Deze apparatuur is een precisielithografiemachine die door ons bedrijf speciaal is ontwikkeld voor de gebruikskenmerken van lithografiemachines in verschillende hogescholen en onderzoeksinstellingen. Het wordt voornamelijk gebruikt voor de ontwikkeling en productie van kleine en middelgrote geïntegreerde schakelingen, halfgeleidercomponenten, opto-elektronische apparaten, en oppervlakte-akoestische golfapparaten.
Vanuit het uitgangspunt dat we de oorspronkelijke technische kenmerken van de apparatuur behouden, hebben we een aantal structuren en componenten van de apparatuur geoptimaliseerd, enkele onnodige mechanische handelingen verminderd en ervoor gezorgd dat de storingspunten van de apparatuur zo veel mogelijk worden geminimaliseerd, en dat de werking van de apparatuur is ook zeer stabiel en betrouwbaar.