1. Jenis pendedahan: jenis sentuhan, penyelarasan pelita, pendedahan tunggal dua pihak
2. Kawasan pendedahan: 110X110mm;
3. Ketepatan pendedahan: ≥ 97%;
4. Kekuatan pendedahan: 0-30mw/cm2 boleh disesuaikan;
5. Sudut sinaran UV: ≤ 3 °
6. Panjang gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm;
7. Tempoh hidup sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Suhu permukaan kerja: ≤ 30 ℃
9. Menggunakan padang elektron;
10. Resolusi paparan: 1 μ M (kedalaman paparan adalah kira-kira 10 kali lebar garis)
11. Mod paparan: Paparan serentak dua pihak
12. Julat penjajaran: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Ketepatan penjajaran pelatah: 2 μ m
14. Julat putaran: Penyesuaian putaran arah Q ≤ ± 5 °
15. Sistem mikroskop: sistem CCD medan pandang dua kali lipat, kanta objektif 1.6X~10X, sistem pemprosesan imej komputer, pantulan LCD 19 "; Ketinggian keseluruhan 91-570x
16. Saiz topeng: Dapat menyerap topeng segi empat sama saiz 5 "dengan vakum, tiada keperluan khas terhadap ketebalan topeng (berkisar dari 1 hingga 3mm).
17. Saiz substrat: Sesuai untuk substrat saiz 4", dengan ketebalan substrat berkisar antara 0.1 hingga 2mm.
18. Semasa membeli, tiada keperluan khas, dan rak 5" X5 adalah piawaian; anda boleh menyesuaikan rak di bawah 5" X5: