Nieuwe generatie microgolfplasma-reiniger plasmareinigingsmachine Halfgeleiderverpakkingsoplossingsapparatuur, China Nieuwe generatie microgolfplasma-reiniger plasmareinigingsmachine Halfgeleiderverpakkingsoplossingsapparatuur Fabrikanten, leveranciers, fabriek

Productomschrijving

Magnetron Plasmareiniger

SPV-100MWR is een laagspanningsmicrogolfplasmareinigingssysteem voor halfgeleiders. Door microgolven met een frequentie van 2.45 GHz op het venster aan de wand van de vacuümholte toe te passen, wordt een grote hoeveelheid continu plasma gegenereerd en wordt de chip gereinigd door de holte binnen te gaan.

Nieuwe generatie magnetron-plasmareiniger plasma-reinigingsmachine Leverancier van apparatuur voor halfgeleiderverpakkingsoplossingen

Toepassingen

Nieuwe generatie magnetron-plasmareiniger plasma-reinigingsmachine Fabriek voor halfgeleiderverpakkingsoplossingen

Specificaties

Vacuümplasmagastheer
Afmetingen van de apparatuur	1230X1800X1100mm (breedte x hoogte x diepte)
Gewicht	450 kg
vermogensbehoefte	AC380V, 50/60Hz, 5-draads, 30A
Specificaties plasmagenerator
Magnetron voeding	Power	0 ~ 1250W
		Frequentie	2.45GHz
Vacuüm systeem
Materiaal	Aluminiumlegering (aanpasbare roestvrijstalen kamer)
Dikte	25mm
Interne afmetingen van de holte	480mmX470mmX480mm
workspaces	6 tijdschriftsecties
ECR	Slotted Magazine biedt een ECR-verbeterd verwerkingseffect
Plasma-mogelijkheid
Verwerkingsvermogen	35um toonhoogte 40μm hobbel 15X15mm Maximale matrijsgrootte