Peralatan industri semikonduktor MDLB-MC200 Pembersih Photomask , China Peralatan industri semikonduktor Pembersih Photomask MDLB-MC200 Pengeluar, Pembekal, Kilang

MDLB-MC200

Pembersih topeng foto

Unit pembersihan:

Ruang pembersihan diproses dengan bahan tahan kakisan, yang mempunyai permukaan licin dan mudah dibersihkan. Terdapat pelabuhan pelepasan sisa di bahagian bawah rongga dalam, yang menggunakan graviti untuk membolehkan cecair sisa dibuang ke saluran paip pembuangan sisa kilang. Terdapat port sedutan di dalam rongga, yang boleh mengekstrak atmosfera dari rongga tepat pada masanya. Dilengkapi dengan 3 lengan hayun automatik, ia boleh mencapai pembersihan automatik.

Jadual parameter konfigurasi:

Tiada.	Projek	spesifikasi	Ucapan
1	Gambaran Keseluruhan Peralatan	Nama Peranti: Pembersih Photomask
		Model peralatan: MDLB-MC200
		Dimensi keseluruhan (kira-kira): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)
		Berat keseluruhan mesin (anggaran): 300KG
		Ketinggian meja kendalian: 900 ± 50mm
		Spesifikasi saiz substrat: sesuai untuk plat topeng persegi 2/4/5/6/8 inci
		Aliran proses: penempatan wafer manual → pembersihan (berus, larutan pembersih → air tekanan tinggi → air megasonik → air ternyahion → pengeringan gas nitrogen) → penyingkiran wafer manual
		Jenis peralatan: separa automatik, pemuatan dan pemunggahan manual
2	Pembinaan peralatan	Cangkang: keluli tahan karat, licin, tahan kakisan, mudah dibersihkan
		Ruang pembersihan: PP, licin, tahan kakisan, mudah dibersihkan
		Talian paip: Talian paip pemadanan PU/PFA digunakan
		Pencahayaan kerja: lampu kuning anti-karat
		Gaya pembukaan pintu: Pintu berganda dengan fungsi penggera pembukaan pintu
		Skrin sentuh: Skrin sentuh penuh warna 10 inci * 1
		FFU: Kelas 100
		Sokongan bawah kalis bocor: tersedia
3	Motor servo berketepatan tinggi	Kuantiti: 1
		Kelajuan: -3000~3000rpm	Beban kosong
		Pecutan maksimum putaran gelendong: 3000rpm/S	Beban kosong
		Ketepatan kelajuan: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Resolusi kelajuan: 1rpm
4	Lengan hayun automatik	Kuantiti: 3
4	Lengan hayun automatik	Kelajuan lengan hayun: 1~30 °/S
5	unit Cleaning	Membersihkan lengan ayun: 1 saluran air ternyahion, 1 saluran gas nitrogen Lengan Megasonik: 1 Megasonik, 1 Air Tekanan Tinggi Lengan berus: 1 berus, 1 air, 1 larutan pembersih
		Kaedah pembersihan: pembersihan automatik
		Fungsi sedutan air ternyahion: tersedia
		Basuh belakang (air ternyahion): 1 laluan
		Kaedah bekalan: Penyelesaian pembersihan: Pam diafragma Air ternyahiion: dibekalkan terus oleh kilang
		Tangki tekanan dengan pengesanan paras cecair
6	Berus berus	Kuantiti: 1 (dengan fungsi pembersihan diri)
		Kelajuan: sehingga 1000rpm, kelajuan boleh laras
		Ketinggian boleh laras secara manual
7	Muatkan dulang	Kuantiti: 5
		Bahan: PPS + keluli tahan karat
		Saiz: Sesuai untuk plat topeng persegi 2/4/5/6/8 inci
		Kaedah penetapan substrat: Kaedah penetapan cakar
8	Sistem kawalan	Sistem kawalan: menggunakan kawalan PLC
		Program: 100 kumpulan, setiap kumpulan terdiri daripada 100 langkah, dengan masa satu langkah maksimum 3000.0 saat Resolusi: 0.1S
		Program ini boleh disimpan, dipanggil, diubah suai, dan dipadamkan
		Tetapkan kebenaran penyulitan: masing-masing untuk pengendali peranti, juruteknik, pentadbir dan pengeluar
		Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna