MDXN-31D4 Hoge precisie dubbelzijdige lithografiemachine, China MDXN-31D4 Hoge precisie dubbelzijdige lithografiemachinefabrikanten, leveranciers, fabriek

Productomschrijving

Deze apparatuur wordt voornamelijk gebruikt voor de ontwikkeling en productie van kleine en middelgrote geïntegreerde schakelingen, halfgeleidercomponenten en oppervlakte-akoestische golfapparaten. Door het geavanceerde nivelleringsmechanisme en de lage nivelleerkracht is deze machine niet alleen geschikt voor het belichten van diverse soorten substraten, maar ook voor het belichten van gemakkelijk fragmenterende substraten zoals kaliumarsenide en fosfaatstaal, evenals het belichten van niet ronde en kleine substraten.

MDXN-31D4 Hoge Precisie Dubbelzijdige Lithografie Machine details

Specificaties

Hoofd technische parameters

1. Belichtingstype: contacttype, plaatuitlijning, dubbelzijdige enkele belichting
2. Belichtingsgebied: 110X110mm;
3. Blootstellingsuniformiteit: ≥ 97%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0-30 mw/cm2 instelbaar;
5. UV-stralingshoek: ≤ 3 °
6. Centrale golflengte van ultraviolet licht: 365 nm;
7. Levensduur UV-lichtbron: ≥ 20000 uur;
8. Werkoppervlaktemperatuur: ≤ 30 ℃
9. Goedkeuring van elektronische sluiter;
10. Belichtingsresolutie: 1 μM (belichtingsdiepte is ongeveer 10 keer de lijnbreedte)
11. Belichtingsmodus: dubbelzijdige gelijktijdige belichting
12. Uitlijningsbereik: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm
13. Nauwkeurigheid van plaatuitlijning: 2 μm
14. Rotatiebereik: rotatie-aanpassing in Q-richting ≤ ± 5 °
15. Microscopisch systeem: CCD-systeem met dubbel gezichtsveld, objectieflens 1.6X ~ 10X, computerbeeldverwerkingssysteem, 19-inch LCD-monitor; totale vergroting 91-570x
16. Maskergrootte: geschikt voor het vacuüm absorberen van vierkante maskers van 5 inch, zonder speciale vereisten voor de dikte van het masker (variërend van 1 tot 3 mm).
17. Substraatgrootte: geschikt voor 4 "substraten, met een substraatdikte variërend van 0.1 tot 2 mm.
18. Bij het bestellen zijn er geen speciale vereisten en een plank van 5 "X5 is standaard; u kunt planken van minder dan 5" X5 aanpassen:

Verpakking en levering

MDXN-31D4 Hoge precisie dubbelzijdige lithografiemachine fabricage

MDXN-31D4 Hoge precisie dubbelzijdige lithografiemachinefabriek

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van de professionele oplossing One-stop Semiconductor Front-end en Back-end Package Line-apparatuur uit China.