Plasma
|
RF
|
RF
|
||
Vermogen
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
Toepassingsgebied
|
4~8寸
|
4~8寸
|
||
Enkelvoudige verwerkingssliceaantal
|
1
|
2
|
||
Uiterlijk
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
Systeemcontrole
|
Industrieel Besturingssysteem
|
Industrieel Besturingssysteem
|
||
Automatiseringsniveau
|
automatisch
|
automatisch
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved