Pemprosesan Termal Cepat
Peralatan RTP untuk semikonduktor majmuk、SlC、LED dan MEMS
* Pertumbuhan oksida, nitrida
* Penyambungan Ohmic cepat
* Pengilangan logam silisida
* Oksidasi refluks
* Proses arsenida galium
* Proses rawatan haba pantas lain
Penuh automatik dua kamar RTP
* Selari dengan WAFER 6-8inci
* Suhu maksimum boleh mencapai 1250°c
* Pembaikan suhu stabil
* Reka bentuk penuh automatik dua kamar untuk meningkatkan kapasiti pengeluaran
* Ketepatan medan suhu ultra-tinggi
* Memenuhi keperluan proses pengeluaran besar SlC
Separuh automatik RTP
* Pemanasan menggunakan lampu pipa halogen inframerah, pendinginan menggunakan pendinginan udara;
* Pengawalan suhu PlD untuk kuasa lampu, yang boleh mengawal kenaikan suhu dengan tepat, memastikan kebolehulangan yang baik dan ketandusan suhu;
* Penyusupan bahan ditetapkan pada permukaan WAFER untuk mengelakkan titik sejuk terhasil semasa proses annealing dan memastikan ketandusan suhu produk yang baik;
* Kaedah rawatan atmosfera dan vakum kedua-duanya boleh dipilih, dengan pra-kaedah dan pemurnian badan;
* Dua set gas proses adalah piawai dan boleh diperluaskan kepada hingga 6 set gas proses;
* Saiz maksimum sampel silikon kristal tunggal yang boleh diukur adalah 12inci (300x300MM);
* Ketiga-tiga langkah keselamatan iaitu perlindungan pembukaan suhu selamat, kebenaran pembukaan pengawal suhu, dan perlindungan pepejal kecemasan peralatan sepenuhnya dilaksanakan untuk memastikan keselamatan alat;
Meja RTP
* Pemanasan menggunakan lampu pipa halogen inframerah, pendinginan menggunakan pendinginan udara;
* Pengawalan suhu PlD untuk kuasa lampu, yang boleh mengawal kenaikan suhu dengan tepat, memastikan kebolehulangan yang baik dan ketandusan suhu;
* Penyusupan bahan ditetapkan pada permukaan WAFER untuk mengelakkan titik sejuk terhasil semasa proses annealing dan memastikan ketandusan suhu produk yang baik;
* Kaedah rawatan atmosfera dan vakum kedua-duanya boleh dipilih, dengan pra-kaedah dan pemurnian badan;
* Dua set gas proses adalah piawai dan boleh diperluaskan kepada hingga 6 set gas proses;
* Saiz maksimum sampel silikon kristal tunggal yang boleh diukur adalah 12inci (300x300MM);
* Ketiga-tiga langkah keselamatan iaitu perlindungan pembukaan suhu selamat, kebenaran pembukaan pengawal suhu, dan perlindungan pepejal kecemasan peralatan sepenuhnya dilaksanakan untuk memastikan keselamatan alat;
Pembungkusan & Penghantaran
Kami mempunyai pengalaman 16 tahun dalam penjualan peralatan, dan boleh memberi anda penyelesaian Garis Pakej IC satu henti!
Adakah anda mencari peralatan RTP yang boleh dipercayai untuk prosedur pengeluaran semikonduktor bahan gubahan SlC LED MEMS anda? Tidak perlu mencari lagi selain daripada Minder-Hightech.
Menunjukkan keupayaan luar biasa untuk pemprosesan pantas termal, menjadikannya sempurna untuk membuat komponen semikonduktor kelas pertama, peranti SlC MEMS, dan LED. Dengan teknologi Minder-Hightech pada jangkauan anda, anda boleh mencapai kepekatan suhu yang tepat, pemanasan yang seragam, dan kepekatan masalah yang rendah dalam produk atau perkhidmatan anda.
Mempunyai antara muka pengguna yang mudah digunakan, menjadikannya senang untuk pengendali pada semua tahap kemahiran guna dan navigasikan. Keupayaan automatik terperinci membolehkan anda membaiki proses pengeluaran anda, mengurangkan keperluan untuk perlindungan dan fungsi manual, menyimpan anda wang dan masa.
Kepentingan itu dipahami melalui pasukan peralatan kami yang boleh dipercayai. Itulah sebabnya peranti RTP kami dibangunkan bersama dengan elemen-elemen kualiti terbaik dan dirancang untuk tahan penggunaan yang luas tanpa kehilangan prestasi atau ciri-ciri. Pasukan kami juga menawarkan bantuan dan perkhidmatan pemeliharaan rutin untuk memastikan keawetan peralatan anda.
Sama ada anda terlibat dalam bidang pembuatan semiconductor ganda, pengeluaran LED, atau pembangunan sistem MEMS, peralatan RTP Minder-Hightech menawarkan kecekapan dan ketepatan yang tiada duanya. Oleh itu, mengapa buang masa? Kemas kini proses pengeluaran anda kepada tahap seterusnya dengan membeli peralatan RTP Minder-Hightech hari ini.
Jika anda memerlukan peralatan RTP berkualiti tinggi untuk meningkatkan kecekapan dan keberkesanan prosedur pengeluaran semikonduktor SlC LED MEMS, bergantung kepada Minder-Hightech. Inovasi maju kami, peralatan yang boleh dipercayai, dan sokongan pelanggan cemerlang menjadikan kami penyelesaian terbaik untuk perniagaan di seluruh dunia.
Jangan buang masa lagi untuk membawa proses pengeluaran anda ke tahap seterusnya.
Belian peralatan RTP dari Minder-Hightech sekarang.