Parameter teknikal | Mod pengukuran | PSI/VSI/medan kedalaman super/medan terang |
Medan pandangan ukuran tunggal (20× kanta objektif) | 500*350μm (jahitan automatik) | |
Penyesuaian sudut | ±12° manual | |
Pelarasan paksi Z | 20mm elektrik + 50mm manual (mekanisme pelarasan kasar dan halus) | |
Julat imbasan membujur | 0-10mm | |
Resolusi membujur | <0.2nm | |
Kebolehulangan ukuran kekasaran membujur | 0.01nm (mod PSI) | |
ralat petunjuk ketinggian langkah pengukuran | <0.75% (mod VSI) | |
Peleraian sisi: @550nm | 0.69μm (20× kanta objektif) | |
Reflektif sampel boleh diukur | 0.1% -100% | |
Masa pengukuran | <5s (mod PSI) | |
Fungsi analisis | Fungsi analisis | Pengukuran ketinggian 3D, analisis kekasaran 3D, ukuran dimensi 2D |
Output data 3D | Data awan titik 3D, data imej skala kelabu, laporan tersuai |
Pembesaran objektif | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Bukaan berangka | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Resolusi optik @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Kedalaman fokus (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Jarak kerja (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Hak Cipta Terpelihara