Pemprosesan Termal Cepat Sistem Desktop RTP untuk semikonduktor gandakan SlC LED dan MEMS , China Pemprosesan Termal Cepat Sistem Desktop RTP untuk semikonduktor gandakan SlC LED dan MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Pemprosesan Termal Cepat

Menyediakan peralatan RTP yang dapat dipercaya untuk semikonduktor majmuk、SlC、LED dan MEMS

Aplikasi Industri

* Pertumbuhan oksida, nitrida
* Penyambungan Ohmic cepat
* Pengilangan logam silisida
* Oksidasi refluks
* Proses arsenida galium
* Proses rawatan haba pantas lain

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Kelebihan Produk

1. Julat proses meliputi 200-1250 ℃
2. Sistem pengurusan medan suhu yang cekap
3. Algoritma RTP khas
4. Alat penyesuaian TC Wafer profesional

Ciri

* Pemanasan menggunakan lampu pipa halogen inframerah, pendinginan menggunakan pendinginan udara;
* Pengawalan suhu PlD untuk kuasa lampu, yang boleh mengawal kenaikan suhu dengan tepat, memastikan kebolehulangan yang baik dan ketandusan suhu;
* Penyusupan bahan ditetapkan pada permukaan WAFER untuk mengelakkan titik sejuk terhasil semasa proses annealing dan memastikan ketandusan suhu produk yang baik;
* Kaedah rawatan atmosfera dan vakum kedua-duanya boleh dipilih, dengan pra-kaedah dan pemurnian badan;
* Dua set gas proses adalah piawai dan boleh diperluaskan kepada hingga 6 set gas proses;
* Saiz maksimum sampel silikon kristal tunggal yang boleh diukur adalah 12inci (300x300MM);
* Ketiga-tiga langkah keselamatan iaitu perlindungan pembukaan suhu selamat, kebenaran pembukaan pengawal suhu, dan perlindungan pepejal kecemasan peralatan sepenuhnya dilaksanakan untuk memastikan keselamatan alat;

Kepantasan lengkung 20 darjah

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

20 lengkung untuk kawalan suhu pada 850 ℃

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

Kepantasan 20 lengkung suhu purata

kawalan suhu 1250 ℃

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

Proses kawalan suhu RTP pada 1000 ℃

proses pada 960 ℃, dikawal oleh pirometer inframerah

Data proses LED

RTD Wafer adalah pengesan suhu yang menggunakan teknik pemprosesan khas untuk membenamkan pengesan suhu (RTDs) pada lokasi tertentu di permukaan wafer, membolehkan pengukuran suhu permukaan secara real-time pada wafer.
Pengukuran suhu sebenar pada lokasi tertentu di atas wafer dan taburan suhu keseluruhan wafer boleh diperoleh melalui RTD Wafer; Ia juga boleh digunakan untuk pemantauan berterusan perubahan suhu sementara pada wafer semasa proses rawatan haba.

Pemandangan kilang

Profil Syarikat

16 tahun pengalaman dalam eksport peralatan! Kami boleh memberi anda penyelesaian satu henti untuk Proses dan Peralatan Semikonduktor Front End / Back End!