MDHS-AL8 8" Volledig automatische enkelzijdige lithografiemachine, China MDHS-AL8 8" Volledig automatische enkelzijdige lithografiemachine Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

Productomschrijving

MDHS-AL8 8" Volautomatische enkelzijdige lithografiemachine

1. Werkmodus: de laadrobot laadt automatisch wafers vanuit de AB (recyclebare) waferbox naar de voorpositionering

werkbank, en door de aanpassing van de camerapositioneringswafel en het automatische rotatiesysteem wordt de voorpositionering van de wafer bereikt; De laadrobot laadt vervolgens de vooraf gepositioneerde wafers op de uitlijningswerkbank. Door computerbeeldherkenning en automatische aanpassing van het uitlijnsysteem kan de automatische uitlijning van de afbeeldingen op het masker en de wafers worden bereikt. Het is ook mogelijk om één opname te voltooien zonder de afbeeldingen uit te lijnen. Na automatische belichting door het overbelichtingssysteem plaatst de losrobot de wafers automatisch in de CD (recyclebare) waferdoos.
2. Belichtingsgebied: 160 × 160 mm;
3. Ongelijkmatige belichtingssterkte: ≤ 3%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0~≥ 40 mw/cm2 instelbaar (stralingshoek 2 °);
5. UV-stralingshoek: ≤ 3 °;
6. Centrale golflengte van ultraviolet licht: 365 nm;
7. Levensduur UV-lichtbron: ≥ 20000 uur;
8. Scheidingscapaciteit: 0~≥ 1000um regelbaar;
9. Uitlijningsnauwkeurigheid: ≤ ± 1.5 μM;
10. Belichtingsnauwkeurigheid: contactblootstelling ± 1 μm. Scheiding nabij blootstelling van 20 μM stralingshoek 2 ° ≤ ± 2 μM
11. Blootstellingsmethoden: hard contact, zacht contact en blootstelling in de nabijheid;
12. Belichtingsmodus: u kunt kiezen tussen eenmalige belichting of offsetbelichting
13. Beeldherkenning voor positionering en automatisch rotatiesysteem (inclusief werkbank voor positionering): rotatiehoek Q ≥ ± 180 °, rotatienauwkeurigheid Q ≤ 0.01 °;
14. Beeldherkenning en automatisch uitlijningssysteem (inclusief UVW-uitlijningswerkbank): uitlijningsbereik XY ≥ ± 5 mm, rotatiehoek Q ≥ ± 3 °, en twee lenzen van de microscoop worden bestuurd door twee XYZ elektrische platforms.
15. Maskergrootte: 5 "× 5" en 7" × 7";
16. Wafelgrootte: 4 "en 6";
17. Werkstations voor filmboxen boven en onder: dubbele werkstations;
18. Voetkussenairbag
19. Robotarm met dubbele arm laden en lossen: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Aantal wafers in de waferbox: bepaald op basis van het aantal wafers in de waferbox van de klant;
21. Positionering tafel heffen: Z ≥ ± 25 mm;
22. Belichtingstijdstip: instelbaar van 0 tot 999.9 seconden;
23. Productieritme:>120 stuks per uur;
24. Voeding: eenfasige AC220V 50Hz, stroomverbruik ≤ 3KW;
25. Schone luchtdruk: ≥ 0.4 MPa;
26. Vacuümgraad: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa;
27. Grootte: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Gewicht: ongeveer 400 kg

Deze machine bestaat uit een LED-ultraviolette belichtingskop, een beeldherkennings- en automatisch rotatiesysteem, een vooraf gepositioneerde werkbank en een fotoherkennings- en automatische uitlijnsystemen, uitlijnwerkbanken, laadrobots, losrobots, rekken en elektrische bediening. Bestaande uit apparatuur , reserveaccessoires, enz.

Specificaties

1. Belichtingskop: één LED-ultraviolette belichtingskop (365 nm);
2. Werkbank voor beeldherkenning en pre-uitlijning:
1) 1 camera (1.3 miljoen pixels)
2) Middenpositioneringsarmatuur
3) 1 set roterend platform (met behulp van servomotor)
4) 1 set positioneringssysteem
3. Beeldherkenning en automatisch uitlijnsysteem:
1) 2 camera's (5 miljoen pixels hoge framesnelheid)
2) 2 lenzen (4x high-definition lens)
3) Eén industriële computer
4) Eén controller (aangestuurd door PLC)
5) Eén set uitlijnplatforms (met behulp van 5-fase stappenmotor)
6) Een set sportsystemen
7) Het bovenplaatapparaat gebruikt een motor voor heffen en dalen
7) De software maakt gebruik van de nieuwste versie van LabVIEW Professional Edition
4. Mechanische arm laden en lossen:
1) X Y. Een set automatisch Z-bewegingsmechanisme
2) Robotarm met dubbele arm (laad- en losarmen)
5. Bevestigingsmechanisme voor wafeldoos:
1) AB is de vaste positionering van de invoerfoliedoos
2) CD is de vaste positionering van de snijfilmdoos
3) G is de vaste positionering van de NG-positiefilmdoos
6. Camera vast platform:
7. Twee sets elektrische YZ-verstelmechanismen (aangestuurd door servomotoren)
8. Rek en elektrische bedieningsconsole:
1) 1 industriële computer
2) Eén set PLC;
3) Eén set magneetkleppen en besturingssysteem
4) Een set digitale pneumatische instrumenten
5) Eén set bedieningsconsoles
8. Reservehulpstukken:
1) Tracheaal: 15 meter
2) 2 magneetkleppen
3) Vacuümpomp: 1 eenheid
9. Technische gegevens:
1) Eén gebruikershandleiding
2) Eén certificaat van overeenstemming
10. Extra
De apparatuursoftware moet zijn uitgerust met het SECS-communicatieprotocol en de koper biedt een dynamische bibliotheek met de functie om te koppelen met het MES-systeem van de koper, waarbij automatisch het batchnummer van het product, het taaknummer en de bedrijfsstatus worden geregistreerd en geüpload. Tegelijkertijd heeft het de functie om de QR-code van de maskerplaat te identificeren, deze te vergelijken met de QR-code van de maskerplaat van het MES-systeem en te voorkomen dat de verkeerde maskerplaat wordt genomen.

Verpakking en levering