Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Vraag een offerte aan

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Startpagina
Over ons
MH Equipment
Oplossing
Overzeese gebruikers
Video
Contacteer ons
Home> Wafer Grinder
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP
  • Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP

Automatische Single Platen Schijf Chemische Mechanische Polishing Planarisatie CMP

Vraag een gratis offerte aan
Productomschrijving
ATOM Single Platen CMP

Kenmerken van de machine

Het apparaat is flexibel en kan meerdere koppen ondersteunen.
De procescapaciteit van de uitrusting komt dicht bij het hoofdmodel niveau van producten van dezelfde grootte.
Goede consistentie van inter-apparaat proces.

Toepassingsvelden

4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV polijsten en oppervlaktepolijsten van verbindingen zoals SiC, LT, LN, GaAs, etc

Technische parameters

4-inch, 6-inch, 8-inch koppen, multi-zone controle
Type van Φ20 inch 508MM Plaat
Kopdrukcontrole nauwkeurigheid <0.05PSI
Rotatiesnelheidscontrole nauwkeurigheid van Kop en Plaat <2RPM

1. LoadPort Eenheid

Poort kan worden omgedraaid om de Cassette in de Qtank te dompelen, waardoor het vormen van Slurry kristallen op de
gepolijste oppervlakte van de Wafer wordt voorkomen. Ugerust met Cassette Mapping functie.

2. Robotmateriaalophaleenheid

Ugerust met een 4-as robot, die automatisch wafers van de Cassette naar de polijseenheden kan overbrengen.

3. Poets Eenheid

Deze eenheid is uitgerust met Platen * 1, Hoofd * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, en EPD eindpunt
detectie. Het kan automatische schijf laden en lossen, multi zone hoofd controle, Slurry
landingspunt verandering met Receptinstellingen, eindpunt detectie en andere functies realiseren.
CMP Poets Hoofd
De Poets Hoofden die op dit apparaat zijn geïnstalleerd, zijn allemaal onafhankelijk ontwikkeld, ontworpen en geproduceerd door onze bedrijf.
Daaronder valt het 4-inch 3-caviteit Hoofd, een uniek product dat is gemaakt door ons bedrijf, wat de leemte vult van geen multi caviteit 4-inch Hoofd in China. Ons bedrijf kan snel aanpassingen of maatwerk leveren volgens de kenmerken van het klantproduct. Tijdens de ontwikkeling van TGV dunne film (200um) producten, werd de interne structuur van het Hoofd aangepast om de vereisten voor dunne film poetsen te voldoen. Tijdens het ontwikkelingsproces van LN oppervlakte OX poets technologie, hebben we het 6-inch Hoofd diepgaand geüpgraded en succesvol de productvereisten van de klant voldaan.
Toepassingen
Traditionele IC planarisatiepolistiek proces;
TGV/TSV proces;
Smart Cut en Pre bonding CMP;
SIC-substraat polistiek/galiumarsenide polistiek.
Specificatie
Haven
Aantal * 1, met Q-tank
Robot
Aantal * 1, voor waferoverdracht
HCLU
Aantal * 1, voor automatisch laden en onladen van wafers
Polistiekhoofd
Aantal * 13 holtecontrole, controle nauwkeurigheid van 0.1PSI, kan 400-1200 UM waferbewerkingen ondersteunen.
Snelheid polerkop
5-150RPM
Polijstschijf
Hoeveelheid * 1 Polerschijf Grootte 508mm, Snelheid Polerpads 10-150rpm.
Bijkomstige arm
Hoeveelheid * 1 polerpads. Het polerpads kan online (gelijktijdig) of offline (na poleren) gepolijst worden. De bijkomstige
arm is uitgerust met een bijwerk-as, die kan draaien en omhoog/omlaag bewegen, en de snelheid en druk kunnen geregeld worden. De
bijwerktuigen zijn gemonteerd op de bijwerk-as en kunnen snel
verwijderd worden. Volgens de verschillende soorten polerschijven zijn er verschillende soorten bijwerktuigen geconfigureerd, inclusief bijwerkborstels, diamantringen en diamantschijven.
bijwerkborstels, diamantringen, en diamantschijven.
UPA polerkop luchtdrukbesturingseenheid
Hoeveelheid * 13. Aanpasbaar voor een betere vlakkeringseffect op de oppervlakte
Slijmmediumvoorzieningspomp
Hoeveelheid * 2. Peristaltische pompen worden gebruikt voor vloeistofvoorziening, met 2 peristaltische pompen geconfigureerd om verschillende slijmmedia naar het slijfplaatje te brengen. Elke pomp kan in elke stap van het proces worden gebruikt.
vloeistoffen naar het slijfplaatje. Elk pompje kan in elke stap van het proces worden gebruikt.
Suspensiearm
Hoeveelheid * 1 kan het landingpunt van de suspensie controleren en kan het slijmvilt schoonmaken.
Het bedieningscontrolesysteem kan gebruikersniveau controle bereiken, zoals operatormodus, onderhoudsmodus en technische modus, en var
ieuze modi worden door wachtwoorden beheerd. Het systeemsoftware kan de procesparameters van elke processtap bewerken en de dunne laag op het chipoppervlak volgens het programma vlak maken en
slijpen. Het kan de werkstatus van apparatuur monitoren, procesparameters in realtime monitoren, en het software kan automatisch verschillende procesgegevens opslaan. Uitrustingen met een noodstop
process parameters in realtime, en het software kan automatisch verschillende procesgegevens opslaan. Uitrustingen met een noodstop
knop, gebruikt om de werking van apparatuur onmiddellijk te stoppen en de controlestroom af te snijden.
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:
Als het plan is bevestigd, moet u eerst een voorschot betalen en de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het
apparaat klaar is en u het restbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

Meer producten

Navraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privacybeleid

Navraag Email WhatsApp WeChat
Top
×

Neem contact op