Enkelvoudige caviteit, dubbele caviteit en vier caviteit Sterke procescapaciteit, in staat om toepassingen zoals Wafer Start en procesreiniging te ondersteunen Goede consistentie van de inter chip technologie van het apparaat
Toepassingsvelden
Oppervlaktepartikelverwijdering van 4-8 inch siliciumgebaseerde en verbindingengebaseerde schijven
Technische parameters
4-inch, 6-inch, 8-inch borstelcaviteit Spinner snelheid tot 4000RPM Dubbele Arm borstelkamer, beschikbaar in Borstel, AS, JET, Megasonics reinigingsmethodes Kan vloeistofreinigingsfunctie ondersteunen
LoadPort-eenheid, laadeenheid
LoadPort is de laadeenheid van deze apparatuur
In staat tot Wafer Mapping Urust met Wafer slide detectie
Transfer Robot eenheid
Dual Blade Robot, optioneel met vacuum of tray type Blades.
Uitlijnings- en omdraaiingseenheid
Kan vlakke randen uitlijnen en lokaliseren Wafer kan worden omgedraaid om de kristalrug te schrobben
Borstel-eenheid
Borstelarm Aantal * 2 Wafer handvat: Chuck klemp of zuigertype Borstel, AS, JET, Megasonics reinigingsmodi, ondersteuning farmaceutische reiniging
1. Ondersteunt gelijktijdige Wafer invoer en uitvoer, evenals A invoer en B uitvoer modi 2. Kan ondersteuning bieden bij het poetsen van de voorkant van kamer A en de achterkant van kamer B 3. Kan ondersteuning bieden bij parallel schoonmaken van dubbele kamers
Beschrijving borsteleenheid
Zoals weergegeven in de figuur Wafer vastgemaakt bovenop de Spinner
Arm1&Arm2 kunnen gebruikt worden in combinatie met verschillende poetsmethodes eerder beschreven om wafers te reinigen.
Na het reinigen draait de Spinner op hoge snelheid om de wafer te drogen
Uitlijnings- en omdraaiingseenheid
Wafer kan gebruikt worden voor residentiële en niveaus doeleinden
Wafer kan worden omgedraaid
Apparaatgrootte: 160x150x220 (mm) In- en uitlading methodes:zelfde in en zelfde uit & A in en B uit Aantal borstelunits: 2 Borstelmodes: Borstelen, AS, JET, Megasonics reinigingsmethodes, ondersteuning voor farmaceutische reiniging
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs: Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.
2. Over Monster: We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.
3. Over Betaling: Als het plan is bevestigd, moet u eerst een voorschot betalen en de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.
4. Over Levering: Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.
5. Installatie en Afstemming: Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.
6. Over de garantie: Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
