Vacuüm microwegolfplasma reinigingsmachine Plasma Oppervlaktebehandeling Halbleider Verpakkingoplossing IC TO package , China Vacuüm microwegolfplasma reinigingsmachine Plasma Oppervlaktebehandeling Halbleider Verpakkingoplossing IC TO package Manufacturers, Suppliers, Factory

Productbeschrijving

Semiconductor Verpakkingoplossing Microwave Plasma Cleaner

SPV-100MWR is een laagspannings microwave plasma reinigingssysteem voor semiconductoren. Door microwaves met een frequentie van 2,45GHz toe te passen op het raam aan de muur van de vacuümkamer, wordt een grote hoeveelheid continue Plasma gegenereerd, en wordt de chip gereinigd door de kamer in te gaan.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Technische parameters

Vacuüm plasma gastheer
Apparaatgrootte	1230X1800X1100mm (breedte x hoogte x diepte)
Gewicht	450 kg
Energievraag	AC380V, 50/60Hz, 5-draad, 30A
Specificaties Plasma Generator
Microgolven voeding	Vermogen	0~1250W
		Frequentie	2.45GHz
Vacuümsysteem
Materiaal	Aluminium legering (op maat aanpasbare roestvrij stalen kamer)
Dikte	25mm
Interne afmetingen van de ruimte	480mmX470mmX480mm
Werkruimtes	6 magazijnsecties
ECR	Geholde Magazine biedt ECR-verbeterde verwerkingseffecten
Plasma mogelijkheid
Verwerkingscapaciteit	35um Pitch 40μm Bump 15X15mm Maximale Diesgrootte