Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Laman Utama
Tentang Kami
Peralatan MH
Penyelesaian
Pengguna Luar Negara
video
Hubungi Kami
Laman Utama> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE
  • Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE

Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE Analisis Kegagalan RIE Malaysia

Penerangan Produk 
Sistem etsa ion reaktif
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Pembekal analisis kegagalan
Kesesuaian
Lapisan pempasifan: SiO2, SiNx
Silikon belakang
Lapisan pelekat: TaN
Melalui lubang: W
Ciri
1. Goresan lapisan pempasifan dengan atau tanpa lubang;  
2. Goresan lapisan pelekat;  
3. Goresan silikon belakang
spesifikasi
Konfigurasi projek dan gambar rajah struktur mesin
Perkara
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Saiz produk
≤6 inci
≤8 inci
≤8 inci


Sumber kuasa RF
0-300W/500W/1000W Boleh laras, padanan automatik


Pam molekul
-/620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai

Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Tersuai

Pam garis depan
Pam mekanikal/pam kering

Pam kering

Tekanan proses
Tekanan tidak terkawal/0-1Tekanan terkawal torr


Jenis gas
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Tersuai
(Sehingga 9 saluran, tiada gas menghakis & toksik) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Julat gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Ya tidak

Ya

Kawalan tem sampel
10°C~suhu bilik/-30°C~100°C/Tersuai

-30°C~100°C /Tersuai

Penyejukan helium belakang
Ya tidak

Ya

Proses lapisan rongga
Ya tidak

Ya

Kawalan tem dinding rongga
No/Bilik~60/120°C

Suhu bilik-60/120°C

Sistem kawalan
Auto/tersuai


Bahan goresan
Berasaskan silikon:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Bahan magnet/bahan aloi
Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au. 
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Filem organik. 

Berasaskan silikon: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Bahan magnet/bahan aloi
Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au. 
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS /filem organik. 

1. Elakkan cip daripada terbang
2. Nod minimum yang boleh diproses: 14nm:
3. Kadar goresan SiO2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Kekasaran permukaan terukir:5. Menyokong lapisan pempasifan, lapisan lekatan dan goresan silikon belakang;
6. Nisbah pemilihan Cu/Al:>50
7. Mesin semua-dalam-satu LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Menyokong pelaksanaan satu klik
Hasil proses

Goresan bahan berasaskan silikon

Bahan berasaskan silikon, corak cetakan nano, tatasusunan
corak dan goresan corak kanta
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kilang analisis Kegagalan

goresan suhu biasa InP

Goresan corak peranti berasaskan InP yang digunakan dalam komunikasi optik, termasuk struktur pandu gelombang, struktur rongga resonan.
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Pembekal analisis kegagalan

Goresan bahan SiC

Sesuai untuk peranti gelombang mikro, peranti kuasa, dsb.


Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Perincian analisis kegagalan

Percikan fizikal, goresan Bahan organik

Ia digunakan pada goresan bahan yang sukar digores seperti beberapa logam (seperti Ni / Cr) dan seramik, dan
kegatalan bercorak.
Ia digunakan untuk etsa dan penyingkiran sebatian organik seperti photoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polimer
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kilang analisis Kegagalan
Paparan keputusan analisis kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kegagalan pembuatan analisis
Product details 
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Perincian analisis kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kegagalan pembuatan analisis
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Pembekal analisis kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kilang analisis Kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kegagalan pembuatan analisis
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kilang analisis Kegagalan
Pembungkusan & Penghantaran 
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Kilang analisis Kegagalan
Sistem etsa ion reaktif Mesin RIE RIE Perincian analisis kegagalan
mesin pematerian
Profil Syarikat

Mesin Goresan Ion Reaktif (RIE) Minder-berteknologi Tinggi ialah teknologi terkini yang boleh menggores dan menganalisis pelbagai jenis bahan dengan ketepatan yang luar biasa. Mesin ini direka untuk digunakan dalam pelbagai industri di mana fabrikasi mikro atau etsa diperlukan dengan kerap. Ia diperbuat daripada bahan berkualiti tinggi yang menjadikannya tahan lama, boleh dipercayai dan mampu menghasilkan hasil yang cemerlang. 

 

Dilengkapi dengan penjana plasma RF berkesan. Sistem RIE menggunakan gandingan adalah induktif untuk menghasilkan plasma daripada petrol suapan. Teknik ini mencipta plasma berketumpatan tinggi yang meningkatkan kadar goresan yang dikaitkan dengan produk. Proses goresan mesin RIE adalah berkesan, tepat dan sangat terkawal, membolehkan kedalaman khusus untuk dicapai. Ciri ini unik, ia merupakan pilihan yang bagus untuk penyelidikan atau kerja industri. 

 

Mesin mempunyai julat yang luas, termasuk mikroelektronik, fabrikasi MEMS, dan fabrikasi semikonduktor. Mesin ini memainkan peranan penting dalam etsa dan pemesinan mikro bahan semikonduktor seperti silikon, galium arsenida, dan germanium dalam industri semikonduktor. Peranti RIE Minder-berteknologi tinggi juga telah ditubuhkan dalam industri MEMS untuk fabrikasi bahan lembut dan keras seperti polimida, silikon dioksida dan silikon nitrida. Selain itu, ia boleh diakses untuk analisis kegagalan dalam industri yang berkaitan dengan perkhidmatan dan produk yang bersifat elektronik. 

 

Termasuk ciri yang pelbagai menjadikannya mudah untuk digunakan. Ia adalah perisian yang mesra pengguna membekalkan pengendali kawalan sepenuhnya ke atas parameter etsa yang digunakan dalam peranti. Tetapan mesin disimpan ke ingatannya adalah dalaman ia boleh menyimpan lebih 100 set tetapan. Sentuhan mempunyai skrin yang membolehkan operator menetapkan parameter seperti pergerakan gas, ketebalan kuasa dan tekanan. Mesin RIE Minder-berteknologi tinggi juga mempunyai ciri kawalan suhu yang memastikan bahan-bahan terukir pada suhu yang betul dan menghentikan kerosakan padanya. 

 

Sesuai untuk syarikat yang memerlukan mesin yang boleh dipercayai dan cekap boleh memberikan hasil yang tepat dan tepat. Peranti ini telah direka bentuk dengan teknologi terkemuka dan tahap yang banyak. Ciri serba boleh dan mesra pengguna menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk aplikasi penyelidikan dan industri merentas sektor yang berbeza. 

 

Ia juga mempunyai sistem analisis kegagalan yang cekap yang membolehkan mesin mengesan dan membetulkan sebarang isu mekanikal secepat mungkin. Sistem ini memastikan mesin RIE mengekalkan kualiti dan kebolehpercayaan yang tinggi sepanjang kitaran hayatnya. Untuk mana-mana industri yang memerlukan etsa atau fabrikasi mikro yang tepat dan cekap, mesin RIE Minder-berteknologi tinggi adalah penyelesaian yang sempurna.


Pertanyaan

Pertanyaan E-mel WhatsApp WeChat
Top
×

Berhubung