Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

homepage
Over ons
MH Equipment
Oplossing
Overzeese gebruikers
video
Contacteer ons
Home> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces
  • PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat / Hoogtemperatuur PECVD proces

Productomschrijving

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition apparaat

◆ Volledige automatische controle van procesduur, temperatuur, gasstroom, kleppenactie en reactiekamerdruk wordt bereikt door
industrieële computer.
◆ Er wordt een geïmporteerd drukbesturingssysteem en gesloten lus systeem gebruikt, met hoge stabiliteit.
◆ Geïmporteerde corrosiebestendige roestvrijstalen buizen en kleppen worden gebruikt om de lichtheid van het gascircuits te waarborgen.
◆ Het heeft een perfecte alarmfunctie en veiligheidsschakelaar.
◆ Het heeft ultra-hoogtemperatuuralarm en onder-temperatuuralarm, MFC-alarm, reactiekamerdrukalarm, RF-alarm, laag compressieldrukalarm, laag N2-drukalarm en laag koelwaterdebietalarm.
◆ Het bestaande PECVD heeft na upgraden de functie om een SiO2 film te laten groeien, wat het PID-probleem van batterijmodulen oplost. Een SiNxOy film kan worden gegroeid (achterpassiveringsproces), wat de conversie-efficentie van de batterij aanzienlijk verbetert.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

Type

◆ Ladinghoeveelheid: 384 stuks/schip (125 * 125); 336 stuks/schip (156 * 156)
◆ Reinigingsgraad van reinigingstafel: Klasse 100 (Klasse 10000 fabriek)
◆ Automatiseringsgraad: automatische temperatuur- en procescontrole.
◆ Chip verzend- en ontvangstmodus: zachte landingstype, met stabiele en betrouwbare kenmerken, geen kruipen, nauwkeurige positieering, grote draagkracht en lange serviceleven.
Specificatie
Maximale belasting per buis
384 stuks/boot (125*125)
336 stuks/boot (156*156)
Procesindex
± 3% in tablet, ± 3% tussen tablets, ± 3% tussen batches
Werktemperatuur
200~500℃
Nauwkeurigheid en lengte van temperatuurszone (statische gesloten buistest)
1200mm±1℃
Gasstroomnauwkeurigheid
±1%FS
Lucht dichtheid van het luchtcircuitsysteem
1×10-7Pa.m³/S
Controle
Volledig geïmporteerde automatische drukgesloten regelsysteem, nauwkeurige controle van reactievacuüm; 40KHz hoogfrequent voedingssysteem; Vaartuig zachte landing; Volledige digitale controle, perfect en veilig procescontrolebescherming.
1 buis, 2 buizen, 3 buizen en 4 buizen zijn optioneel; De automatische laadmanipulator is optioneel, en de prestaties van het apparaat kunnen concurreren met de beste soortgelijke apparaten ter wereld.
De prestaties van het apparaat en het proces kunnen vergelijkbaar zijn met de topapparatuur wereldwijd.
En de prestaties van het apparaat en het proces kunnen concurreren met de beste soortgelijke apparaten ter wereld.
Verpakking & Levering
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Om de veiligheid van uw goederen beter te waarborgen, zullen professionele, milieuvriendelijke, gemakkelijke en efficiënte verpakkingsservices worden aangeboden.
Bedrijfsprofiel
We hebben 16 jaar ervaring in apparaatverkoop. We kunnen u een professionele oplossing bieden voor een volledige Semiconductor Front-end en Back-end Pakketlijn vanuit China.

Navraag

Navraag Email WhatsApp WeChat
Top
×

Neem contact op