MDXN-31D4 Hoog-nauwkeurige Dubbelzijdige Lithografie Machine , China MDXN-31D4 Hoog-nauwkeurige Dubbelzijdige Lithografie Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Productomschrijving

Dit apparaat wordt voornamelijk gebruikt voor de ontwikkeling en productie van kleine en middelgrote geïntegreerde schakelingen, halvegeleiderscomponenten en oppervlaktegeluidsgolfgerechten. Door het geavanceerde niveaumechanisme en lage niveaukracht is dit apparaat niet alleen geschikt voor de belichting van verschillende soorten substraat, maar ook voor de belichting van gemakkelijk te breken substraat zoals kaliumarsenide en fosfaatstaal, evenals de belichting van niet-circulaire en kleine substraat.

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

Specificatie

Belangrijkste technische parameters

1. Belichttype: contacttype, plaatuitlijning, enkelzijdige dubbele belichting
2. Exposégebied: 110X110mm;
3. Exposéuniformiteit: ≥ 97%;
4. Exposéintensiteit: 0-30mw/cm2 aanpasbaar;
5. UV-straalhoek: ≤ 3 °
6. Centrale golflengte van ultraviolet licht: 365nm;
7. UV-lamp levensduur: ≥ 20000 uur;
8. Werkoppervlaktetemperatuur: ≤ 30 ℃
9. Elektronische shuttermethode ingezet;
10. Belichtingsresolutie: 1 μm (de belichtingstiefdte is ongeveer 10 keer de lijnbreedte)
11. Belichtingsmodus: Dubbele tegelijkertijdse belichting
12. Uitlijningsbereik: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Plaatuitlijningsnauwkeurigheid: 2 μm
14. Rotatiebereik: Q-richting rotatieaanpassing ≤ ± 5 °
15. Microscoop systeem: dubbel veld van zicht CCD systeem, objectief 1.6X~10X, computer beeldverwerkingsysteem, 19 "LCD monitor; Totale versterking 91-570x
16. Maskerformaat: In staat om 5" vierkante maskers met vacuüm te absorberen, zonder speciale eisen aan de dikte van het masker (ranging from 1 to 3mm).
17. Substraatformaat: Geschikt voor 4" substraat, met substraatdikte variërend van 0,1 tot 2mm.
18. Bij bestellen zijn er geen speciale eisen, en een 5" X5 plank is standaard; je kunt planken onder de 5" X5 aanpassen:

Verpakking & Levering

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

Bedrijfsprofiel

We hebben 16 jaar ervaring in apparaatverkoop. We kunnen u een professionele oplossing bieden voor een volledige Semiconductor Front-end en Back-end Pakketlijn vanuit China.