Model |
MDTS-WT2200 |
Aantal uitdunningsassen |
2 |
Aantal werkbanken |
3, Indexmethode |
Slijpschijf spindel |
Aantal luchtspindels: 2 Spindelmotor: 7.5 kW variabele frequentiemotor Snelheid: 0~6000rpm, traploos instelbaar Specificatie slijpschijf: Φ203mm Type slijpschijf: diamant slijpschijf |
Voedingssysteem voor slijpschijven |
Hoeveelheid: 2 sets Methode voor de regeling van het toevoersysteem: LM-geleiderail en kogelomloopspindel combinatie van Aandrijfmotor: servomotor Minimale invoersnelheid: 0.1 um/sec Maximale invoersnelheid: 50 mm/sec |
Werkbank |
Hoeveelheid: 3, Indexmodus Spindelmotor: Servomotor Snelheid: 0~300rpm, traploos instelbaar Adsorptiemethode: vacuümadsorptie |
Werkbank draaitafel |
Aandrijfmodus: servomotor Rotatiebereik: 0~240° Positioneringsvorm: sensorondersteunde positionering |
Automatische dikte meet Systeem |
Meetmethode: IPG contact online real-time meting Aantal meetkoppen: 2 Meetsensor: 0.1um niveausensor |
Automatisch laden/ lossysteem |
Doostype: 6-8inch cassette, 25 lagen Automatische laad-/losmethode: wafermanipulator wordt gebruikt om ervoor te zorgen dat dunne wafers zonder schade worden getransporteerd Waferdikte: 150um-1000um |
Werkbankreinigingsfunctie |
Reinigingsmethode: Oliepolijsten & DI water+lucht twee-vloeistoffen spoelen |
Automatische reiniging/ droogsysteem |
Reiniging: DIW-sproeierreiniging Droogmethode: Blazen + drogen Snelheid: max1000rpm traploos instelbaar |
Statisch eliminatiesysteem |
Ionenbalk orion ventilator |
Spindelkoeler |
Temperatuur: 18-22 ° C Stroomsnelheid: 4~8L/min |
Controle systeem |
Besturingssysteem: PC-besturingssysteem, touchscreen 3-kleurenalarmlicht Chinese/Engelse mens-machine-interface |
Maximale wafergrootte |
Maximaal compatibel met 8 inch |
Snelheidsbereik |
0 ~ 6000 RPM |
Z-as reizen |
160mm |
Z-as voedingssnelheid |
0.1~100um/sec |
Z-as snelle intreksnelheid |
50mm / sec |
Z-as resolutie Z |
0.1um |
Online diktemeetbereik |
0 ~ 1800um |
Online diktemeting resolutie |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle rechten voorbehouden