1. Door een 355 nm UV-laser aan te nemen, een product met onafhankelijke intellectuele eigendomsrechten en een Amerikaans uitvindingsoctrooi, heeft het stabiele prestaties, een goede spotmodus en kan het lange tijd stabiel werken.
2. CCD-configuratie op en neer, geschikt voor transparante en semi-transparante waferpositionering.
3. De laserstraal focust op een fijne plek, met een maximum van 4 μm en een diepte van ≥ 25 μ
4. Betrouwbare en uiterst nauwkeurige XY - θ 5. Efficiënt en flexibel softwarebesturingssysteem, intuïtieve interface en eenvoudig
operatie.