RTP Pengendalian Terma Cepat separuh automatik untuk wafer semikonduktor SlC LED MEMS , China RTP Pengendalian Terma Cepat separuh automatik untuk wafer semikonduktor SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Pemprosesan Termal Cepat

Menyediakan peralatan RTP yang dapat dipercaya untuk semikonduktor majmuk、SlC、LED dan MEMS

Ciri

* Pemanasan menggunakan lampu pipa halogen inframerah, pendinginan menggunakan pendinginan udara;
* Pengawalan suhu PlD untuk kuasa lampu, yang boleh mengawal kenaikan suhu dengan tepat, memastikan kebolehulangan yang baik dan ketandusan suhu;
* Penyusupan bahan ditetapkan pada permukaan WAFER untuk mengelakkan titik sejuk terhasil semasa proses annealing dan memastikan ketandusan suhu produk yang baik;
* Kaedah rawatan atmosfera dan vakum kedua-duanya boleh dipilih, dengan pra-kaedah dan pemurnian badan;
* Dua set gas proses adalah piawai dan boleh diperluaskan kepada hingga 6 set gas proses;
* Saiz maksimum sampel silikon kristal tunggal yang boleh diukur adalah 12inci (300x300MM);
* Ketiga-tiga langkah keselamatan iaitu perlindungan pembukaan suhu selamat, kebenaran pembukaan pengawal suhu, dan perlindungan pepejal kecemasan peralatan sepenuhnya dilaksanakan untuk memastikan keselamatan alat;

Laporan ujian

Kepantasan lengkung 20 darjah

20 lengkung untuk kawalan suhu pada 850 ℃

Kepantasan 20 lengkung suhu purata

Kawalan suhu 1250 ℃

Proses kawalan suhu RTP pada 1000 ℃

Proses pada 960 ℃, dikawal oleh pirometer inframerah

Data proses LED

RTD Wafer adalah pengesan suhu yang menggunakan teknik pemprosesan khas untuk membenamkan pengesan suhu (RTDs) pada lokasi tertentu di permukaan wafer, membolehkan pengukuran suhu permukaan secara real-time pada wafer.

Pengukuran suhu sebenar pada lokasi tertentu di atas wafer dan taburan suhu keseluruhan wafer boleh diperoleh melalui RTD Wafer; Ia juga boleh digunakan untuk pemantauan berterusan perubahan suhu sementara pada wafer semasa proses rawatan haba.

Spesifikasi

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan kelengkapan. Kami boleh memberi anda penyelesaian satu henti untuk Kelengkapan Garis Pakej Frontend dan Backend Semiconductor dari China!