MDXN-25D4 Hoge precisie maskeruitlijner, Chinese MDXN-25D4 Hoge precisie maskeruitlijner fabrikanten, leveranciers, fabriek

Productomschrijving

Deze apparatuur wordt voornamelijk gebruikt voor de ontwikkeling en productie van kleine en middelgrote geïntegreerde schakelingen, halfgeleidercomponenten en oppervlakte-akoestische golfapparaten. Door het geavanceerde nivelleringsmechanisme en de lage nivelleerkracht is deze machine niet alleen geschikt voor het belichten van diverse soorten substraten, maar ook voor het belichten van gemakkelijk fragmenterende substraten zoals kaliumarsenide en fosfaatstaal, evenals het belichten van niet ronde en kleine substraten.

MDXN-25D4 Hoge Precisie Masker Uitlijner fabricage

Specificaties

Hoofd technische parameters

1. Belichtingstype: enkelzijdige belichting
2. Belichtingsgebied: 110X110mm;
3. Blootstellingsuniformiteit: ≥ 97%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0-30 mw/cm2 instelbaar;
5. UV-stralingshoek: ≤ 3 °
6. Centrale golflengte van ultraviolet licht: 365 nm;
7. Levensduur UV-lichtbron: ≥ 20000 uur; (2 jaar garantie)
8. Goedkeuring van elektronische sluiter;
9. Belichtingsresolutie: 1 μM
10. Camara-zichtbereik: ± 15 mm Y: ± 15 mm
11. Uitlijningsbereik: x: ± 4 mm Y: ± 4 mm Q: ± 3°.
12. Uitlijningsnauwkeurigheid: 1um (onder goede omgevingsomstandigheden)
13. Scheidingsafstandsbereik: 0-50um instelbaar.
14. Belichtingsmethode: contactblootstelling. (hard/zacht/micro-aanraking)
15.Balansmethode: luchtflotatie.
16. Microscopisch systeem: CCD-systeem met dubbel gezichtsveld, objectieflens 1.6X ~ 10X, computerbeeldverwerkingssysteem, 19-inch LCD-monitor; totale vergroting 91-570x. afstand van het objectief: 50-120 mm.
17. Maskergrootte: 127 * 127 mm; 102 * 102 mm
18. Substraatgrootte: Φ102 mm; Φ76 mm
19. Substraatdikte: ≤1 mm
20. Belichtingstijd: 0-999.9 seconden instelbaar.
21. Vermogen: 220 V 50 Hz 1.5 kW.
22. luchtbron? 0.4 MPa
23.Vacuümgraad: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa

Verpakking en levering

MDXN-25D4 Hoge Precisie Maskeruitlijner details

MDXN-25D4 Hoge Precisie Masker Uitlijner fabriek

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van de professionele oplossing One-stop Semiconductor Front-end en Back-end Package Line-apparatuur uit China.