Peranti Industri Semiconductor MDLB-MC200 Pembersih Photomask

No.

Projek

Spesifikasi

Komen

1

Gambaran Peralatan

Nama Peranti: Pembersih Photomask

Model peralatan: MDLB-MC200

Ukuran keseluruhan (kira-kira): 1300mm (L) * 1000mm (D) * 1950mm (T)

Berat mesin keseluruhan (kira-kira): 300KG

Ketinggian meja operasi: 900 ± 50mm

Spesifikasi saiz substrat: sesuai untuk pelat mask segi empat saiz 2/4/5/6/8 inci

Aliran proses: penempatan wafer manual → pembersihan (burush, larutan pembersih → air tekanan tinggi → air megasonik → air terion → pengeringan gas nitrogen) → pengeluaran wafer manual

Jenis kelengkapan: semi-automatik, pemuatan dan pembongkaran manual

2

Konstruksi kelengkapan

Kotak: keluli Stainless, licin, tahan kerosakan, mudah dibersihkan

Bilik pembersihan: PP, licin, tahan kerosakan, mudah dibersihkan

Paip: paip PU/PFA digunakan

Penyinaran kerja: penyinaran lampu kuning anti-kerosakan

Gaya pembukaan pintu: Pintu ganda dengan fungsi alaram pembukaan pintu

Skrin sentuh: skrin sentuh penuh warna 10 inci * 1

FFU: Kelas 100

Penyangga bawah tahan kebocoran: tersedia

3

Motor servo ketepatan tinggi

Kuantiti: 1

Kelajuan: -3000~3000rpm

Tiada beban

Pecutan maksimum putaran poros: 3000rpm/S

Tiada beban

Ketepatan kelajuan: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Resolusi kelajuan: 1rpm

4

Lengan ayunan automatik

Kuantiti: 3

Kelajuan lengan ayunan: 1~30 °/S

5

Unit pembersihan

Lengan pembersihan: 1 saluran air deionized, 1 saluran gas nitrogen

Lengan Megasonik: 1 Megasonik, 1 Air Tekanan Tinggi

Lengan penyapu: 1 penyapu, 1 air, 1 penyelesa pembersihan

Kaedah pembersihan: pembersihan automatik

Fungsi hisapan air deionized: tersedia

Bilas balik (air deionized): 1 laluan

Kaedah pembekalan: Penyelesa pembersihan: Pom membran

Air deionized: dibekalkan terus oleh kilang

Tangki tekanan dengan pengesan paras cecair

6

Sapu penyapu

Kuantiti: 1 (dengan fungsi pembersihan diri)

Kelajuan: hingga 1000rpm, kelajuan boleh disesuaikan

Ketinggian boleh disesuaikan secara manual

7

Baki muatan

Kuantiti: 5

Bahan: PPS+kuningan tak berkarat

Saiz: Sesuai untuk pelat topeng segi empat saiz 2/4/5/6/8 inci

Kaedah tetap substrat: Kaedah penjepitan cakar

8

Sistem Kawalan

Sistem kawalan: menggunakan kawalan PLC

Program: 100 kumpulan, setiap kumpulan terdiri daripada 100 langkah, dengan masa langkah tunggal maksimum 3000.0 saat

Resolusi: 0.1S

Program boleh disimpan, dipanggil, diubah suai, dan dipadam

Tetapkan keizinan enkripsi: untuk pengendali peranti, jurutera, pentadbir, dan pembuat masing-masing

Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna