Vacuüm microgolf plasma reinigingsmachine Plasma oppervlaktebehandeling Halfgeleider verpakkingsoplossing IC TO verpakking, China Vacuüm microgolf plasma reinigingsmachine Plasma oppervlaktebehandeling Halfgeleider verpakkingsoplossing IC TO verpakking Fabrikanten, leveranciers, fabriek

Producten Beschrijving

Halfgeleiderverpakkingsoplossing Magnetronplasmareiniger

SPV-100MWR is een laagspanningsmicrogolfplasmareinigingssysteem voor halfgeleiders. Door microgolven met een frequentie van 2.45 GHz op het venster aan de wand van de vacuümholte toe te passen, wordt een grote hoeveelheid continu plasma gegenereerd en wordt de chip gereinigd door de holte binnen te gaan.

Vacuüm microgolf plasma reinigingsmachine Plasma oppervlaktebehandeling Halfgeleider verpakkingsoplossing IC TO verpakking leverancier

Technische parameters

Vacuümplasmagastheer
Afmetingen van de apparatuur	1230X1800X1100mm (breedte x hoogte x diepte)
Gewicht	450 kg
vermogensbehoefte	AC380V, 50/60Hz, 5-draads, 30A
Specificaties plasmagenerator
Magnetron voeding	Power	0 ~ 1250W
		Frequentie	2.45GHz
Vacuüm systeem
Materiaal	Aluminiumlegering (aanpasbare roestvrijstalen kamer)
Dikte	25mm
Interne afmetingen van de holte	480mmX470mmX480mm
workspaces	6 tijdschriftsecties
ECR	Slotted Magazine biedt een ECR-verbeterd verwerkingseffect
Plasma-mogelijkheid
Verwerkingsvermogen	35um toonhoogte 40μm hobbel 15X15mm Maximale matrijsgrootte