1.MDAM-CMPA200 is een ideaal slijp- en poliertsysteem voor grote volumeslijpen en polijsten van verschillende materiaalwafers (SiC, Saffier, GaN, AlN...) componenten, zoals filtermaterialen, wedge-materialen, LCD-panelen, etc.
2.Vier motorrijwen en vier extra-grote poliervoeten laten tot 48 2" wafers tegelijkertijd polijsten. Daardoor is de MP-serie machine ideaal geschikt voor gebruik in een volbelaste productomgeving.
3.Het automatische bedieningspaneel van de machine gebruikt een draagbaar touchscreenbediening, en procesparameters kunnen vrij worden ingevoerd en gewijzigd.
4.Automatische bediening en intelligente lading/inladingssystemen kunnen snel wafers polijsten naar epitaxiale voorbereidingsoverkappingen. Dit systeem is bijzonder nuttig voor de bewerking van harde substraatmaterialen, en het kan ook wafers tot 8" ø verwerken.
De 5.MDAM-CMPA200 precisie slijp- en polijstmachine omvat een host, een afstandsbedieningssysteem, een houder, een vacuümsysteem, een vullingsysteem, slijp- en polijsschijven, enz.
De 6.MDAM-CMPA200 precisie slijp- en polijstmachine heeft een host en alle onderdelen die gemaakt zijn van hoog corrosiebestendige materialen, waardoor de hele machine corrosiebestendig is en geschikt voor chemisch-mechanisch slijpen en polijsten van verschillende halveconductormaterialen.
Via een zelfstandig afstandsbedieningssysteem kan ook sprake zijn van gezamenlijke bediening van meerdere machines. Via een controleterminal kunnen meerdere slijp- en polijstmachines worden bestuurd, wat het veranderen van procesparameters tijdens het proces vereenvoudigt. Het biedt ook de mogelijkheid tot nauwkeurige numerieke controle van meerdere processen tegelijkertijd, wat de werk-efficiëntie en procesnauwkeurigheid aanzienlijk verbetert.
8.Het automatische vulsysteem kan de druppelsnelheid aanpassen volgens verschillende procesvereisten, en zet automatisch uit wanneer het abrasieve materiaal op is, om schade aan het monster te voorkomen wanneer er geen abrasief meer is.
9.Het bedieningssysteem van de apparatuur heeft een tijdfunctie. Nadat de vooraf ingestelde tijd is bereikt, schakelt het systeem automatisch uit.