Parameter teknikal |
Mod pengukuran |
PSI/VSI/jarak fokus super dalam/medan cerah |
Medan pandang pengukuran tunggal (kanta objektif 20×) |
500*350μm (penyambungan automatik) |
|
Penyesuaian sudut |
±12° manual |
|
Penyesuaian paksi-Z |
20mm elektrik + 50mm manual (mekanisme penyesuaian kasar dan halus) |
|
Julat pemindaan longitudinal |
0-10mm |
|
Resolusi longitudinal |
<0.2nm |
|
Ketepatan ulangan pengukuran kekasaran longitudinal |
0.01nm (mod PSI) |
|
kesalahan indikasi ketinggian langkah uKURAN |
<0.75% (mod VSI) |
|
Resolusi lateral: @550nm |
0.69μm (kanta objektif 20×) |
|
Reflektiviti sampel yang boleh diukur |
0.1%-100% |
|
Masa pengukuran |
<5s (mod PSI) |
|
Fungsi analisis |
Fungsi analisis |
pengukuran ketinggian 3D, analisis kekasaran 3D, pengukuran dimensi 2D |
output data 3D |
data awan titik 3D, data imej skala kelabu, laporan tersuai |
Pembesaran objektif |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Bukaan Berangka |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Resolusi optik @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Kedalaman fokus (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Jarak kerja (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved