Industri semikonduktor ICP makmal jenis mesin pengalihan PR Pengalihan Photoresist , China Industri semikonduktor ICP makmal jenis mesin pengalihan PR Pengalihan Photoresist Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

ICP jenis pejabat PR pengalihan Pengalihan Photoresist mesin

Membasuh
Pembuangan polimer
DESCUM
Pembuangan kering lapisan hard mask
Pengalihan photoresistance selepas pelbagai ion implantation
Pembuangan rintangan optik di antara media
Pembuangan photoresistance dalam proses BAW/SAW
Pembersihan kering lapisan filem grafik anti pantulan Y
Pengecam oksida silikon atau nitrida silikon
Pembuangan sisa permukaan
Pembersihan permukaan selepas pengecam
Pengecam silikon karbida

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Proses

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Kelebihan:

Keuntungan utama

Kadar pelarutan tinggi: Plasma ketumpatan tinggi, kadar pelarutan cepat
Ketahanan: Selepas rawatan plasma, keluaran boleh dikesan semula dengan tinggi
Plasma jauh: Plasma jauh, kerosakan ion rendah kepada wafer
Perisian ciri: penyelidikan dan pembangunan perisian secara bebas, animasi proses yang intuitif, data dan rekod terperinci
Kebajikan: Plasma boleh mengawal tekanan dan suhu melalui kicap rupa mentega
Faktor keselamatan: Plasma rendah mengurangkan kerosakan kepada pelepasan produk.
Perkhidmatan pasca-jualan: Tanggapan pantas dan inventori mencukupi
Kawalan debu: Memenuhi keperluan pelanggan.
Teknologi inti: Dengan hampir 40% ahli pasukan R&D

Platform Cassette (MD-ST 6100/620)

1. 4 Penyimpan Wafer
2. Kepatutan tinggi: fleksibilitas pemilihan saiz wafer membawa kecekapan kos dan penyelesaian yang tinggi
3. Bilik pemindahan vakum stabil tinggi:
Reka bentuk transmisi vakum yang matang dan stabil telah diterapkan dengan baik di pasaran selama bertahun-tahun dan dikenali dengan baik oleh pelanggan.
Reka bentuk roda putar, ruang padat, mengurangkan secara signifikan risiko PARTICAL
4. Antaramuka pengendalian perisian yang berorientasikan manusia:
Antaramuka pengendalian perisian yang intuitif dan berorientasikan manusia, memantau status operasi mesin secara real-time;
Fungsi amaran dan bukti bodoh sepenuhnya untuk mengelakkan salah operasi.
Fungsi eksport data yang kuat, rekod parameter proses pelbagai jenis, dan eksport rekod pengeluaran produk.

Robot

1. Reka bentuk satu kali pilih dan letak dua wafer membawa produktiviti yang tinggi
2. Membaiki kecekapan ruang.

Plat pemanasan

1. Kawalan suhu tepi wafer dengan kejituan tinggi
Papan pemanas wafer dari suhu bilik hingga 250°C, ketepatan kawalan suhu ±1°C
Papan pemanas wafer telah dikalibrasi oleh alat profesional, dan seragam dalam julat ±3°C, memastikan seragamnya proses pengeluaran lem
2. Pengendalian dua wafer dalam satu kamar
Reka bentuk dua wafer dalam satu kamar;
Reka bentuk pelepasan kuasa yang bersendirian untuk setiap wafer, memastikan kesan pengeluaran PR bulat bagi setiap wafer;
Dengan mengekalkan premis kecekapan UPH, mengurangkan kos produk. Serbongkar kompatibiliti
3. Kapasiti pengeluaran: reka bentuk ruang tindak balas dua keping, kecekapan pengeluaran tinggi.

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Spesifikasi

Sumber plasma			RF+BIAS
Kuasa	1000W	1000W
Kuasa		600W	600W
Bidang Kepantasan			4-8 inci
Bilangan irisan pemprosesan tunggal			satu
Dimensi penampilan			1140mm x 1050mm x 1620mm
Kawalan sistem			Sistem kawalan perindustrian
Tahap Automasi			Manual

Kemampuan Perkakasan
Masa operasi / Masa tersedia	≧95%
Masa purata untuk membersihkan (MTTC)	≦6 jam
Masa purata untuk membaiki (MTTR)	≦4 jam
Masa purata di antara kegagalan (MTBF)	≧350 jam
Masa purata di antara bantuan (MTBA)	≧24 jam
Wafer purata di antara rosak (MWBB)	≦1 dalam 10,000 keping wafer
Kawalan pelat pemanas	50-250°

Laporan ujian

Pemandangan kilang

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan kelengkapan. Kami boleh memberi anda penyelesaian satu henti untuk Kelengkapan Garis Pakej Frontend dan Backend Semiconductor dari China!