Item |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Saiz Produk |
≤6 inci |
≤8 inci |
≤8 inci |
||
Sumber kuasa RF |
0-300W/500W/1000W Tersuaikan, penyuaian automatik |
||||
Pump molekul |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
|||
Pump Foreline |
Pump mekanikal/kering |
Pam Kering |
|||
Tekanan proses |
Tekanan tidak terkawal/0-1Torr tekanan terkawal |
||||
Jenis gas |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Hingga 9 saluran, tiada gas kerosak dan toksik) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Hingga 9 saluran) |
|||
dapur gas |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pesan piawai |
||||
Muatan Kunci |
Ya/Tidak |
ya |
|||
Kawalan suhu sampel |
10°C~Suhu bilik/-30°C~100°C/Pesan piawai |
-30°C~100°C/Pesan piawai |
|||
Penyejukan helium belakang |
Ya/Tidak |
ya |
|||
Pembalut rongga proses |
Ya/Tidak |
ya |
|||
Kawalan suhu dinding rongga |
Tidak/Suhu bilik~60/120°C |
Suhu bilik-60/120°C |
|||
Sistem Kawalan |
Kereta/persuaian |
||||
Bahan pemberesan |
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Bahan magnet/material loya Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au..... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik filem...... |
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx...... III-V (catatan 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (catatan 3): CdTe...... Bahan magnet/material loya Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au...... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/bahan organik film... |
|||
Ia diterapkan kepada pengikisan bahan yang sukar diikis seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan seramik, dan pemolesan bahan berpola dicapai melalui serangan fizikal. |
Ia digunakan untuk pencetakan dan pengalihan sebatian organik seperti photoresist (PR) / PMMA / HDMS / polimer |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
