Industri semikonduktor ICP PLASMA PR pengalihan mesin Pengalihan Sisa Photoresist , China Industri semikonduktor ICP PLASMA PR pengalihan mesin Pengalihan Sisa Photoresist Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

ICP PLASMA Pengelesan Photoresist

membasuh
Pembuangan polimer
Pembuangan kering lapisan hard mask
Pembuangan photoresist selepas pelaksanaan ion
Pembuangan photoresistance dalam proses BAW/SAW
Pembersihan kering lapisan filem grafik penolak pantulan
Pembuangan sisa permukaan
Pembersihan permukaan selepas pengecam
DESCUM

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Proses

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Kelebihan:

Keuntungan utama

Kadar pelarutan tinggi: Plasma ketumpatan tinggi, kadar pelarutan cepat
Ketahanan: Selepas rawatan plasma, keluaran boleh dikesan semula dengan tinggi
Plasma jauh: Plasma jauh, kerosakan ion rendah kepada wafer
Perisian ciri: penyelidikan dan pembangunan perisian secara bebas, animasi proses yang intuitif, data dan rekod terperinci
Kebajikan: Plasma boleh mengawal tekanan dan suhu melalui kicap rupa mentega
Faktor keselamatan: Plasma rendah mengurangkan kerosakan kepada pelepasan produk.
Perkhidmatan pasca-jualan: Tanggapan pantas dan inventori mencukupi
Kawalan debu: Memenuhi keperluan pelanggan.
Teknologi inti: Dengan hampir 40% ahli pasukan R&D

Platform Cassette (MD-ST 6100/620)

1. 4 Penyimpan Wafer
2. Kepatutan tinggi: fleksibilitas pemilihan saiz wafer membawa kecekapan kos dan penyelesaian yang tinggi
3. Bilik pemindahan vakum stabil tinggi:
Reka bentuk transmisi vakum yang matang dan stabil telah diterapkan dengan baik di pasaran selama bertahun-tahun dan dikenali dengan baik oleh pelanggan.
Reka bentuk roda putar, ruang padat, mengurangkan secara signifikan risiko PARTICAL
4. Antaramuka pengendalian perisian yang berorientasikan manusia:
Antaramuka pengendalian perisian yang intuitif dan berorientasikan manusia, memantau status operasi mesin secara real-time;
Fungsi amaran dan bukti bodoh sepenuhnya untuk mengelakkan salah operasi.
Fungsi eksport data yang kuat, rekod parameter proses pelbagai jenis, dan eksport rekod pengeluaran produk.

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Robot

1. Reka bentuk satu kali pilih dan letak dua wafer membawa produktiviti yang tinggi
2. Membaiki kecekapan ruang.

Plat pemanasan

1. Kawalan suhu tepi wafer dengan kejituan tinggi
Papan pemanas wafer dari suhu bilik hingga 250°C, ketepatan kawalan suhu ±1°C
Papan pemanas wafer telah dikalibrasi oleh alat profesional, dan seragam dalam julat ±3°C, memastikan seragamnya proses pengeluaran lem
2. Pengendalian dua wafer dalam satu kamar
Reka bentuk dua wafer dalam satu kamar;
Reka bentuk pelepasan kuasa yang bersendirian untuk setiap wafer, memastikan kesan pengeluaran PR bulat bagi setiap wafer;
Dengan mengekalkan premis kecekapan UPH, mengurangkan kos produk. Serbongkar kompatibiliti
3. Kapasiti pengeluaran: reka bentuk ruang tindak balas dua keping, kecekapan pengeluaran tinggi.

Spesifikasi

Plasma			rF	rF
Kuasa	ICP	1000W	1000W
Kuasa		BIAS	600w(pilihan)	600w(pilihan)
Bidang Kepantasan			4~8 inci	4~8 inci
Bilangan irisan pemprosesan tunggal			1	2
Dimensi penampilan			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
kawalan sistem			Sistem kawalan perindustrian	Sistem kawalan perindustrian
Tahap Automasi			Automatik	Automatik

Kemampuan Perkakasan
Masa operasi / Masa tersedia	≧95%
Masa purata untuk membersihkan (MTTC)	≦6 jam
Masa purata untuk membaiki (MTTR)	≦4 jam
Masa purata di antara kegagalan (MTBF)	≧350 jam
Masa purata di antara bantuan (MTBA)	≧24 jam
Wafer purata di antara rosak (MWBB)	≦1 dalam 10,000 keping wafer
Kawalan pelat pemanas	50-250°

Laporan ujian

Pemandangan kilang

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan kelengkapan. Kami boleh memberi anda penyelesaian satu henti untuk Kelengkapan Garis Pakej Frontend dan Backend Semiconductor dari China!