1. Jenis dedahan: jenis sentuhan, penjajaran plat, dedahan tunggal dua muka
2. Kawasan pendedahan: 110X110mm;
3. Keseragaman pendedahan: ≥ 97%;
4. Keamatan pendedahan: 0-30mw/cm2 boleh laras;
5. Sudut pancaran UV: ≤ 3 °
6. Panjang gelombang pusat cahaya ultraungu: 365nm;
7. Jangka hayat sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;;
8. Suhu permukaan kerja: ≤ 30 ℃
9. Mengguna pakai pengatup elektronik;
10. Resolusi pendedahan: 1 μ M (kedalaman pendedahan adalah kira-kira 10 kali lebar garis)
11. Mod pendedahan: Pendedahan serentak dua sisi
12. Julat penjajaran: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Ketepatan penjajaran plat: 2 μ m
14. Julat putaran: Pelarasan putaran arah Q ≤ ± 5 °
15. Sistem mikroskopik: sistem CCD medan pandangan dwi, kanta objektif 1.6X~10X, sistem pemprosesan imej komputer, monitor LCD 19"; Jumlah pembesaran 91-570x
16. Saiz topeng: Mampu menyerap vakum topeng 5 "persegi, tanpa keperluan khas untuk ketebalan topeng (antara 1 hingga 3mm).
17. Saiz substrat: Sesuai untuk substrat 4 ", dengan ketebalan substrat antara 0.1 hingga 2mm.
18. Semasa membuat pesanan, tiada keperluan khas, dan rak 5 "X5 adalah standard; anda boleh menyesuaikan rak di bawah 5" X5: