Model |
MDTS-WT2200 |
Aantal dunnermakas |
2 |
Aantal werkbanken |
3, Indexmethode |
Schuursteenas |
Aantal luchtspindels: 2 Spindelmotor: 7,5kW frequentieremotor Snelheid: 0~6000rpm, stapeloos aanpasbaar Slijpsteenspecificatie: Φ203mm Slijptype: diamantslijpsteen |
Slijpsteen voedingsysteem |
Aantal: 2 sets Voedingsysteem controle methode: LM glijrail en balvijzel combinatie Aandrijfmotor: servomotor Minimale voedsnelheid: 0,1um/sec Maximale voedsnelheid: 50mm/sec |
Werkbank |
Hoeveelheid: 3, Indexmodus Spindelmotor: Servomotor Snelheid: 0~300rpm, staploos regelbaar Adsorptiemethode: Vacuüm adsorptie |
Werkbank draaitafel |
Aandrijfmodus: servomotor Draaiingsbereik: 0~240° Positioneringsvorm: sensorgesteunde positionering |
Automatische dikte Meetstelsel |
Methode van meten: IPG contact online real-time meting Aantal meetkoppen: 2 Meetensor: 0,1um niveau sensor |
Automatisch laden\/ ontladen systeem |
Doos type: 6-8 inch Cassette, 25 lagen Methode voor automatisch laden\ontladen: wafer manipulator wordt gebruikt om te zorgen dat dunne wafers zonder schade worden vervoerd Waferdikte: 150um-1000um |
Schoonmaakfunctie van werkbank |
Schoonmaakmethode: olsteenpolijsten & DI-water + lucht tweestroomspoeling |
Automatische schoonmaak/ Drogsysteem |
Schoonmaken: DIW-slang schoonmaak Droogmethode: Blazen + drogen Snelheid: maximaal 1000rpm stapeloos verstelbaar |
Statische Eliminatiesysteem |
Ionenbalk of Orion waaier |
Spindelkoeler |
Temperatuur: 18-22°C Debiet: 4~8L/min |
Besturingssysteem |
Besturingssysteem: PC-besturingssysteem, touchscreen met 3-kleurenalarmlicht Chinees/Engels mens-machineinterface |
Maximale plaatdikte |
Maximaal compatibel met 8 inch |
Versnellingsbereik |
0~6000 RPM |
Z-as verplaatsing |
160mm |
Z-as voedsnelheid |
0.1~100um/sec |
Snelheids retractie op Z-as |
50mm/sec |
Oplossingsvermogen van de Z-as |
0,1um |
Online diktemeting bereik |
0~1800um |
Online dikte meetresolutie |
0,1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved