Inductief gekoppelde plasma-etch systeem ( ICP ) Semiconductuurequipment , China Inductief gekoppelde plasma-etch systeem ( ICP ) Semiconductuurequipment Manufacturers, Suppliers, Factory

Productomschrijving

Inductief gekoppelde plasma-etchen (icp) systeem

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Procesresultaat

Kwarts / silicium / raster etchen

Gebruik makend van BR masker om kwarts of siliciummaterialen te etchen, heeft het rasterpatroon de dunste lijn tot 300nm en de steilheid van de patroonwand is dichtbij > 89° , wat kan worden toegepast op 3D-weergave, micro-optische apparaten, optoelectronica communicatie, etc

Samengesteld / halbleider etchen

Nauwkeurige controle van de temperatuur van het monsters oppervlak kan de etch-morfologie van GaN-gebaseerde, GaAs, InP en metalen materialen goed beheersen. Het is geschikt voor blauwe LED-apparaten, lasers, optische communicatie en andere toepassingen.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Etching van siliciumgebaseerde materialen

het is geschikt voor het etchen van silicon-gebaseerde materialen zoals Si, SiO2 en SiNx. Het kan silicon-lijnetchen boven 50nm en diep silicon-gatETCHEN onder 100um realiseren

Specificatie

Projectconfiguratie en machineschets

Artikel	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Productgrootte	≤6 inch	≤8 inch	≤6 inch	≤8 inch	Aangepast≥12inch
SRF Voeding	0~1000W/2000W/3000W/5000W Aanpasbaar, automatisch matchen\,13.56MHz/27MHz
BRF Voeding	0~300W/0~500W/0~1000WAanpasbaar, automatisch matchen,2MHz/13.56MHz
Moleculaire pomp	Niet corrosief : 600/1300 (L/s) /Aangepast			Corrosiebestendig:600/1300 (L./s)/Aangepast		600/1300(L/s) /Aangepast
Foreline pomp	Mechanische pomp / droge pomp			Anticorrosie droge pomp		Mechanische pomp / droge pomp
Voorpomp	Mechanische pomp / droge pomp			Mechanische pomp / droge pomp
Procesdruk	Ongecontroleerde druk / 0-0.1 / 1 / 10Torr gecontroleerde druk
Gas type	H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / NH3 / C2F6 / Aangepast (Tot maximaal 12 kanalen, geen corrosieve & giftige gassen)			H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / NH3 / C2F6 / Cl2 / BCl3 / HBr / Aangepast (Tot maximaal 12 kanalen)
gasbereik	0~5sccm / 50sccm / 100sccm / 200sccm / 300sccm / 500sccm / 1000sccm / Aangepast
LoadLock	Ja\/Nee			Ja
Voorbeeld temperatuur controle	10°C~Kamertemperatuur/ -30°C~150°C /Aangepast			-30°C~200°C/Aangepast
Rug helium koeling	Ja\/Nee			Ja
Proces holte bekleding	Ja\/Nee			Ja
Holte wand temperatuur controle	Nee/Kamertemperatuur-60/120°C			Kamertemperatuur~60/120°C
Besturingssysteem	Automatisch/aangepast
Graveermateriaal	Siliconbasis: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Organische materialen: PR/Organisch film......			Siliconbasis: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetisch materiaal / legeringmateriaal Metaalmaterialen: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organische materialen: PR/Organische film...... Diepe silicium-etchen

Verpakking & Levering

Bedrijfsprofiel

We hebben 16 jaar ervaring in apparaatverkoop. We kunnen u een professionele oplossing bieden voor een volledige Semiconductor Front-end en Back-end Pakketlijn vanuit China.

homepage

Over ons

MH Equipment

Oplossing

Overzeese gebruikers

video

Contacteer ons

Inductief gekoppelde plasma-etch systeem ( ICP ) Semiconductuurequipment

Kwarts / silicium / raster etchen

Samengesteld / halbleider etchen

Etching van siliciumgebaseerde materialen

Meer producten

MD-FS Serie Condensator Wondenmachine

MD-FDS Serie Automatische Condensator winding machine

MD-EFS serie Condensator Winding Machine

MD-EDFS Serie Film Condensator Winding Machine

Navraag

Articles

Products

Get In Touch

Inductief gekoppelde plasma-etch systeem ( ICP ) Semiconductuurequipment

Kwarts / silicium / raster etchen

Samengesteld / halbleider etchen

Etching van siliciumgebaseerde materialen

Meer producten

Navraag

Articles

Products

Get In Touch

Neem contact op