Minder-Hightech er en produsent av halvledere. Halvledere er kritiske komponenter i mye av det som gjør moderne liv mulig, slik som mobiltelefoner og datamaskiner. Nå, det finnes flere trinn i opprettelsen av halvledere, men det første trinnet er å opprette et mønster på en flat overflate kjent som en vafel.

For å rendre dette mønsteret, deponerer vi et spesialstoff på vafelen. Dette stoffet kalles fototekkt. Når vi har lagt ned fototekkten, utsætter vi den for lys. Under lyset blir en del av fototekkten hard og fast. Områdene i skyggen forblir bløte og kan tas vekk.

Etter at det ønskte mønsteret er oppnådd på vafelen, må fototekkten fjernes fra områdene der vi vil utføre ytterligere behandling. Her kommer Plasma Cleaner i spil, faktisk.

Plasmapå grunnlagte metoder for fjerning av fototekkt

Plasma er en tilstand av gass med et høyt energinivå, grunnet en høy elektrisk ladning som er blitt brukt på det. Og denne aktiverede gassen er veldig nyttig for å fjerne fotoresist fra overflaten av waferen. Gjennom plasma kan fotoresist bli sprødd og å fjerne den blir mye enklere.

Vi har to forskjellige teknikker som bruker plasma for fjerning av fotoresist: tørre etching og ashing.

Tørre etching: I denne teknikken interagerer faktisk plasma med fotoresist. Plasma reagerer med fotoresist der det kommer i kontakt. Denne reaksjonen dekomponerer fotoresist og konverterer den til gass. Dette gassformigestoffet kan deretter bli fjernet fra waferoverflaten, noe som fører til at områdene vi krever rent blir eksponert og tilgjengelig for videre utvikling.

Ashing — Dette er en annen måte å gjøre det på, i denne metoden brukes ikke-reaktiv plasma for photoresist. Plasma smelter photoresistet opp i små, tiny biter istedenfor. Deretter kan disse små bitene vaskes av waferen. Denne tilnærmingen er egnet og beskytter waferen mens unnødvendig photoresist fjernes.

Bruk av reaktivt plasma for photoresiststripping

Plasmagrunnbehandling er et veldig kraftig verktøy som hjelper oss med å fjerne den tuffeste photoresisten fra waferen. Plasma er fantastisk på sin egen måte, men det beste er at vi kan gjøre det om til et super selektiv agens. Det betyr at det kan justeres til å kun reagere spesifikt med photoresisten, ikke med de andre materialene under.

For eksempel: Hvis vi har et mønster på vaflet hvor metall er plassert under fototekt, kan vi bruke en type plasma som reagerer bare med fototektet. På denne måten kan vi grave bort fototektet uten å skade metallene under det. Dette er veldig avgjørende siden alle deler av vaflet må beholde sin integritet under prosessen.

Plasmateknikken for fjerning av fototekt

Minder-Hightech bruker moderne plasmateknologi for å fjerne fototekt fra våre vafletter. Dette lar oss lage feilfrie halvledere av høy kvalitet.

Raskt, tilpasselig etter dine behov. Våre systemer er designet til å integreres smertefritt i din arbeidsflyt. Dette betyr at vi kan fjerne fototektet raskt. Og fordi vi er rask, oppfyller vi hele kravet fra våre kunder, og leverer gode produkter når de trenger dem.

Men våre plasma-systemer er også veldig nøyaktige, i tillegg til deres effektivitet. Hva denne nøyaktigheten gir oss er evnen til å fjerne bare fototeksten seg selv. Vår teknologi forhindrer at alle andre deler av silisien blir skadet av vår prosess, og vi kan ikke trenge å gjøre det. Denne systematiske praksisen blir dessuten ennå mer avgjørende for kvaliteten på de halvledere vi produserer.

Plasma-utløst fjerning av fototekst på halvledere

Så, kort sagt, er plasma en superkraft som lar oss fjerne litt fotoresist fra waferoverflaten på et veldig effektivt måte. Vi, hos Minder-Hightech, bruker den nyeste og beste plasmateknologien for å produsere semikonduktorene med nøyaktig null defekter. Når det gjelder plasmasystemer, er våre løsninger laget for å balansere hastighet med nøyaktighet, samtidig som de fortsatt er veldig effektive. Det betyr å kunne møte kravene til våre kunder og levere kvalitetsprodukter uten feil. Dette forbedrer prosessen av semikonduktorene vi bruker. plasmafjerning teknologi som gjør at våre semikonduktorener blir så gode som mulig for alle typer elektroniske enheter for å være pålitelige apparater.