Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Fotoresistrestverwijdering, China Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Fotoresistrestverwijdering Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

Productomschrijving

Soort lade Fotoresist verwijderaar PR-verwijderingsmachine

DESCUM
Wafel schoonmaken
Verwijderen van lijmresten na nat proces
Verwijdering van oppervlakteresten
Verwijder resterende lijm na blootstelling en ontwikkeling

Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Fotoresist Residuele verwijderingsdetails

Proces

Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Leverancier van fotoresistrestenverwijdering

Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Fotoresist-restverwijderingsfabriek

Halfgeleiderindustrie Tray-type PR-verwijderingsmachine Productie van fotoresistrestenverwijdering

Voordeel:

Kernvoordeel

Hoge ontgommende snelheid: plasma met hoge dichtheid, snelle ontgommende snelheid
Stabiliteit: Na plasmabehandeling, hoge reproduceerbaarheid
Plasma op afstand: Plasma op afstand, lage ionenschade aan wafer
Uitgelichte software: onafhankelijk onderzoek en ontwikkeling van software, intuïtieve procesanimatie, gedetailleerde gegevens en records
Uniformiteit: Plasma kan de druk en temperatuur regelen via een vlinderklep
Veiligheidsfactor: Laag plasma vermindert schade aan productontlading.
After-sales service: snelle reactie en voldoende voorraad
Stofbeheersing: Voldoe aan de eisen van de klant.
Kerntechnologie: Met bijna 40% van de R&D-teamleden

Cassetteplatform (MD-ST 6100/620)

1. 4 Waferdragers
2. Hoge compatibiliteit: de flexibiliteit bij de keuze van de wafergrootte brengt hoge kosten en oplossingsefficiëntie met zich mee
3. Vacuümoverdrachtskamer met hoge stabiliteit:
Het volwassen en stabiele vacuümtransmissieontwerp wordt al vele jaren volwassen op de markt toegepast en wordt goed erkend door klanten.
Draaitafelontwerp, compacte ruimte, waardoor het risico op PARTICAL aanzienlijk wordt verminderd
4. Gehumaniseerde softwarebedieningsinterface:
Intuïtieve, gehumaniseerde softwarebedieningsinterface, realtime monitoring van de lopende status van de machine;
Uitgebreide alarm- en bedrijfszekere functies om verkeerde bediening te voorkomen.
Krachtige gegevensexportfunctie, records van verschillende procesparameters en export van productproductierecords.

Robot

1. Eenmalig dubbel wafel pick-and-place-ontwerp zorgt voor een hoge productiviteit
2. Verbeter de ruimte-efficiëntie.

verwarming Plate

1. Waferplaat met hoge precisie temperatuurregeling
Waferverwarmingsplaat van kamertemperatuur tot 250°C, nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ±1°C
Wafer-verwarmingsplaat is gekalibreerd door professionele instrumenten en de uniformiteit. Binnen ±3°C moet u ervoor zorgen dat de lijm gelijkmatig wordt verwijderd
2. Dubbele waferverwerking met één kamer
Ontwerp met dubbele wafer met één kamer;
Onafhankelijk stroomontladingsontwerp voor elke wafel, waardoor elke wafel wordt gegarandeerd. Rond PR-verwijderingseffect;
Verlaag de productkosten onder het uitgangspunt van het garanderen van UPH-efficiëntie. Sterke compatibiliteit
3. Productiecapaciteit: reactiekamer uit twee delen, hoge productie-efficiëntie.

Specificaties

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		BIAISBAND	600w (optie)	600w (optie)
Toepasselijk bereik			4 ~ 8 inch	4 ~ 8 inch
Aantal verwerkingssegmenten			1	2
Uiterlijk afmetingen:			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Systeem controle			Industrieel controlesysteem	Industrieel controlesysteem
Automatiseringsniveau			automatisch	automatisch

Hardwaremogelijkheden
Uptime/beschikbare tijd	≧ 95%
Gemiddelde tijd om schoon te maken (MTTC)	≦6 uur
Gemiddelde reparatietijd (MTTR)	≦4 uur
Gemiddelde tijd tussen storingen (MTBF)	≧350 uur
Gemiddelde tijd tussen assistent (MTBA)	≧24 uur
Bedoel wafeltje tussen kapot (MWBB)	≦1 op 10,000 wafels
Bediening verwarmingsplaat	-50 250 °

Test rapport

Bekijk de fabriek

Verpakking en levering

Bedrijfsprofiel

Wij hebben 16 jaar ervaring in de verkoop van apparatuur. Wij kunnen u voorzien van een one-stop Semiconductor frontend en backend Package Line Equipments-oplossing uit China!