Vacuumplasma gastheerseenheid (60) |
||||
Apparaatgrootte |
L 950×B 900×H 1650mm |
|||
gewicht |
350 kg |
|||
Vereiste stroomvoorziening |
AC380V, 50/60Hz, 5-polig, 16A (totaal open type boven C) |
|||
Plasma generator specificatie |
||||
vermogen |
radiofrequentie |
middenfrequentie |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
voedingsfrequentie |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Vacuümsysteem |
||||
vacuümpomp |
Tweestaps rotatiepomp (oliepomp): 40m3/uur |
|||
vacuümleiding |
Volledig roestvrij staal lijn, evenals vacuümkraag met hoge sterkte |
|||
materiaalkwaliteit |
Aluminiumlegering (op maat aanpasbare roestvrij stalen holte) |
|||
dikte |
25mm |
|||
dichtheid |
Militaire weldingsluiting |
|||
Interne afmetingen van de ruimte |
375*375*430mm (Breedte* hoogte * diepte) |
|||
Effectieve afmetingen elektrisch plaat |
247*281mm (breedte* diepte) |
|||
Beschikbare ruimte tussenafstand |
22mm |
|||
Elektroplaatregeling |
Horizontale lay-out, kan actieve extractie hebben |
|||
schalen |
Standaardset, materiaal optioneel (aluminium, staaldraadnet) |
|||
werkruimte |
6 lagen |
|||
procesgas |
||||
Stroombereik |
0~300SCCM |
|||
Gasroute voor procesgas |
Standaard met twee wegen, kan aangepast worden. De procesgaspipeline is gemaakt van ferrofllon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC's |
|||
interactieve modus |
7-inch touchscreen |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved