MCXJ-MLS8 Maskless lithografiesysteem, Chinese MCXJ-MLS8 Maskless lithografiesysteemfabrikanten, leveranciers, fabriek

Productomschrijving

Monster:

MCXJ-MLS8 Maskerloos lithografiesysteem fabricage

Structuurschema van de apparatuur

Leverancier van MCXJ-MLS8 Maskless lithografiesysteem

Specificaties

Blootstelling gastheerstructuurdiagram

structuur	illustreren
Het aanrecht blootleggen	Blootstellingsgebied: aanrecht, substraatplaatsingsgebied
Optisch systeem	Vormgebied met laseremissie
Milieuzorgsysteem	Controleer de interne temperatuur en positieve druk van het apparaat
Platformsysteem	Regelt de beweging van de belichtingstafel om de werking van het belichtingspad te voltooien
Controle systeem	Besturingssysteem van de gehele apparatuur

Opmerking: Omdat de upgrade van de machine het werkelijke uiterlijk kan veranderen, is het specifieke onderwerp van het daadwerkelijke product.

Nr.	Milieu	Vereisen
1	Lichtbronomgeving	Geel licht
2	Temperatuur zone(s)	22 ℃ ± 2 ℃
3	Vochtigheid	50% ± 10%
4	Zindelijkheid	1000
5	CDA	0.6 ± 0.1 MPa, 200 LPM, droge, schone lucht
6	Stroomvoorziening	220 ~ 240 V, 50/60 Hz, 2.5 kW; de aardedraad moet geaard zijn.
7	koelwater	Temp.: 10℃ ~ 20℃ Druk: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Stroomsnelheid: 20L/min Drukverschil: 0.3 MPa Kaliber overnemen: Rc3/8
8	Venue	niveau: ±3 mm/3000 mm schudden: VC-B-lager: 750 kg/㎡
10	Internet	Eén netwerkpoort
11	size machine	1300 * 1100 * 2100mm
12	Gewicht van het apparaat	1500 kg

Nr.	Project	Spec.	Opmerking
1	Resolutie	0.6um/of ander vereiste	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Substraatdikte	0.2 mm ～ 4 mm
4	Nauwkeurigheid van het datumraster	60nm
5	Bedekking	± 500nm	130mmx130mm
6	Stiknauwkeurigheid	± 200nm	AZ703
7	MAX belichtingsgrootte	190X190mm
8	Doorvoer	≥300 mm2/min	≤50mj/cm2;
9	lichtbron	LD 375nm
10	lichte kracht	6W
11	Energie-uniformiteit	≥ 95%
12	licht leven	10000hr

Verpakking en levering

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van de professionele oplossing One-stop Semiconductor Front-end en Back-end Package Line-apparatuur uit China.