1.Energie vereist voor apparatuur: Mainframe-voeding: 220V, 50HZ, stroomverbruik≤1.5KW;
2. Uitgerust met een vacuümpomp met een voeding van 220V;
3. Grootte en gewicht: Grootte: 1200 (lengte) × 720 (breedte) × 1500 (hoog). Gewicht ≤170kg;
4.Plaats het machinelichaam op een speciale werkbank;
5. Belichtingstype: contacttype, plaatuitlijning, dubbelzijdige belichting;
6. Blootstellingsgebied: φ100 mm;
7. Ongelijke blootstelling: ≤ ± 3%;
8. Blootstellingsintensiteit: ≥5mw/cm2;
9. Belichtingsresolutie: 2 μm;
10. Belichtingsmodus: dubbelzijdige gelijktijdige belichting;
11. Uitlijningsbereik: X: ±5 mm Y: ± 5 mm;
12. Gravurenauwkeurigheid: 2 μm;
13. Rotatiebereik: Q-richting rotatieaanpassing ≤ ± 5 °;
14.Microscopisch systeem: CCD-systeem met dubbel gezichtsveld, objectieflens 1.6X ~ 10X, computerbeeldverwerkingssysteem, 19-inch LCD-monitor;
15. Maskergrootte: geschikt voor vacuümadsorptie