Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Home
Over Ons
MH-apparatuur
Het resultaat
Overzeese gebruikers
Video
Contacteer Ons
Home> Maskeruitlijner
  • MDLB-ASD2C2D Automatische coating- en ontwikkelingsmachine
  • MDLB-ASD2C2D Automatische coating- en ontwikkelingsmachine

MDLB-ASD2C2D Automatische coating- en ontwikkelingsmachine Nederland

Productomschrijving

MDLB-ASD2C2D automatische coating- en ontwikkelingsmachine

De apparatuur heeft een roestvrijstalen frame en het binnen- en buitenplaatwerk zijn roestvrijstalen spiegelpanelen. De onderkant van het apparaat is uitgerust met universele zwenkwielen en een horizontale verstelfunctie. Aan de bovenkant is een 3-kleurige signaaltoren met een zoemer uitgerust. Het bovenste deel van de apparatuur is het besturingssysteem en de FFU, het middelste deel is de proceseenheid en het onderste deel is het chemische pijpleidingsysteem. Alle onderdelen die in direct contact komen met chemicaliën zijn gemaakt van corrosiebestendige materialen, zoals SUS304, PP, PTFE etc. Pneumatische leidingen zijn gemaakt van PU-buizen en chemische leidingen zijn gemaakt van corrosiebestendige PFA-buizen. De mens-machine-bedieningsinterface van het apparaat is een 17-inch aanraakscherm, waarmee functies kunnen worden uitgevoerd zoals het bedienen van het apparaat, het instellen van formules en het opvragen van logboeken. De SPIN-unit en andere proceskamers zijn uitgerust met.
Geel licht voor eenvoudig onderhoud van de apparatuur. Het uiterlijk van de apparatuur wordt weergegeven in figuur 1.1.1, en de lay-out van de apparatuur wordt weergegeven in figuur 1.1.2.
Leverancier van MDLB-ASD2C2D Automatische Coating- en Ontwikkelingsmachine
MDLB-ASD2C2D Automatische Coating- en Ontwikkelingsmachine details
Specificaties
project
Specificaties
opmerkingen


1


Overzicht van apparatuur
Naam van de apparatuur: Volledig automatische uniforme lijmontwikkelmachine
Uitrustingsmodel: MD-2C2D6
Specificaties voor verwerkingswafels: compatibel met standaardwafels van 4/6 inch
Processtroom uniforme lijm: Bloemenmand snijden → centreren → uniforme lijm (druipen → uniforme lijm → rand verwijderen, achterkant
wassen) → hete plaat → koude plaat → mand plaatsen
Ontwikkelingsprocesstroom: bloemenmand snijden → centreren → ontwikkeling (ontwikkeloplossing → gedeïoniseerd water, terugspoelen →
drogen met stikstof) → hete plaat → koude plaat → plaatsing van de mand
Totale afmetingen (ongeveer): 2100 mm (B) * 1800 mm (D) * 2100 mm (H)
Afmetingen chemische kast (ongeveer): 1700 (B) * 800 (D) * 1600 mm (H)
Totaal gewicht (ongeveer): 1000 kg
Hoogte werkbank: 1020 ± 50 mm


2
Cassette-eenheid
Aantal: 2
Compatibele maat: 4/6 inch
Cassettedetectie: microschakelaardetectie
Uitschuifdetectie: Ja, reflecterende sensor


3


robot
Aantal: 1
Type: Dubbelarmige vacuümadsorptierobot
Vrijheidsgraad: 4-assen (R1, R2, Z, T)
Vingermateriaal: keramiek
Substraatfixatiemethode: vacuümadsorptiemethode
Mapping-functie: Ja
Positioneringsnauwkeurigheid: ± 0.1 mm


4
Centreereenheid
Aantal: 1 ingesteld
Optionele optische uitlijning
Uitlijningsmethode: mechanische uitlijning
Centreernauwkeurigheid: ± 0.2 mm


5


Uniforme lijmeenheid
Aantal: 2 sets (de volgende zijn configuraties voor elke eenheid)
Rotatiesnelheid van de spil: -5000 tpm ~ 5000 tpm
dragende leegloper
Nauwkeurigheid spindelrotatie: ± 1 tpm (50 tpm ~ 5000 tpm)
Minimale aanpassing van de rotatiesnelheid van de spil: 1 tpm
Maximale versnelling van de spindelrotatie: 20000 tpm/s
dragende leegloper
Druiparm: 1 set
Fotoresistbuisroute: 2 routes
Diameter fotoresistmondstuk: 2.5 mm
Fotoresist-isolatie: 23 ± 0.5 ℃
optioneel
Bevochtigingsmondstuk: Ja
RRC: Ja
Buffer: Ja, 200 ml
Methode voor het laten vallen van lijm: vallen in het midden en scannen zijn optioneel
Randverwijderingsarm: 1 set
Diameter mondstuk voor randverwijdering: 0.2 mm
Vloeistofstroombewaking door randverwijdering: vlotterstroommeter
Stroombereik van randverwijderingsvloeistof: 5-50 ml/min
Terugspoelleiding: 2 wegen (elk 4/6 inch met 1 kanaal)
Controle van de terugspoelstroom: vlotterdebietmeter
Stroombereik terugspoelvloeistof: 20-200 ml/min
Chipfixatiemethode: vacuümadsorptieklem met klein oppervlak
Vacuümdrukalarm: digitale vacuümdruksensor
Materiaal boorhouder: PPS
Materiaal beker: PP
Bekeruitlaatbewaking: digitale druksensor


