Perkara | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Saiz produk | ≤6 inci | ≤8 inci | ≤8 inci | ||
Sumber kuasa RF | 0-300W/500W/1000W Boleh laras, padanan automatik | ||||
Pam molekul | -/620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai | Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai | |||
Pam garis depan | Pam mekanikal/pam kering | Pam kering | |||
Tekanan proses | Tekanan tidak terkawal/0-1Tekanan terkawal torr | ||||
Jenis gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Tersuai (Sehingga 9 saluran, tiada gas menghakis & toksik) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Julat gas | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Ya tidak | Ya | |||
Kawalan tem sampel | 10°C~suhu bilik/-30°C~100°C/Tersuai | -30°C~100°C /Tersuai | |||
Penyejukan helium belakang | Ya tidak | Ya | |||
Proses lapisan rongga | Ya tidak | Ya | |||
Kawalan tem dinding rongga | No/Bilik~60/120°C | Suhu bilik-60/120°C | |||
Sistem kawalan | Auto/tersuai | ||||
Bahan goresan | Berasaskan silikon:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Bahan magnet/bahan aloi Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Filem organik. | Berasaskan silikon: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Bahan magnet/bahan aloi Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au. Bahan organik: PR/PMMA/HDMS /filem organik. |
Sesuai untuk peranti gelombang mikro, peranti kuasa, dsb.
Mesin Goresan Ion Reaktif (RIE) Minder-berteknologi Tinggi ialah teknologi terkini yang boleh menggores dan menganalisis pelbagai jenis bahan dengan ketepatan yang luar biasa. Mesin ini direka untuk digunakan dalam pelbagai industri di mana fabrikasi mikro atau etsa diperlukan dengan kerap. Ia diperbuat daripada bahan berkualiti tinggi yang menjadikannya tahan lama, boleh dipercayai dan mampu menghasilkan hasil yang cemerlang.
Dilengkapi dengan penjana plasma RF berkesan. Sistem RIE menggunakan gandingan adalah induktif untuk menghasilkan plasma daripada petrol suapan. Teknik ini mencipta plasma berketumpatan tinggi yang meningkatkan kadar goresan yang dikaitkan dengan produk. Proses goresan mesin RIE adalah berkesan, tepat dan sangat terkawal, membolehkan kedalaman khusus untuk dicapai. Ciri ini unik, ia merupakan pilihan yang bagus untuk penyelidikan atau kerja industri.
Mesin mempunyai julat yang luas, termasuk mikroelektronik, fabrikasi MEMS, dan fabrikasi semikonduktor. Mesin ini memainkan peranan penting dalam etsa dan pemesinan mikro bahan semikonduktor seperti silikon, galium arsenida, dan germanium dalam industri semikonduktor. Peranti RIE Minder-berteknologi tinggi juga telah ditubuhkan dalam industri MEMS untuk fabrikasi bahan lembut dan keras seperti polimida, silikon dioksida dan silikon nitrida. Selain itu, ia boleh diakses untuk analisis kegagalan dalam industri yang berkaitan dengan perkhidmatan dan produk yang bersifat elektronik.
Termasuk ciri yang pelbagai menjadikannya mudah untuk digunakan. Ia adalah perisian yang mesra pengguna membekalkan pengendali kawalan sepenuhnya ke atas parameter etsa yang digunakan dalam peranti. Tetapan mesin disimpan ke ingatannya adalah dalaman ia boleh menyimpan lebih 100 set tetapan. Sentuhan mempunyai skrin yang membolehkan operator menetapkan parameter seperti pergerakan gas, ketebalan kuasa dan tekanan. Mesin RIE Minder-berteknologi tinggi juga mempunyai ciri kawalan suhu yang memastikan bahan-bahan terukir pada suhu yang betul dan menghentikan kerosakan padanya.
Sesuai untuk syarikat yang memerlukan mesin yang boleh dipercayai dan cekap boleh memberikan hasil yang tepat dan tepat. Peranti ini telah direka bentuk dengan teknologi terkemuka dan tahap yang banyak. Ciri serba boleh dan mesra pengguna menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk aplikasi penyelidikan dan industri merentas sektor yang berbeza.
Ia juga mempunyai sistem analisis kegagalan yang cekap yang membolehkan mesin mengesan dan membetulkan sebarang isu mekanikal secepat mungkin. Sistem ini memastikan mesin RIE mengekalkan kualiti dan kebolehpercayaan yang tinggi sepanjang kitaran hayatnya. Untuk mana-mana industri yang memerlukan etsa atau fabrikasi mikro yang tepat dan cekap, mesin RIE Minder-berteknologi tinggi adalah penyelesaian yang sempurna.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Hak Cipta Terpelihara