Halfgeleiderindustrie-apparatuur MDLB-MC200 Fotomaskerreiniger, Chinese halfgeleiderindustrie-apparatuur MDLB-MC200 Fotomaskerreiniger Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

MDLB-MC200

Fotomaskerreiniger

Reinigingseenheid:

De reinigingskamer is verwerkt met corrosiebestendige materialen, die een glad oppervlak hebben en gemakkelijk schoon te maken zijn. Er is een afvalafvoerpoort aan de onderkant van de binnenste holte, die zwaartekracht gebruikt om afvalvloeistof in de fabrieksafvalafvoerleiding te laten lozen. Er is een zuigpoort in de holte, die tijdig de atmosfeer uit de holte kan halen. Uitgerust met 3 automatische zwenkarmen, kan het automatische reiniging bereiken.

Configuratieparametertabel:

Nr.	Project	Specificaties	Opmerkingen
1	Overzicht van apparatuur	Apparaatnaam: Photomask Cleaner
		Uitrustingsmodel: MDLB-MC200
		Totale afmetingen (ongeveer): 1300 mm (B) * 1000 mm (D) * 1950 mm (H)
		Gewicht van de gehele machine (ongeveer): 300 kg
		Operatietafelhoogte: 900 ± 50 mm
		Specificaties voor de substraatgrootte: geschikt voor vierkante maskerplaten van 2/4/5/6/8 inch
		Processtroom: handmatige plaatsing van de wafer → reiniging (borstel, reinigingsoplossing → hogedrukwater → megasonisch water → gedemineraliseerd water → drogen met stikstofgas) → handmatige verwijdering van de wafer
		Type apparatuur: semi-automatisch, handmatig laden en lossen
2	Apparatuur constructie	Behuizing: roestvrij staal, glad, corrosiebestendig, gemakkelijk schoon te maken
		Reinigingskamer: PP, glad, corrosiebestendig, eenvoudig te reinigen
		Pijplijn: Er wordt gebruik gemaakt van een PU/PFA-matchingpijplijn
		Werkverlichting: anti-corrosie gele lichtverlichting
		Deuropeningsstijl: Dubbele deur met deuropeningsalarmfunctie
		Touchscreen: 10 inch full-color touchscreen * 1
		FFU: Klas 100
		Lekvrije bodemondersteuning: beschikbaar
3	Servomotor met hoge precisie	Aantal: 1
		Snelheid: -3000~3000rpm	Lege lading
		Maximale versnelling van de spindelrotatie: 3000 tpm/s	Lege lading
		Snelheidsnauwkeurigheid: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Snelheidsresolutie: 1rpm
4	Automatische zwenkarm	Aantal: 3
4	Automatische zwenkarm	Snelheid zwenkarm: 1~30 °/S
5	Cleaning unit	Reinigingszwaaiarm: 1 kanaal gedemineraliseerd water, 1 kanaal stikstofgas Megasonische arm: 1 Megasonische, 1 Hogedrukwaterarm Borstelarm: 1 borstel, 1 water, 1 reinigingsoplossing
		Reinigingsmethode: automatische reiniging
		Gedemineraliseerd water zuigfunctie: beschikbaar
		Terugspoeling (gedemineraliseerd water): 1 route
		Leveringsmethode: Reinigingsoplossing: Membraanpomp Gedemineraliseerd water: rechtstreeks geleverd door de fabriek
		Druktank met vloeistofniveaudetectie
6	Borstel borstel	Hoeveelheid: 1 (met zelfreinigende functie)
		Snelheid: tot 1000 tpm, instelbare snelheid
		Hoogte handmatig verstelbaar
7	Lade laden	Aantal: 5
		Materiaal: PPS+roestvrij staal
		Maat: Geschikt voor 2/4/5/6/8 inch vierkante maskerplaten
		Methode voor het bevestigen van het substraat: Klauwbevestigingsmethode
8	Controle systeem	Besturingssysteem: met behulp van PLC-besturing
		Programma: 100 groepen, elke groep bestaande uit 100 stappen, met een maximale enkele staptijd van 3000.0 seconden Resolutie: 0.1S
		Het programma kan worden opgeslagen, opgeroepen, gewijzigd en verwijderd
		Stel encryptiemachtigingen in: voor respectievelijk apparaatbeheerders, technici, beheerders en fabrikanten
		Type signaaltoren: rood, geel, groen 3 kleuren