Dit apparaat is een precisielithografemachine ontwikkeld door ons bedrijf specifiek voor de gebruikskarakteristieken van lithografemachines in verschillende universiteiten en onderzoeksinstituten. Het wordt voornamelijk gebruikt voor de ontwikkeling en productie van kleine en middelgrote geïntegreerde schakelingen, halvegeleidercomponenten, optoelectronische apparaten en oppervlaktegeluidsgolvenapparaten. Op basis van het behouden van de oorspronkelijke belangrijkste technische specificaties van de apparatuur hebben we enkele structuren en onderdelen van de apparatuur geoptimaliseerd, enige onnodige mechanische acties verwijderd, en ervoor gezorgd dat de foutpunten van de apparatuur zo minimaal mogelijk zijn, terwijl de bedrijfsvoering van de apparatuur ook zeer stabiel en betrouwbaar is.
Specificatie
Belangrijkste technische parameters
1.Exposetype: enkelzijdig. 2.Exposgebied: 110×110mm. 3.Onregelmatige exposbelichting: ≤±3%. 4.Exposintensiteit: 0-30mw/cm2 aanpasbaar. 5.UV-straalhoek: ≤3°. 6.Centrale golflengte van ultraviolette licht: 365nm. 7.Levensduur UV-lichtbron: ≥500 uur. 8.Gebruik van elektronische shuttermethode. 9.Exposresolutie: 1 μm; 10.Microscopische scanningsbereik:X:±15mm Y:±15mm; 11.Uitlijningsbereik:X,Y aanpassing ±4mm;Q-richting aanpassing ±3°; 12.Graveerkennisheid:1 μ De nauwkeurigheid van de gebruikers "versie"en "chip"moet voldoen aan nationale voorschriften, en de omgeving,temperatuur,luchtvochtigheid,en stof kunnen streng worden beheerd.Geïmporteerd positief fotorezyst wordt gebruikt,en de dikte van het uniforme fotorezyst kan b e streng worden beheerd.Daarnaast zijn de voor-en nabehandeling geavanceerd; 13.Scheiding bedrag;0~50 μm aanpasbaar; 14.Exposémethode:directe blootstelling,waardoor harde contact,bare contact,en microkrachtcontact blootstelling kan worden bereikt; 15.Vierkant zoeken methode:lucht
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
We hebben 16 jaar ervaring in apparaatverkoop. We kunnen u een professionele oplossing bieden voor een volledige Semiconductor Front-end en Back-end Pakketlijn vanuit China.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
