MDICP-5000F Volledig automatische ICP-etsmachine / Halfgeleiderapparatuur Inductief gekoppeld plasma, China MDICP-5000F Volledig automatische ICP-etsmachine / Halfgeleiderapparatuur Inductief gekoppeld plasma Fabrikanten, leveranciers, fabriek

Productomschrijving

MDICP-5000F Volautomatische ICP-etsmachine

Samenvatting

De apparatuur is een tweekamervacuümsysteem. Eén kamer is de injectiebemonsteringskamer en de andere is de etskamer. Er wordt een vacuümsluis geïnstalleerd tussen de injectiebemonsteringskamer en de etskamer, en de injectiebemonstering wordt door een manipulator getransporteerd.
De apparatuur bestaat hoofdzakelijk uit een vacuümsysteem, een gascircuitsysteem, een elektrisch systeem, een besturingssysteem, een koelsysteem, een filmtoevoer- en opnamemechanisme, een alarmsysteem, enz.

Vacuüm systeem

Het systeem bestaat uit een moleculaire pomp met een pompsnelheid van 600 L/S + een geïmporteerde vacuümdroogpomp met een pompsnelheid van L/s om de etskamer naar hoog vacuüm te pompen. Tussen de moleculaire pomp en de etskamer is een elektrische dynamische drukregelklep geïnstalleerd. De geïmporteerde droge pomp is de voorpomppomp van de etskamer en de voortrappomp van de moleculaire pomp. Gebruik een andere mechanische pomp met een pompsnelheid van L/s om de monsterkamer te vacumeren. Roestvrijstalen balgen worden gebruikt voor de verbinding tussen de mechanische pomp en de vacuümkamer en de moleculaire pomp, en er is een elektromagnetische pneumatische blokklep geïnstalleerd.

Constant drukregelsysteem

De apparatuur is uitgerust met een stroomafwaarts constant drukregelsysteem en een elektrisch verstelbare klep is geïnstalleerd in de luchtextractiepijpleiding. Door het meten van de filmdikte (geïmporteerde onderdelen) wordt de verstelbare klep geregeld om de vacuümkamer een constante druk te laten bereiken, om de processtabiliteit te verbeteren.

Constant drukregelsysteem

Gascircuitsysteem

Twee sets RF-voedingen met automatische matching.

Alarmsysteem

Veiligheidseisen voor apparatuur.

Specificaties

Naam	spc	Merk	Nr./Set	Note
Etskamer, luchtextractiepijpleiding, observatievenster, gereserveerde interface, enz	Standaard	JSWN	1	Anticorrosief
Frame, elektrische kast, afdichtingen, standaardonderdelen, enz	Standaard	JSWN	1
Hefsysteem voor etskamerdeksel	Standaard	JSWN	1	Anticorrosief
Etselektrode en koelsysteem	Standaard	JSWN	1	Anticorrosief
Moleculaire pomp (pompsnelheid 600 L/s)	Final Fantasy 620/150	Kyky	1	Anticorrosief
Inlaat droge pomp (pompsnelheid 9 L/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Anticorrosief
Mechanische pomp (pompsnelheid 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrisch regelbare schuifafsluiter	DCQ-150	JSWN	1	Anticorrosief
Pneumatische balgafsluiter	KF40	JSWN	3	Anticorrosief
Filmmeter	KF16	INFICON	1	Anticorrosief
Massastroomregelaar	D07	Sevenstar	4	Anticorrosief
Pneumatische membraanklep	1/4″ videorecorder	-	4	Anticorrosief
Roestvrij stalen buis, pijpverbinding, enz	1/4″ videorecorder	-	4	Anticorrosief
RF-voeding / automatische matcher	-	China (OptioneelCROWN1310)	1
RF-voeding / automatische matcher	-	China (OptioneelCROWN1310)	1
Composiet vacuümmeter	ZDF	RB	1
IPC	2U	China	1
LCD touch screen	17inch	China	1
PLC controlesysteem	S7-200	Siemens	1
Elektrisch aandrijfbesturingssysteem	Standaard	JSWN	1
Koelwaterdetectie en leidingsysteem	Standaard	JSWN	1
Persluchtdetectie en pijpleidingsysteem	Standaard	JSWN	1
Koelcirculatiewatermachine	HX	China	1
Etsinjectiekamer	Standaard	JSWN	1
Vacuüm slot	SMC	SMC	1
Manipulatiecontrolesysteem	SMC	SMC	1

Mail technische parameter

1. Limietvacuüm: Etskamer 9.0 × 10-5Pa (binnenvochtigheid≤55%)
Injectiebemonsteringskamer 6.0×10-1Pa
2. Etsmateriaal: Ⅲ、ⅤMateriaal、Si、SiO2,enz.
3. Etssnelheid: ~ 1μ/min
4. Etsuniformiteit: ≤ ± 5% (φ125 mm bereik)
6. Elektrodegrootte: φ200 mm

Verpakking en levering

Om de veiligheid van uw goederen beter te waarborgen, zullen professionele, milieuvriendelijke, gemakkelijke en efficiënte verpakkingsdiensten worden geleverd.

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van de professionele oplossing One-stop Semiconductor Front-end en Back-end Package Line-apparatuur uit China.