6


Ontwikkelingseenheid
Sluiter: ja
Aantal: 2 sets (de volgende zijn configuraties voor elke eenheid)
Rotatiesnelheid van de spil: -5000 tpm ~ 5000 tpm
dragende leegloper
Nauwkeurigheid spindelrotatie: ± 1 tpm (50 tpm ~ 5000 tpm)
Minimale aanpassing van de rotatiesnelheid van de spil: 1 tpm
Maximale versnelling van de spindelrotatie: 20000 tpm/s
dragende leegloper
Ontwikkelarm: 1 set
Ontwikkelingspijplijn: 2-weg (waaiervormig/kolomvormig mondstuk)
Ontwikkelaarfiltratie: 0.2um
Temperatuurregeling ontwikkelaar: 23 ± 0.5 ℃
optioneel
Ontwikkelingsoplossingsstroombereik: 100 ~ 1000 ml / min
Bewegingsmodus van de ontwikkelende arm: vast punt of scannen
Smeltarm: 1 set
Gedeïoniseerde waterleiding: 1 circuit
Diameter mondstuk voor gedeïoniseerd water: 4 mm (binnendiameter)
Gedeïoniseerd waterstroombereik: 100 ~ 1000 ml/min
Stikstofdroogleiding: 1 circuit
Diameter stikstofmondstuk: 4 mm (binnendiameter)
Stikstofstroombereik: 5-50 l/min
Ontwikkelaar, gedeïoniseerd water, monitoring van de stikstofstroom: vlotterdebietmeter
Terugspoelleiding: 2 wegen (elk 4/6 inch met 1 kanaal)
Controle van de terugspoelstroom: vlotterdebietmeter
Stroombereik terugspoelvloeistof: 20-200 ml/min
Chipfixatiemethode: vacuümadsorptieklem met klein oppervlak
Vacuümdrukalarm: digitale vacuümdruksensor
Materiaal boorhouder: PPS
Materiaal boorhouder: PPS
Materiaal beker: PP
Bekeruitlaatbewaking: digitale druksensor


7


Kleverige eenheid
Aantal: 2
optioneel
Temperatuurbereik: kamertemperatuur ~ 180 ℃
Temperatuuruniformiteit: kamertemperatuur ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃
(Verwijder 10 mm van de rand, behalve het gat voor de uitwerppen)
Minimale aanpassingshoeveelheid: 0.1 ° C
Temperatuurcontrolemethode: PID-aanpassing
PIN-hoogtebereik: 0-20 mm
PIN-materiaal: behuizing SUS304, PIN-pindop PI
Bakafstand: 0.2 mm
Overtemperatuuralarm: positief en negatief afwijkingsalarm
Leveringsmethode: Borrelen, 10 ± 2 ml/min
Kamerbedieningsvacuüm: -5-20KPa


8


Kookplaateenheid
Aantal: 10
Temperatuurbereik: kamertemperatuur ~ 250 ℃
Temperatuuruniformiteit: kamertemperatuur ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃
(Verwijder 10 mm van de rand, behalve het gat voor de uitwerppen)
Minimale aanpassingshoeveelheid: 0.1 ℃
Temperatuurcontrolemethode: PID-aanpassing
PIN-hoogtebereik: 0-20 mm
PIN-materiaal: behuizing SUS304, PIN-pindop PI
Bakafstand: 0.2 mm
Overtemperatuuralarm: positief en negatief afwijkingsalarm


9
Koudeplaateenheid
Aantal: 2
Temperatuurbereik: 15-25
Koelmethode: circulatiepompkoeling met constante temperatuur


10


Chemische voorraad
Fotolakopslag: pneumatische lijmpomp * 4 sets (optionele tank of elektrische lijmpomp)
Doseervolume lijm: maximaal 12 ml per sessie, nauwkeurigheid ± 0.2 ml
Randverwijdering/backwashing/RRC-toevoer: 18L druktank * 2 (automatische aanvulling)
Randverwijdering/terugwassen/RRC-vloeistofniveaubewaking: foto-elektrische sensor
Fotoresist-vloeistofniveaubewaking: foto-elektrische sensor
Afvoer van uniforme lijmafvalvloeistof: 10L afvalvloeistoftank
Levering ontwikkelaar: 18L druktank * 4 (opgeslagen in de chemicaliënkast buiten de machine)
Gedeïoniseerde watervoorziening: directe levering door de fabriek
Ontwikkeling van vloeistofniveaubewaking: foto-elektrische sensor
Afvalafvoer van ontwikkelaars: afvoer van fabrieksafval
Levering van tackifier: 10L druktank * 1, 2L druktank * 1
Niveaubewaking van tackifier: foto-elektrische sensor


11


controlesysteem
Besturingsmethode: PLC
Bedieningsinterface voor menselijke machines: 17 inch touchscreen
Ononderbroken stroomvoorziening (UPS): Ja
Stel encryptierechten in voor apparaatoperatoren, technici en beheerders
Type signaaltoren: rood, geel, groen 3 kleuren


12
Indicatoren voor systeembetrouwbaarheid
Uptime: ≥95%
MTBF: ≥ 500 uur
MTTR: ​​≤ 4 uur
MTBA: ≥24 uur
Fragmentatiesnelheid: ≤ 1/10000


13
Andere functies
Geel licht: 4 sets (positie: boven de lijmmeng- en ontwikkelunit)
THC: Ja, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45% ± 2%
optioneel
FFU: Klasse 100, 5 sets (proceseenheid en ROBOT-gebied)
Verpakking en levering
MDLB-ASD2C2D Automatische coating- en ontwikkelmachine fabricage
MDLB-ASD2C2D Automatische coating- en ontwikkelmachine fabricage
Bedrijfsprofiel
Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van de professionele oplossing One-stop Semiconductor Front-end en Back-end Package Line-apparatuur uit China.

Aanvraag

Aanvraag E-mail WhatsApp WeChat
Top
×

Neem contact op