Halfgeleidersubstraat Wafer-fabricageapparatuur Volledig automatische enkele chipwafer-reinigingsmachine Wafer Scrubber, China Halfgeleidersubstraat Wafer-fabricageapparatuur Volledig automatische enkele chipwafer-reinigingsmachine Wafer Scrubber Fabrikanten, Leveranciers, Fabriek

Productomschrijving

Volledig automatische single-chip wafer reinigingsmachine Wafer-scrubber

Functies van de machine

Enkele holte, twee holtes en vier holtes
Sterke procescapaciteit, geschikt voor het ondersteunen van toepassingen zoals Wafer Start en procesreiniging
Goede consistentie van apparatuur interchiptechnologie

Application Fields

Verwijdering van oppervlaktedeeltjes van 4-8 inch silicium- en verbindingsgebaseerde wafers

Technische parameters

Borstelholte van 4 inch, 6 inch, 8 inch
Spinnersnelheid tot 4000RPM
Dubbele arm borstelkamer, verkrijgbaar in borstel-, AS-, JET- en Megasonics-reinigingsmethoden
Kan de functie voor het reinigen van vloeistoffen ondersteunen

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-51

LoadPort-eenheid, laadeenheid

LoadPort is de laadeenheid van dit apparaat

Geschikt voor wafermapping
Uitgerust met wafer-slidedetectie

Transferrobot-eenheid

Robot met twee messen, optioneel met vacuüm- of bakvormige messen.

Uitlijn- en kanteleenheid

Kan vlakke randen uitlijnen en lokaliseren
Wafer kan worden omgedraaid om het kristal terug te schrobben

Borsteleenheid

Hoeveelheid borstelarm * 2
Waferhandvat: Klem of zuigtype
Borstel-, AS-, JET-, Megasonics-reinigingsmodi, ondersteuning voor farmaceutische reiniging

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-52

1. Ondersteunt gelijktijdig wafer-invoer en -uitvoer, evenals A-invoer- en B-uitvoermodi
2. Kan het borstelen van de voorkant van kamer A en de achterkant van kamer B ondersteunen
3. Kan dubbele kamer parallelle reiniging ondersteunen

Beschrijving van de borsteleenheid

Zoals weergegeven in de afbeelding
Wafer bevestigd bovenop Spinner

Arm1 en Arm2 kunnen worden gebruikt in combinatie met verschillende poetsmethoden eerder beschreven om wafers schoon te maken.

Na het reinigen draait de Spinner met hoge snelheid om de wafer te draaien en te drogen

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-53

Uitlijn- en kanteleenheid

Wafer kan worden gebruikt voor residentiële en nivelleringsdoeleinden

Wafer kan worden omgedraaid

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-54

Afmetingen apparatuur: 160x150x220 (mm)
Laad- en losmethoden: dezelfde in- en uitgaande as, A in en B uitgaande as
Aantal borstelunits: 2
Poetsstanden: Borstel, AS, JET, Megasonics reinigingsmethoden, ter ondersteuning van farmaceutische reiniging

Verpakking en levering

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-55

product halfgeleider substraat wafer fabricage apparatuur volledig automatische single chip wafer reinigingsmachine wafer scrubber-56

Bedrijfsprofiel

FAQ

1. Over de prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs varieert afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassing van uw apparaat.

2. Over het voorbeeld:
Wij kunnen voor u monsterproductie verzorgen, maar hiervoor brengen wij mogelijk wel kosten in rekening.

3. Over betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een aanbetaling doen en de fabriek zal beginnen met het voorbereiden van de goederen. Nadat de
Als de apparatuur klaar is en u het resterende bedrag betaalt, verzenden wij het.

4. Over levering:
Nadat de productie van de apparatuur is afgerond, sturen wij u de acceptatievideo. U kunt ook ter plaatse langskomen om de apparatuur te inspecteren.

5. Installatie en debuggen:
Nadat de apparatuur bij uw fabriek is aangekomen, kunnen we technici sturen om de apparatuur te installeren en te debuggen. We zullen u een aparte offerte voor deze servicekosten verstrekken.

6. Over garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Als er na de garantieperiode onderdelen beschadigd zijn en vervangen moeten worden, brengen wij alleen de kostprijs in rekening.