Reaktivt ion-etsesystem
Gi profesjonelt tilpassede løsninger for kunder
Dobbeltkammer RIE (Cl₂) tilpasning
I februar 2024 mottok vi en forespørsel fra en kunde om en klorprosess på 100 mm.
Dette er en interessant applikasjon for oss fordi den nødvendige prosessgassen inneholder giftige gasser Cl2 og BCl3. Vi må forbedre alle konfigurasjonene til maskinen for å unngå sikkerhetsproblemer, og spesialdesignet en tokammerstruktur av prosesskammeret og overføringskammeret for å perfekt beskytte operatøren samtidig som vi oppfyller prosesskravene.
Etter ca. 5 måneder med design og produksjon, gjennomførte vi flere prøvetester og produksjonssimuleringer i selskapets interne laboratorium, og leverte raskt utstyret etter å ha bestått kundens aksept.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
