Minder-Hightech is een fabrikant van halvegeleiders. Halvegeleiders zijn cruciale onderdelen van veel van wat het moderne leven mogelijk maakt, zoals mobiele telefoons en computers. Nu zijn er een paar stappen in de productie van halvegeleiders, maar de eerste stap is om een patroon op een vlak oppervlak te maken dat bekend staat als een wafer.

Om dit patroon aan te brengen, leggen we een speciaal materiaal op de wafer. Dit materiaal wordt fotorezyst genoemd. Nadat we de fotorezyst hebben aangebracht, blootstellen we hem aan licht. Onder het licht hardt een gebied van de fotorezyst uit en wordt het stevig. De gebieden in de schaduw blijven zacht en kunnen worden weggeveegd.

Nadat we het gewenste patroon op de wafer hebben verkregen, moet de fotorezyst worden verwijderd van de gebieden waar we verder zullen verwerken. Hier komt Plasma Cleaner letterlijk in actie.

Plasma-gebaseerde methoden voor het verwijderen van fotorezyst

Plasma is een toestand van gas met een hoog energieniveau, door een hoge elektrische lading toe te passen. En dit geactiveerde gas is zeer nuttig voor het verwijderen van de fotoresist op het oppervlak van de wafer. Door plasma kan de fotoresist broos worden en wordt het veel gemakkelijker om hem te reinigen.

We hebben twee verschillende technieken die gebruikmaken van plasma voor het verwijderen van fotoresist: droge etching en ashing.

De droge etching: In deze techniek komt het echte plasma in contact met de fotoresist. Het plasma reageert met de fotoresist waar ze contact maken. Deze reactie decomponeert de fotoresist en zet hem om in een gas. Deze gaseuze stof kan daarna worden weggehaald van het oppervlak van de wafer, waardoor de gebieden die we schoon willen blootkomen en beschikbaar zijn voor verdere behandeling.

Ashing — Dit is een andere manier om het te doen, in deze methode wordt niet-reactief plasma voor de photoresist gebruikt. Het plasma breekt de photoresist in kleine stukjes uiteen. Daarna kunnen deze kleine stukjes van de schijf worden gewassen. Deze aanpak is geschikt en beschermt de schijf terwijl onnodige photoresist wordt verwijderd.

Het gebruik van reactief plasma voor photoresist-stripping

Plasma Oppervlaktebehandeling is een zeer krachtig hulpmiddel dat ons helpt de taaiste photoresist van de schijf te verwijderen. Plasma is al op zichzelf buitengewoon, maar het beste deel is dat we het kunnen omzetten in een super selectief middel. Dat betekent dat het kan worden afgestemd om alleen specifiek te reageren met de photoresist, niet met de andere materialen eronder.

Bijvoorbeeld: Als we een patroon op de wafer hebben waar metaal onder de fotoresist zit, kunnen we een soort plasma gebruiken die alleen reageert met de fotoresist. Zo kunnen we de fotoresist wegraken zonder het onderliggende metaal te beschadigen. Dit is zeer cruciaal omdat alle delen van de wafer hun integriteit moeten behouden tijdens het proces.

De Plasma Techniek voor het Verwijderen van Fotoresist

Minder-Hightech gebruikt moderne plasma-technologie om het fotoresist van onze wafers te verwijderen. Dit laat ons foutloze semiconductoren fabriceren, die hoge kwaliteit hebben.

Snel, aanpasbaar aan uw behoeften Onze systemen zijn ontworpen om naadloos in uw werkstroom te integreren. Dit betekent dat we in staat zijn om het fotoresist snel te verwijderen. En omdat we snel zijn, voldoen we aan de volledige vraag van onze klanten, leverende uitstekende producten wanneer ze ze nodig hebben.

Maar onze plasma systemen zijn ook zeer nauwkeurig, naast hun efficiëntie. Wat deze precisie ons biedt is de mogelijkheid om uitsluitend de photoresist zelf te verwijderen. Onze technologie voorkomt dat alle andere delen van de schijf beschadigd raken door ons proces, en dat kunnen we ons niet permitteren. Deze systematische aanpak wordt des te essentiëler voor de kwaliteit van de halvegeleiders die we produceren.

Plasma-geïnduceerde Photoresist Verwijdering op Halvegeleiders

Dus, kortom, plasma is een superkracht die ons in staat stelt om een deel van de photoresist van het oppervlak van de wafer op een zeer efficiënte manier te verwijderen. Wij bij Minder-Hightech gebruiken de nieuwste en beste plasma technologie om precies nul-defectieve kwaliteit semiconductoren te produceren. Wanneer het gaat om plasmasystemen, worden onze oplossingen gemaakt om snelheid met nauwkeurigheid in evenwicht te brengen, terwijl ze nog steeds erg efficiënt zijn. Dit betekent dat we in staat zijn om aan de eisen van onze klanten te voldoen en kwaliteitsproducten zonder falen te leveren. Dat verbetert het proces van semiconductoren zoals wij gebruiken. plasma verwijdering technologie die onze semiconductoren zo goed mogelijk maakt voor allerlei elektronische apparaten om betrouwbare gadgets te zijn.