Halvegeleiderapparatuur MDLB-MC200 Photomask reiniger

Nee.

Project

Specificaties

Opmerkingen

1

Apparaten Overzicht

Apparaatnaam: Photomask Cleaner

Model van de uitrusting: MDLB-MC200

De totale afmetingen (ongeveer): 1300 mm (W) * 1000 mm (D) * 1950 mm (H)

Geheel machinegewicht (ongeveer): 300 kg

Hoogte van de bedieningstafel: 900 ± 50 mm

Specificaties voor de grootte van het substraat: geschikt voor 2/4/5/6/8 inch vierkante maskerplaten

Processtroom: handmatige plaatsing van de wafer → reiniging (borstel, reinigingsoplossing → hoogdrukwater → megasonisch water → gedeioniseerd water → stikstofgasdrogen) → handmatig verwijderen van de wafer

Apparatuurtype: semi-automatisch, handmatig laden en lossen

2

Opbouw van de apparatuur

Klep: roestvrij staal, glad, corrosiebestendig, gemakkelijk te reinigen

Schoonmaakkamer: PP, glad, corrosiebestendig, gemakkelijk te reinigen

Leiding: PU/PFA-overeenkomstige leiding wordt gebruikt

Werkverlichting: corrosiebestendige gele lichtverlichting

Deurstijl: Dubbele deur met deuropeningsalarmfunctie

Touchscreen: 10 inch volledig kleurenscherm * 1

FFU: Klasse 100

Lekkagebestendige ondersteuning: beschikbaar

3

Servomotor met hoge precisie

Hoeveelheid: 1

Snelheid: -3000~3000rpm

Lege belasting

Maximale versnelling van spindelrotatie: 3000rpm/S

Lege belasting

Snelheidsnauwkeurigheid: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Snelheidsresolutie: 1rpm

4

Automatische zwaaiarm

Aantal: 3

Zwaaiarmsnelheid: 1~30 °/S

5

Reinigingseenheid

Reinigingszwaaiarm: 1 kanaal onioniserd water, 1 kanaal stikstofgas

Megasonische arm: 1 megasonisch, 1 hoog druk water

Borstelarm: 1 borstel, 1 water, 1 reinigingsoplossing

Schoonmaakmethode: automatische reiniging

Ontioniseerd watersuctionsfunctie: beschikbaar

Rugspoeling (ontioniseerd water): 1 route

Vermogensmethode: Reinigingsoplossing: Diaphragmpomp

Ontioniseerd water: rechtstreeks geleverd door de fabriek

Druktank met vloeistofniveau detectie

6

Borstelborstel

Aantal: 1 (met zelfreinigende functie)

Snelheid: tot 1000rpm, aanpasbare snelheid

Hoogte handmatig aanpasbaar

7

Lading blad

Aantal: 5

Materiaal: PPS+roestvrij staal

Grootte: Geschikt voor 2/4/5/6/8 inch vierkante maskerplaten

Substraat vastleggingsmethode: Klauw vastleggingsmethode

8

Besturingssysteem

Besturingssysteem: gebruik makend van PLC-besturing

Programma: 100 groepen, waarbij elke groep bestaat uit 100 stappen, met een maximale tijdsduur per stap van 3000.0 seconden

Resolutie: 0.1S

Het programma kan worden opgeslagen, aangeroepen, gewijzigd en verwijderd

Stel versleutelingsrechten in: voor apparaatoperators, technici, beheerders en fabrikanten respectievelijk

Signaaltype toren: rood, geel, groen 3 kleuren