Automatische enkelvoudige plaat wafer chemische mechanische polijstmachine CMP, China Automatische enkelvoudige plaat wafer chemische mechanische polijstmachine CMP Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

Productomschrijving

ATOM Enkele Platen CMP

Functies van de machine

Het apparaat is flexibel en kan meerdere hoofden ondersteunen.
De verwerkingscapaciteit van de apparatuur ligt dicht bij die van gangbare modellen van producten van dezelfde grootte.
Goede consistentie van het proces tussen apparaten.

Application Fields

4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV polijsten en oppervlaktepolijsten van verbindingen zoals SiC, LT, LN, GaAs, etc.

Technische parameters

4-inch, 6-inch, 8-inch koppen, multizoneregeling
Type van Φ20 inch 508MM Platen
Nauwkeurigheid van de kopdrukregeling <0.05 PSI
Nauwkeurigheid van de rotatiesnelheid van de kop en de plaat: <2RPM

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-53

1. LoadPort-eenheid

De poort kan worden omgedraaid om de Cassette in de Qtank onder te dompelen, waardoor de vorming van slurrykristallen op de
gepolijst oppervlak van Wafer. Uitgerust met Cassette Mapping-functie.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-54

2. Ophaaleenheid voor robotmateriaal

Uitgerust met een 4-assige robot kan het apparaat automatisch wafers van de cassette naar de polijsteenheid overbrengen.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-55

3. Polijsteenheid

Deze unit is uitgerust met Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 en EPD-eindpunt
detectie. Het kan automatisch wafer laden en lossen, multizone kopcontrole, slurry
Wijziging van landingspunt met receptinstellingen, eindpuntdetectie en andere functies.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-56

CMP Polijstkop

De polijstkoppen die op dit apparaat zijn geconfigureerd, zijn allemaal onafhankelijk door ons bedrijf ontwikkeld, ontworpen en geproduceerd.
Onder hen is de 4-inch 3-cavity Head een uniek product dat door ons bedrijf is gemaakt en dat de kloof van geen multi cavity 4-inch Head in China opvult. Ons bedrijf kan de Head snel aanpassen of personaliseren op basis van de kenmerken van het product van de klant. Bij de ontwikkeling van TGV dunne film (200um) producten werd de interne structuur van de Head aangepast om te voldoen aan de vereisten van dunne film polijsten. Tijdens het ontwikkelingsproces van LN oppervlakte OX polijsttechnologie heeft ons bedrijf de 6-inch Head grondig geüpgraded en met succes voldaan aan de productvereisten van de klant.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-57

Toepassingen

Traditioneel IC-planarisatiepolijstproces;

TGV/TSV-proces;

Smart Cut en Pre-bonding CMP；

SIC-substraatpolijsten/galliumarsenidepolijsten.

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-58

Specificaties

Haven	Hoeveelheid * 1, met Q-tank
Robot	Hoeveelheid * 1, voor waferoverdracht
HCLU	Hoeveelheid * 1, voor automatisch laden en lossen van wafers
Polijstkop	Hoeveelheid * 13 holteregeling, regelnauwkeurigheid van 0.1 PSI, ondersteunt 400-1200 UM waferbewerkingen.
Polijstkop snelheid	5-150RPM
Polijstschijf	Hoeveelheid * 1 Polijstschijf Formaat 508mm, Polijstpad Snelheid 10-150rpm.
Trimarm	Hoeveelheid * 1 polijstpad. De polijstpad kan online (gelijktijdig) of offline (na het polijsten) worden gepolijst. De trim arm is uitgerust met een trimas, die kan roteren en op en neer kan bewegen, en de snelheid en neerwaartse kracht kunnen worden geregeld. De Het trimgereedschap wordt op de trimas gemonteerd en kan snel worden verwijderd. Afhankelijk van de verschillende soorten polijstpads worden verschillende soorten africhtgereedschappen geconfigureerd, waaronder africhtgereedschappen borstels, diamanten ringen en diamant schijven.
UPA polijstkop luchtdrukregeleenheid	Hoeveelheid * 13Zone instelbaar voor beter oppervlakteplanarisatie-effect
Polijstvloeistof toevoerpomp	Hoeveelheid * 2. Slangenpompen worden gebruikt voor vloeistoftoevoer, waarbij 2 slangenpompen zijn geconfigureerd om verschillende polijstresultaten te leveren vloeistoffen naar de polijstschijf. Elke pomp kan in elke stap van het proces worden gebruikt.
Slibarm	Hoeveelheid * 1 kan het landingspunt van de slurry regelen en de polijstpad reinigen.
Het bedieningscontrolesysteem kan controle op gebruikersniveau bereiken, zoals operatormodus, onderhoudsmodus en technische modus, en var ious-modi worden aangestuurd door wachtwoorden. De systeemsoftware kan de procesparameters van elke processtap bewerken en afvlakken en polijst de dunne film op het chipoppervlak volgens het programma. Het kan de operationele status van apparatuur bewaken, bewaken procesparameters in realtime, en de software kan automatisch verschillende procesgegevens opslaan. Uitgerust met een noodstop Knop waarmee de werking van de apparatuur onmiddellijk kan worden stopgezet en de stroomtoevoer kan worden afgesloten.

Verpakking en levering

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-59

product automatic single platen wafer chemical mechanical polisher cmp-60

Bedrijfsprofiel

FAQ

1. Over de prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs varieert afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassing van uw apparaat.

2. Over het voorbeeld:
Wij kunnen voor u monsterproductie verzorgen, maar hiervoor brengen wij mogelijk wel kosten in rekening.

3. Over betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een aanbetaling doen en de fabriek zal beginnen met het voorbereiden van de goederen. Nadat de
Als de apparatuur klaar is en u het resterende bedrag betaalt, verzenden wij het.

4. Over levering:
Nadat de productie van de apparatuur is afgerond, sturen wij u de acceptatievideo. U kunt ook ter plaatse langskomen om de apparatuur te inspecteren.

5. Installatie en debuggen:
Nadat de apparatuur bij uw fabriek is aangekomen, kunnen we technici sturen om de apparatuur te installeren en te debuggen. We zullen u een aparte offerte voor deze servicekosten verstrekken.

6. Over garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Als er na de garantieperiode onderdelen beschadigd zijn en vervangen moeten worden, brengen wij alleen de kostprijs in rekening.