Wafelgrootte
|
4”~ 8” schijf
|
Schijfdikte
|
100~750 micron
|
Schijftype
|
Si, SiC, GaN of andere materialen
|
Film type
|
Blauwe film, UV-film
Breedte: 230 ~ 300 mm Lengte: 100 m Dikte: 0,05 ~ 0,2 mm |
Wafel dragende ring
|
6”, 8” DISCO
|
In- en uitlaadmethode
|
Handmatige plaatsing en verwijdering van wafel/dragende ring
|
Filmpositieernauwkeurigheid
|
±0,5mm
Standaard 6” en 8” waferplaten voor 6” en 8” wafers |
Vacuümpomp
|
Minder-Hightech
|
Antistatische controle
|
Deionisatieventilator
|
besturingseenheid
|
Gebaseerd op PLC-besturing, met 10” touchscreen
|
Veiligheidsbescherming
|
Ugerust met lichtgordelbescherming en noodstopknop
|
Voedingsspanning
|
Enkelvoudige AC 220V, 16A
|
Samengeperste Lucht
|
0,45~0,6MPa, debiet 70L/min
|
Machinekast
|
Wit plastic gespoten metaalkast
|
Volume
|
850mm (breedte)*1750mm (diepte)*1970mm (hoogte)
|
Netto gewicht
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved