Mesin pembersihan plasma gelombang mikro vakum Plasma Rawatan Permukaan Semikonduktor Penyelesaian pembungkusan IC TO pakej, China Mesin pembersihan plasma gelombang mikro vakum Plasma Rawatan Permukaan Semikonduktor Penyelesaian pembungkusan IC TO pakej Pengeluar, Pembekal, Kilang

Penerangan Produk

Penyelesaian Pembungkusan Semikonduktor Pembersih Plasma Gelombang Mikro

SPV-100MWR ialah sistem pembersihan plasma gelombang mikro voltan rendah untuk semikonduktor. Dengan menggunakan gelombang mikro dengan frekuensi 2.45GHz ke tingkap pada dinding rongga vakum, sejumlah besar Plasma berterusan dihasilkan, dan cip dibersihkan dengan memasuki rongga.

Mesin pembersih plasma gelombang mikro vakum Plasma Permukaan Rawatan Semikonduktor Penyelesaian pembungkusan IC KEPADA pembekal pakej

Parameter teknikal

Hos plasma vakum
Saiz peralatan	1230X1800X1100mm (lebar x tinggi x kedalaman)
Berat	450kg
permintaan kuasa	AC380V, 50/60Hz, 5-wayar, 30A
Spesifikasi penjana plasma
Bekalan kuasa gelombang mikro	Kuasa	0 ~ 1250W
		Kekerapan	2.45GHz
Sistem vakum
Material	Aloi aluminium (ruang keluli tahan karat yang boleh disesuaikan)
Ketebalan	25mm
Dimensi dalaman rongga	480mmX470mmX480mm
Ruang kerja	6 bahagian majalah
ECR	Majalah Slotted menyediakan kesan pemprosesan yang dipertingkatkan ECR
Keupayaan plasma
Keupayaan memproses	Padang 35um Bonggol 40μm Saiz Mati Maksimum 15X15mm