Sistem etsa ion reaktif (RIE) Mesin industri Semikonduktor, China Sistem etsa ion reaktif (RIE) Mesin industri Semikonduktor Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Bahan gunaan:

Lapisan pempasifan: SiO2, SiNx
Silikon belakang
Lapisan pelekat: TaN
Melalui lubang: W

Ciri-ciri:

1. Goresan lapisan pempasifan dengan atau tanpa lubang;

2. Goresan lapisan pelekat;

3. Goresan silikon belakang

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Pembekal mesin industri Semikonduktor

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Butiran mesin industri Semikonduktor

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Kilang mesin industri Semikonduktor

spesifikasi

Konfigurasi projek dan gambar rajah struktur mesin

Perkara	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Saiz produk	≤6 inci	≤8 inci	≤8 inci
Sumber kuasa RF	0-300W/500W/1000W Boleh laras, padanan automatik
Pam molekul	-/620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai			Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai
Pam garis depan	Pam mekanikal/pam kering			Pam kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkawal/0-1Tekanan terkawal torr
Jenis gas	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Tersuai (Sehingga 9 saluran, tiada gas menghakis & toksik)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels)
Julat gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom
LoadLock	Ya tidak			Ya
Kawalan tem sampel	10°C~suhu bilik/-30°C~100°C/Tersuai			-30°C~100°C /Tersuai
Penyejukan helium belakang	Ya tidak			Ya
Proses lapisan rongga	Ya tidak			Ya
Kawalan tem dinding rongga	No/Bilik~60/120°C			Suhu bilik-60/120°C
Sistem kawalan	Auto/tersuai
Bahan goresan	Berasaskan silikon:Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Bahan magnet/bahan aloi Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au..... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik filem......			Berasaskan silikon: Si/SiO2/SiNx...... III-V(注3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe...... Bahan magnet/bahan aloi Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au...... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/filem organik...

Hasil Proses

Goresan bahan berasaskan silikon

Bahan berasaskan silikon, corak cetakan nano, tatasusunan
corak dan goresan corak kanta

Sistem etsa ion reaktif ( RIE ) Pembuatan mesin industri Semikonduktor

goresan suhu biasa InP

Goresan corak peranti berasaskan InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur pandu gelombang, struktur rabung struktur rongga resonan dan lain-lain

Goresan bahan SiC

Sesuai untuk peranti gelombang mikro, peranti kuasa, dsb

Permancutan fizikal, goresan Goresan bahan organik

Ia digunakan pada goresan bahan yang sukar digores seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan seramik, dan
kegatalan bercorak bahan direalisasikan oleh pengeboman fizikal.

Ia digunakan untuk etsa dan penyingkiran sebatian organik seperti photoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polimer

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh menyediakan penyelesaian profesional peralatan Talian Pakej Bahagian Hadapan dan Bahagian Belakang Semikonduktor Sehenti Sehenti dari China.