Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Vraag een offerte aan

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Startpagina
Over ons
MH Equipment
Oplossing
Overzeese gebruikers
Video
Contacteer ons
Home> Semicon Inspect
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer
  • Spectroscopisch Ellipsometer

Spectroscopisch Ellipsometer

Vraag een gratis offerte aan
Productomschrijving

Spectroscopisch Ellipsometer

Het spectrale ellipsometer kan snel en automatisch op meerdere punten testen, en de uniformiteit van een monster met één klik testen. Het product is uitgerust met polarisator, analyzer en compensator, die allemaal absolute codering hebben met hoge-precisie positie-sluitende apparaten met bandgap-compensatiefunctie, wat de nauwkeurigheid en stabiliteit van het systeem verhoogt. Door een dubbele vezelstructuur te gebruiken wordt het lichtverzamelingsvermogen verbeterd, zodat voldoende spectra verzameld kunnen worden van geëtste zuur gepolijste oppervlakken of conventionele piramidevoorzijden voor testen en analyse. Het heeft ook basisfuncties zoals autofocus, selectie van lichtintensiteit en fasecompensatie.
Ontworpen voor hoog-nauwkeurige en efficiënte analyse van optische eigenschappen van materialen. Het kan automatisch, snel en
de refractieve index, de extinctiecategorie en de film dikte van materialen nauwkeurig meten. Het is geschikt voor dunne film- en materiaalkarakterisatiebehoeften in wetenschappelijk onderzoek, halbleiders, fotovoltaïsche cellen, optische coating, display panelen en andere velden.

Meetobject:

Optische coating: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Display: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektroden(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaïsche: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Halfgeleider: Photoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Overig: OCD, 2-D materialen, Van der Waals heterojunction en apparaat...

Productfunctie:

Brekingindexmeting: Meet nauwkeurig de brekingindex van materialen bij verschillende golflengtes, waarmee essentiële gegevens worden verstrekt voor optische ontwerpen en materiaalonderzoek.
Extinctiecocometmeting: Analyseer de lichtopnamekenmerken van materialen om de prestaties van optoelectronica te optimaliseren.
Film dikte meting: Ondersteunt de detectie van de dikte van nanometer tot microniveau films met hoge resolutie en goede herhaalbaarheid.
Snel automatisch testen: Met de functie voor meervoudig automatisch scannen bereikt de meet­snelheid 1 seconde/punt, wat de efficiëntie van batchtesten aanzienlijk verbetert.

Meetprincipe:

Het principe van ellipsometrie is gebaseerd op de verandering van de polarisatie­toestand van optisch weerspiegeld licht voor en na het mediumoppervlak, om optische eigenschappen en structuurinformatie te verkrijgen.
Het elektrisch veld van de inkomende straal wordt gesplitst in twee loodrechte richtingen, waarbij p-licht parallel is aan de trilling van het licht
golf, s licht loodrecht op de trilling van de lichtgolf. De amplitudes en fasen van p en S licht veranderen wanneer de straal wordt weerspiegeld vanaf de oppervlakte van het medium.
De correlatie tussen de fysieke eigenschappen van het medium en de verandering van de toestand van polarisatie.

Instrument werkomgeving:

Volt: 220VAC+10%
Kamertemperatuur: omgevingstemperatuur(10-30)℃
Relatieve vochtigheid: (20-80)% RH

Spectrometer:

Detectie-eenheid: 2048 pixel snel achterverlichte CCD-detector
Uitgebreide parameters:
1. spectrum bereik beter dan 350nm-1000nm
2. straylicht<0,02%@400nm
3. signaal-geruisverhouding 4800
4. dynamisch bereik 50000:1
5. holografische lichtpad
6. digitale resolutie 16-bits
7. leessnelheid >400kHz
8. gegevensoverdrachtsnelheid 600MB/s
9. minimum integratietijd/afstemstap 6 us/1us
10. externe trigger vertraging 95ns+/-20ns
11. computerinterface USB4.1C/2.0
12. besturingssysteem Win 7/in 8/Win 10
gemiddelde QE in UV-gebied, achterverlichte CCD, gemiddelde QE ≥75% Koelsysteem micro TE-koeling, temperatuur na koeling is 30'c
lager dan de omgevingstemperatuur.
Integratiemethode softwaregestuurde automatische instelling van integratietijd, kan het beste bereiken

Lichtbron systeem:

Lichtbron halogeenlamp met kwartsbuis, golflengtebereik 350nm-2000nm, geen verval levensduur langer dan 50000 uur.
Onafhankelijke voeding voor halogeelamp spanning 4.9vd

Stage met autofocusfunctie:

Verplaats het monster naar de beste meetpositie met de autofocusfunctieReikwijdte: 100mm
Nauwkeurigheid: 0.0005mm Positielimiet met zowel positieve als negatieve limiet en nulpositie-sensor; startpositie, eindpositie, staplengte van de autofocusfunctie kunnen ingesteld worden in de software met behulp van de Gauss-regressiemethode; stel een gespecificeerde integratietijd in en verzamel de intensiteit van de focusmethode
Productstructuur
Specificatie
Optisch systeem:
Invalshoek
65°
Straalafwijking
< 0.3°
Meetparameters
Psi&Del、TanPsi&CosDel、Alpha&Beta
Polariseerders
Glan-Thompson
Materiaal
a-BBO
Compensator
kwartgolf fasevertraging, hyper achromatisch
Intensiteitsselectie
Element voor lineaire optische dichtheidselectie. Garandeert een goede signaal-na-ruisverhouding tijdens het metingsproces, verbetert de gegevensnauwkeurigheid,
voorkomt dat het licht te sterk is of te zwak om de signaal-na-ruisverhouding en nauwkeurigheid te verminderen
Optisch ontwerp
dubbele vezel voert licht van de lamp naar de spectrometer via polarisatie-elementen; stabiele lichtweg, gemakkelijk om lampen te wisselen
Vezel
anti-UV passivering; NA=0.22; helder aperture 600um
Micro lichtvlek
diameter ≤200um, om te onderscheiden tussen het nuttige licht dat wordt weerspiegeld vanaf de voorkant en het niet-nuttige licht dat wordt weerspiegeld vanaf de
onderkant, gemakkelijk uit elkaar te halen
Spleet
1 50um, voor het onderscheid maken tussen het nuttige licht dat wordt weerspiegeld vanaf de voorkant en het niet-nuttige licht dat wordt weerspiegeld vanaf de onderkant
oppervlak
Basisselectietabel voor parameters:
Spectraal bereik
350-1000nm
C
Zichtbaar
210-1000nm
UC
UV-Visibel
210-1700nm
Niet
UV-Vis-NIR
Optische compensator
Rc
Enkele compensator
RC2
C2
Dubbelle compensator
Spectraal bereik
X-Y
M
Grote stroke tot 230mm
X-R
R
Grote diameter tot 300mm
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
Minder-Hightech is verkoop- en servicerepresentant voor apparatuur in de semiconductor- en elektronische productenindustrie. Sinds 2014 is het bedrijf gericht op het bieden van klanten Superieure, Betrouwbare en All-in-One Oplossingen voor machineriesapparatuur.
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

Meer producten

Navraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privacybeleid

Navraag Email WhatsApp WeChat
Top
×

Neem contact op