structuur |
illustreren |
Lithografie tafel |
Lithografiegebied: tafel, plaatsingsgebied voor de substraat |
Optisch systeem |
Laser emissie vormingsgebied |
Milieucontrolesysteem |
Controleer de interne temperatuur en positieve druk van het apparaat |
Platform systeem |
Regelt de beweging van de belichtingstafel om de operatie van het belichtingspad te voltooien |
Besturingssysteem |
Besturingssysteem van het gehele apparaat |
Nee. |
Omgeving |
Vereisen |
1 |
Lichtbronnenomgeving |
Geel licht |
2 |
Temperatuur |
22℃±2℃ |
3 |
Vochtigheid |
50%±10% |
4 |
Netheid |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, droog, schoon lucht |
6 |
Stroomvoorziening |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; De aardingsdraad moet worden aangesloten. |
7 |
Koelwater |
Temperatuur：10℃~ 20℃ Druk：0.3MPa ~ 0.5MPa Stroomsterkte：20L/min Drukverschil：0.3MPa of hoger Aansluitings diameter：Rc3/8 |
8 |
Locatie |
niveau：±3mm/3000mm schommeling：VC-B As：750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Een netwerkpoort |
11 |
Machinegrootte |
1300*1100*2100mm |
12 |
Apparaatgewicht |
1500kg |
Nee. |
Project |
Spec. |
Opmerking |
1 |
Resolutie |
0.6um/of andere eisen |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Dikte substraat |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Datumrooster nauwkeurigheid |
60nm |
|
5 |
Overlay |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Samenvoegingsnauwkeurigheid |
±200nm |
AZ703 |
7 |
MAX belichtingsgrootte |
190X190mm |
|
8 |
Doorvoer |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
lichtbron |
LD 375nm |
|
10 |
lichtkracht |
6W |
|
11 |
Energiegelijkmatigheid |
≥ 95% |
|
12 |
lichtleven |
10000 uur |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
