MDAM-CMP100/150 precisie slijp- en polijstmachine, de hoofdeenheid en alle onderdelen zijn gemaakt van hoog korrosiebestendige materialen. De hele machine is korrosiebestendig, stabiel, slijtagebestendig en roestvast, geschikt voor chemisch-mechanisch slijpen en polijsten van verschillende halvegeleidermaterialen. De werkruimte is gescheiden van het weergave- en controlegebied en wordt digitaal gecontroleerd met een touchscreen besturingssysteem. Het is CNC gecontroleerd, opslagbaar en herstelbaar.
Het apparaat heeft een timingfunctie, waarmee het continu voor 10 uur kan werken en de snelheid van de poliervlak kan regelen. Het bedieningspaneel is buiten de werkzone geplaatst om te voorkomen dat abrasieve oplossingen op het bedieningspaneel spatten. Alle parameters van de host kunnen worden aangepast via de touchscreen. De procesparameters van de host hebben opslag- en herstelfuncties om de consistentie en herhaalbaarheid van het proces te garanderen. Het wafervoorbeeld wordt door vacuümpompage vastgehouden op de onderkant van de houder, uitgerust met een olievrije vacuüm pomp, en heeft een onafhankelijke anti-terugsuifelfunctie.
Het montage systeem voor horizontale rotatie heeft een zwaai functie, met een zwaai bereik van 0-100% instelbaar. De zwaai amplitude en frequentie snelheid kunnen nauwkeurig ingesteld worden via het controlepaneel. Het montagestuk is uitgerust met een onafhankelijk aandrijfsysteem voor rotatie, met een instelbaar snelheidsbereik van 0-120 toeren per minuut. Deze functionele ontwerpinrichting zorgt ervoor dat de steekproef volledig wordt gepolijst tijdens het schuren en polijsten proces, wat de polijscapaciteit en -efficiëntie van de apparatuur aanzienlijk verbetert.
Het montagestuk is uitgerust met een digitale diktebewakingstabel met een bewakingsnauwkeurigheid van 1 μm. De druk van het montagestuk op de plaatsteekproef is continu instelbaar, met een drukbereik van 0-3,5kg en een nauwkeurigheid van 2g/cm², en is uitgerust met een drukmetingstoestel.
De bediening van de slijp- en poliervensch wordt beheerd door de hoofdmotor, en de snelheid van de schijf kan worden aangepast van 0 tot 120 toeren per minuut. Dit versnellingsbereik zorgt efficiënt voor het slijpen en polieren van monsters van verschillende hardheid en materiaalformaat, waardoor hogere procesprestaties worden bereikt. De vervanging van slijfschijven en poliervellen is eenvoudig en snel, met ingebouwde schijven die het apparaat in staat stellen om snel over te schakelen van slijpen naar poleren, wat de procesduur aanzienlijk vermindert. Bovendien is de slijpschijf uitgerust met een reparatieblok om ervoor te zorgen dat de slijpschijf een goede vlakheid behoudt.