Sistem Etching Ion Reaktif RIE Mesin RIE Analisis Kegagalan , China Sistem Etching Ion Reaktif RIE Mesin RIE Analisis Kegagalan Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Sistem pengecoran ion reaktif

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

PERMOHONAN

Lapisan pasivasi: SiO2, SiNx
Belakang silikon
Lapisan perekat: TaN
Lubang tembus: W

Ciri

1. Pengecoran lapisan pasivasi dengan atau tanpa lubang;

2. Pengekalan lapisan adhesif;

3. Pengekalan silikon belakang

Spesifikasi

Konfigurasi projek dan gambar struktur mesin

Item	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Saiz Produk	≤6 inci	≤8 inci	≤8 inci
Sumber kuasa RF	0-300W/500W/1000W T Adjustable, penyuai automatik
Pump molekul	-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom			Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Custom
Pump Foreline	Pump mekanikal/kering			Pam Kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkawal/0-1Torr tekanan terkawal
Jenis gas	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Hingga 9 saluran, tiada gas kerosak dan toksik)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Hingga 9 saluran)
dapur gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pesan piawai
Muatan Kunci	Ya/Tidak			ya
Kawalan suhu sampel	10°C~Suhu bilik/-30°C~100°C/Pesan piawai			-30°C~100°C/Pesan piawai
Penyejukan helium belakang	Ya/Tidak			ya
Pembalut rongga proses	Ya/Tidak			ya
Kawalan suhu dinding rongga	Tidak/Suhu bilik~60/120°C			Suhu bilik-60/120°C
Sistem Kawalan	Kereta/persuaian
Bahan pemberesan	Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Bahan magnet/material loya Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Filem organik.			Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx. III-V (nota 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (nota 3): CdTe. Bahan magnet/material loya Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/filem organik.

1. Mengelakkan cip-cip daripada terbang
2. Node minimum yang boleh diproses: 14nm:
3. Kadar pengikisan SiO2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Kekasaran permukaan yang diikis: 5. Menyokong lapisan pasif, lapisan keseimbangan dan pengikisan silikon belakang;
6. Nisbah pilihan bagi Cu/Al: >50
7. Mesin all-in-one LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Menyokong pelaksanaan satu-klik

Keputusan proses

Pengikisan bahan berbasa silikon

Bahan berbasa silikon, pola nano-imprint, larik
pola dan pengikisan pola kanta

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

Pengikisan suhu normal InP

Pengikisan pola bagi peranti berbasa InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur panduan gelombang, struktur rongga resonan.

Pengikisan bahan SiC

Sesuai untuk peranti mikrogelombang, peranti kuasa, dll.

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Penyemburan fizik, pengikisan bahan Organik

Ia diterapkan kepada pengikisan bahan yang sukar diikis seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan seramik, dan
pengikisan pola.

Ia digunakan untuk pencetakan dan pengalihan sebatian organik seperti photoresist (PR) / PMMA / HDMS / polimer

Paparan keputusan analisis kegagalan

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture

Maklumat Produk

Pembungkusan & Penghantaran

mesin pengimpal

Profil Syarikat

Mesin Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) adalah satu keping teknologi terkini yang boleh mencetak dan menganalisis pelbagai jenis bahan dengan ketepatan yang luar biasa. Mesin ini direka untuk digunakan dalam pelbagai industri di mana mikrofabrikasi atau pencetakan diperlukan secara rutin. Ia dibuat daripada bahan berkualiti tinggi yang menjadikannya tahan lama, boleh dipercayai dan mampu menghasilkan keputusan yang cemerlang.

Dilengkapi dengan penjana plasma RF yang berkesan. Sistem RIE menggunakan penyambungan induktif untuk menghasilkan plasma dari minyak pemberi. Teknik ini mencipta plasma padat yang meningkatkan kadar pencetakan yang berkaitan dengan produk. Proses pencetakan mesin RIE adalah berkesan, tepat, dan sangat kawal, membolehkan kedalaman tertentu untuk dicapai. Ciri ini menjadikannya pilihan yang baik untuk penyelidikan atau kerja perindustrian.

Mesin ini mempunyai julat yang luas, termasuk mikroelektronik, pembuatan MEMS, dan pembuatan semiconductor. Mesin ini memainkan peranan penting dalam pengikisan dan mikromekanik bahan semikonduktor seperti silikon, arsenida galium, dan jermanium dalam industri semikonduktor. Peranti RIE Minder-High-tech juga telah ditubuhkan dalam industri MEMS untuk membina bahan lembut dan keras seperti poliimida, oksida silikon, dan nitrida silikon. Selain itu, ia juga tersedia untuk analisis kegagalan dalam industri yang berkaitan dengan perkhidmatan dan produk elektronik.

Pada ciri-ciri yang pelbagai membuatnya mudah untuk digunakan. Ia adalah perisian yang ramah pengguna dan menyediakan penguasaan penuh kepada pengendali atas parameter-parameter penyeteraan yang digunakan dalam peranti. Tetapan mesin disimpan ke dalam memori dalaman ia dan boleh menyimpan lebih daripada 100 set tetapan. Ia mempunyai skrin sentuh yang membenarkan pengendali menetapkan parameter seperti aliran gas, ketumpatan kuasa, dan tekanan. Mesin Minder-High-tech RIE juga mempunyai ciri kawalan suhu yang memastikan bahawa bahan-bahan disenaraikan pada suhu yang betul dan mengelakkan kerosakan terhadap mereka.

Sempurna untuk syarikat-syarikat yang memerlukan kebolehpercayaan dan mesin yang cekap boleh memberikan keputusan yang tepat dan presisi. Peranti ini direka dengan teknologi terbaik dan tahap yang tinggi. Keberagamannya dan ciri-ciri ramah pengguna menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk aplikasi penyelidikan dan perindustrian di sektor-sektor yang berbeza.

Ia juga mempunyai sistem analisis kegagalan yang cekap yang membolehkan mesin untuk mengesan dan mengoreksi sebarang isu mekanikal secepat mungkin. Sistem ini memastikan bahawa mesin RIE mengekalkan kualiti tinggi dan kebolehpercayaan sepanjang kitaran hidupnya. Bagi mana-mana industri yang memerlukan pengecaman atau mikrofabrikasi yang tepat dan cekap, mesin RIE Minder-High-tech adalah penyelesaian yang sempurna.

laman utama

Mengenai Kami

MH Equipment

Penyelesaian

Pengguna Luar Negara

video

Hubungi kami