Snelle Thermische Verwerking Bureautop RTP Systeem voor verbindingshalbleiders SlC LED en MEMS , China Snelle Thermische Verwerking Bureautop RTP Systeem voor verbindingshalbleiders SlC LED en MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Productomschrijving

Snelle Thermische Verwerking

Geef betrouwbare RTP-apparatuur voor samengestelde halveleiders、SlC、LED en MEMS

Toepassingen in de industrie

* Oxide, nitridegroei
* Ohmic contact snel legen
* Annealing van silicidelega
* Oxidatie reflux
* Gallium arsenide proces
* Andere snelle warmtebehandelingsprocessen

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Voordelen van het product

1. Het procesbereik dekt 200-1250 ℃ af
2. Een krachtig temperatuurveldbeheersysteem
3. Gewijde RTP algoritme
4. Professionele TC Wafer kalibratietool

Kenmerk

* Infrarood halogeenlampverwarming, afkoeling met behulp van lucht;
* PlD temperatuurregeling voor lampkracht, waarmee een nauwkeurige temperatuurstijging kan worden beheerd, wat goede reproducerbaarheid en temperatuuruniformiteit garandeert;
* De ingang van het materiaal is op het WAFER-oppervlak geplaatst om koelpunten tijdens het annealeringsproces te voorkomen en goede temperatuuruniformiteit van het product te waarborgen;
* Zowel atmosferische als vacuüm behandelmethode kan worden geselecteerd, met voorafgaande behandeling en zuivering van het lichaam;
* Twee sets procesgassen zijn standaard en kunnen worden uitgebreid tot maximaal 6 sets procesgassen;
* De maximale grootte van een meetbaar enkel kristal silicium monster is 12 inch (300x300MM);
* De drie veiligheidsmaatregelen van veilige temperatuuroptiebescherming, temperatuurregelaar optie toestemming bescherming en apparaat noodstop veiligheidsbescherming zijn volledig geïmplementeerd om de veiligheid van het instrument te waarborgen;

Overeenkomst van 20 graden krommen

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

20 temperaturenkrommen bij 850 ℃ regeling

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

Overeenkomst van 20 gemiddelde temperatuurkrommen

1250 ℃ temperatuurregeling

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

RTP temperatuurregeling 1000 ℃ proces

960 ℃ proces, geregeld door infrarood pyrometer

LED procesgegevens

RTD Wafer is een temperatuursensor die speciale verwerkingsmethoden gebruikt om temperatuursensoren (RTDs) op specifieke locaties aan de oppervlakte van een wafer in te bedden, wat het mogelijk maakt om de oppervlaktemperatuur van de wafer in real-time te meten.
Reële temperatuurmetingen op specifieke locaties op de wafer en de algemene temperatuurverdeling van de wafer kunnen worden verkregen via RTD Wafer; Het kan ook worden gebruikt voor continue monitoring van tijdelijke temperatuurwijzigingen op wafers tijdens het hittebehandelingsproces.