Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar offline machine Fotoresistrestverwijdering, China Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar offline machine Fotoresistrestverwijdering Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

Productomschrijving

Cassettetype Batchplasma Fotoresist verwijderaar

DESCUM
Wafel schoonmaken
Resterende fotoresist verwijderen na nat proces
Verwijdering van oppervlakteresten
Verwijder resterende fotoresist na belichting en ontwikkeling

Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar off-line machine Fotoresist Resterende verwijderingsdetails

Proces

Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar off-line machine Fotoresist Residuele verwijdering leverancier

Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar off-line machine Fotoresist Restverwijdering productie

Halfgeleiderindustrie Cassettetype Batch plasma PR-verwijderaar off-line machine Fotoresist Restverwijderingsfabriek

Voordeel:

Kernvoordeel

Hoge ontgommende snelheid: plasma met hoge dichtheid, snelle ontgommende snelheid
Stabiliteit: Na plasmabehandeling, hoge reproduceerbaarheid
Plasma op afstand: Plasma op afstand, lage ionenschade aan wafer
Uitgelichte software: onafhankelijk onderzoek en ontwikkeling van software, intuïtieve procesanimatie, gedetailleerde gegevens en records
Uniformiteit: Plasma kan de druk en temperatuur regelen via een vlinderklep
Veiligheidsfactor: Laag plasma vermindert schade aan productontlading.
After-sales service: snelle reactie en voldoende voorraad
Stofbeheersing: Voldoe aan de eisen van de klant.
Kerntechnologie: Met bijna 40% van de R&D-teamleden

Cassetteplatform (MD-ST 6100/620)

1. 4 Waferdragers
2. Hoge compatibiliteit: de flexibiliteit bij de keuze van de wafergrootte brengt hoge kosten en oplossingsefficiëntie met zich mee
3. Vacuümoverdrachtskamer met hoge stabiliteit:
Het volwassen en stabiele vacuümtransmissieontwerp wordt al vele jaren volwassen op de markt toegepast en wordt goed erkend door klanten.
Draaitafelontwerp, compacte ruimte, waardoor het risico op PARTICAL aanzienlijk wordt verminderd
4. Gehumaniseerde softwarebedieningsinterface:
Intuïtieve, gehumaniseerde softwarebedieningsinterface, realtime monitoring van de lopende status van de machine;
Uitgebreide alarm- en bedrijfszekere functies om verkeerde bediening te voorkomen.
Krachtige gegevensexportfunctie, records van verschillende procesparameters en export van productproductierecords.

Robot

1. Eenmalig dubbel wafel pick-and-place-ontwerp zorgt voor een hoge productiviteit
2. Verbeter de ruimte-efficiëntie.

verwarming Plate

1. Waferplaat met hoge precisie temperatuurregeling
Waferverwarmingsplaat van kamertemperatuur tot 250°C, nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ±1°C
Wafer-verwarmingsplaat is gekalibreerd door professionele instrumenten en de uniformiteit. Binnen ±3°C moet u ervoor zorgen dat de lijm gelijkmatig wordt verwijderd
2. Dubbele waferverwerking met één kamer
Ontwerp met dubbele wafer met één kamer;
Onafhankelijk stroomontladingsontwerp voor elke wafel, waardoor elke wafel wordt gegarandeerd. Rond PR-verwijderingseffect;
Verlaag de productkosten onder het uitgangspunt van het garanderen van UPH-efficiëntie. Sterke compatibiliteit
3. Productiecapaciteit: reactiekamer uit twee delen, hoge productie-efficiëntie.

Specificaties

PLASMA-bron	RF	magnetron
Power	1000w	1250w
Toepasselijk bereik	4~8寸	4~8寸
Aantal verwerkingssegmenten	4-6 inch = 50 stuks/8 inch = 25 stuks	4-6 inch = 50 stuks/8 inch = 25 stuks
Uiterlijk afmetingen:	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
Systeem controle	PC	PC
Automatiseringsniveau	Handbak	Handbak

Hardwaremogelijkheden
Uptime/beschikbare tijd	≧ 95%
Gemiddelde tijd om schoon te maken (MTTC)	≦6 uur
Gemiddelde reparatietijd (MTTR)	≦4 uur
Gemiddelde tijd tussen storingen (MTBF)	≧350 uur
Gemiddelde tijd tussen assistent (MTBA)	≧24 uur
Bedoel wafeltje tussen kapot (MWBB)	≦1 op 10,000 wafels
Bediening verwarmingsplaat	-50 250 °

Test rapport

Bekijk de fabriek

Verpakking en levering

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van een one-stop Semiconductor frontend en backend Package Line Equipments-oplossing uit China!