Norge

Minder-Hightech er en halvlederprodusent. Halvledere er kritiske komponenter i mye av det som gjør det moderne livet, for eksempel mobiltelefoner og datamaskiner. Nå er det noen få trinn i å lage halvledere, men det første trinnet er å lage et mønster på en flat overflate kjent som en wafer.

For å gjengi dette mønsteret legger vi et spesielt materiale på waferen. Dette stoffet er kjent som en fotoresist. Når vi har lagt fra oss fotoresisten, utsetter vi den for lys. Under lyset blir et område av fotoresisten herdet og gjort sterkt. Områdene i skyggen forblir myke og kan tørkes bort.

Etter å ha oppnådd ønsket mønster på waferen, må fotoresisten fjernes fra områdene hvor vi skal utføre videre bearbeiding. Det er her Plasmarens spiller inn, bokstavelig talt.

Plasmabaserte metoder for fjerning av fotoresist

Plasma er en gasstilstand med et høyt energinivå, på grunn av en høy elektrisk ladning som påføres den. Og denne aktiverte gassen er svært nyttig for å strippe fotoresisten på waferoverflaten. Gjennom plasma kan fotoresisten bli sprø og rengjøringen blir mye lettere.

Vi har to forskjellige teknikker som bruker plasma for fjerning av fotoresist: tørr etsing og asking.

Den tørre etsingen: I denne teknikken, det faktiske plasmaet som samhandler med fotoresisten. Plasmaet reagerer med fotoresisten der det kommer i kontakt. Denne reaksjonen bryter ned fotoresisten og omdanner den til gass. Dette gassformige stoffet kan deretter renses av waferoverflaten, noe som resulterer i at områdene vi trenger rene og tilgjengelige for progresjon eksponeres.

Asking — Dette er en annen måte å gjøre det på, i denne metoden brukes ikke-reaktivt plasma for fotoresisten. Plasmaet knuser fotoresisten i små, små biter i stedet. Deretter kan disse små bitene vaskes av oblaten. Denne tilnærmingen er egnet og beskytter waferen samtidig som den fjerner den unødvendige fotoresisten.

Bruk av reaktivt plasma for stripping av fotoresist

Plasma overflatebehandling er et veldig kraftig verktøy som hjelper oss å fjerne den tøffeste fotoresisten fra waferen. Plasma er utrolig i seg selv, men det beste er at vi kan gjøre det om til et superselektivt middel. Det betyr at den kan stilles inn til kun å reagere spesifikt med fotoresisten, ikke med de andre materialene under den.

For eksempel: Hvis vi har et mønster på waferen der metall er plassert under fotoresisten, kan vi bruke en type plasma som reagerer med kun fotoresisten. Dermed kan vi etse bort fotoresisten uten å skade metallet under den. Nå er dette veldig kritisk siden vi trenger alle deler av waferen for å opprettholde sin integritet under prosessen.

Plasmateknikken for stripping av fotoresist

Minder-Hightech bruker ny tids plasmateknologi for å stripe fotoresisten fra wafere våre. Dette gjør at vi kan fremstille feilfrie halvledere, som er av høy kvalitet.

Rask, kan tilpasses dine behov Systemene våre er designet for å integreres sømløst i arbeidsflyten din. Dette indikerer at vi kort sagt er i stand til å strippe fotoresisten. Og fordi vi er raske, møter vi hele etterspørselen fra kundene våre, og leverer gode produkter når de trenger dem.

Men plasmasystemene våre er også svært nøyaktige, i tillegg til effektiviteten. Det denne presisjonen gir oss er muligheten til å fjerne kun selve fotoresisten. Vår teknologi forhindrer at alle andre deler av waferen blir skadet av prosessen vår, og vi har ikke råd til det. Denne metodiske praksisen blir desto viktigere for kvaliteten på halvlederne vi produserer der ute.

Plasmaindusert fotoresistfjerning på halvledere

Så kort fortalt er plasma en superkraft som gjør oss i stand til å fjerne litt fotoresist fra waferoverflaten på en svært effektiv måte. Vi i Minder-Hightech bruker den nyeste og beste plasmateknologien for å produsere nøyaktig null-defekte kvalitetshalvledere. Når det gjelder plasmasystemer, er våre løsninger produsert for å balansere hastighet med nøyaktighet, samtidig som de er svært effektive. Det betyr å være i stand til å møte kravene til kundene våre samt levere kvalitetsprodukter uten feil. Det bidrar til å forbedre prosessen med halvledere mens vi bruker fjerning av plasma teknologi som gjør halvlederne våre så gode som mulig for alle slags elektroniske enheter for å være pålitelige gadgets.