Ketepatan Tinggi MDXN-25X

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh menyediakan penyelesaian profesional peralatan Talian Pakej Bahagian Hadapan dan Bahagian Belakang Semikonduktor Sehenti Sehenti dari China.